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高精度な位置合わせとは？課題と対策・製品を解説
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露光における高精度な位置合わせとは？
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露光における高精度な位置合わせ
露光における高精度な位置合わせとは？
プリント基板や半導体製造において、回路パターンを基板上に転写する露光工程では、既存のパターンや層に対して新しいパターンを極めて高い精度で重ね合わせる必要があります。この「露光の高精度な位置合わせ」は、微細化・高密度化が進む電子デバイスの性能を左右する重要な技術です。
課題
微細パターンへの追従性低下
回路パターンの微細化が進むにつれて、わずかな位置ずれも許容されなくなり、高精度な位置合わせが困難になっています。
基板の反り・歪み
製造工程や材料特性により発生する基板の反りや歪みが、露光時の位置精度を低下させる要因となります。
露光装置の性能限界
露光装置自体の分解能や位置決め機構の精度が、要求される位置合わせ精度に追いつかない場合があります。
異物混入による位置ずれ
露光プロセス中に混入する微細な異物が、位置決めマークの認識を妨げ、位置ずれを引き起こすことがあります。
対策
高精度位置決め機構の導入
リニアモーターや高精度エンコーダーを用いた露光装置の導入により、より精密な位置決めを実現します。
基板歪み補正技術
画像認識による基板の歪み量をリアルタイムで検出し、露光位置を自動補正するシステムを適用します。
高解像度画像認識システム
微細な位置決めマークを正確に捉えるための、高解像度カメラと高度な画像処理アルゴリズムを搭載したシステムを使用します。
クリーンルーム環境の徹底
異物混入リスクを最小限に抑えるため、高度な清浄度管理が可能なクリーンルーム環境を維持します。
対策に役立つ製品例
精密露光装置
高精度なステージ制御と画像認識機能を備え、微細パターンへの正確な露光を可能にします。
自動位置補正ソフトウェア
基板の歪みや位置ずれを自動で検出し、露光パラメータを最適化することで、位置合わせ精度を向上させます。
高感度位置決めマーク
露光装置の画像認識システムが捉えやすい、特殊な加工が施された位置決めマークを提供します。
クリーン搬送システム
製造ライン全体で異物混入を防ぎ、露光工程における位置ずれリスクを低減する搬送装置です。
