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半導体洗浄液中の不純物とは？課題と対策・製品を解説
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科学・分析システム |
化学・材料・製造における半導体洗浄液中の不純物とは？
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サンエイ化学株式会社では、卓上型精製水器『ピュアメーカー用カートリッジ』
のリピート・定期購入をご案内しています。
お届け回数やお届けサイクルなど、お客様のタイミングに合わせて精製水
カートリッジをお届け。
定期購入でご購入いただくと、通常価格よりも20％OFFで
お得に新鮮な精製水をお使いいただけます。
【お得で便利な定期購入5つのPOINT】
■定期購入だけのお得な特別価格20%OFF
■90日毎のお届け指定が可能
■全国どこでも送料無料
■お支払いは商品のお届け毎で安心
■変更、スキップはお電話1本でOK
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
接液部は全てPFA樹脂で出来ています。インライン（貯液槽無し）で、目的の精度を確保します。
『A-304』は、スチレン-ジビニルベンゼン共重合体に第4級アンモニウム基を
持つ陰イオン交換樹脂です。
主に混床式の純水装置、複床式純水装置に使用され、純度の高い水質精製が
可能。化学的、物理的安定性を保持しています。
他にも「C-108」をはじめ「A-307」や「C-258FD」、「D-870B」、「MB-8415」、
「ER-8415」をラインアップ。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。
【特長】
■種類と構造：強塩基性・ゲル形
■母体構造：スチレン系
■官能基：-N+(CH3)3OH
■販売時の基準形：Cl型
■形状：湿潤状態の球形
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MLシリーズ』は、1MPa〜500MPaまでの広範囲の圧力を発生させることができる
純水薬液用ポンプです。
ご使用可能な流体は、一般水・純水・IPA・NMP・過酸化水素水・
フォトレジストなど多種にわたります。
また、ポンプ吐出ラインの付属品もございますのであわせてご参考にしてください。
【特長】
■1MPa〜500MPaまでの広範囲の圧力が発生可能
■ポンプ吐出ラインの付属品もご用意
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
マイクロファイバー長繊維を使用しており、クラス100で洗浄・クリーニングされている為、極めて低発塵です。
非常にやわらかい為、対象物を傷つける事なく拭き取れます。
ミクロの汚れ、油膜等もクリーンに拭き取れます。
当製品は、比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる装置です。
電気再生式のEDIを使用していますので薬品の使用は不要。再生排水は
処理の必要がなく、そのまま排水できます。
1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑えており、UV装置や
UF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保できます。
【特長】
■高品質の純水が採水可能
■薬品による再生工程はない
■省スペース設計
■当社の中国工場で製造した装置を輸入
■各種装置と組み合わせ可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
株式会社竹中製作所が取り扱う高電圧直流電源についてご紹介しています。
SiC-MOSFET共振技術による大容量高電圧直流電源を静加速器構成した場合、
加速電圧が数百kV～数MV（加速エネルギーで数百keV～数MeV程度）で、
加速電流が数十mA～数百mAの大容量静電加速器の製品化が可能になります。
特殊用途に使用するような高電圧直流電源の受託開発製造を得意としています。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Omniシリーズの『NuPure Gas Purifier』は、ヒーター、断熱材および
電子機器(温度制御)が一体となったNuPure社製ガス精製器（ガスフィルター）です。
「Ultra Pure PF/XLシリーズ」の精製器(フィルター)が内蔵されており、
不活性ガス、水素、水素化合物、酸性ガス、酸素などから、Sub-ppbレベル
までガス不純物を低減することができます。
「PFシリーズ」には、0.003μmのフィルターが内蔵されています。
【特長】
■ヒーター、断熱材、電子機器(温度制御)が一体となっている
■Ultra Pure PF/XLシリーズの精製器(フィルター)内蔵
■Sub-ppbレベルまでガス不純物を低減
■PFシリーズには、0.003μmのフィルター内蔵
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社で取り扱う、『小型EDIシステム』をご紹介いたします。
前段にRO装置と組み合わせることにより高品質の純水が採水可能。
電気再生式のEDIを使用していますので薬品の使用は不要です。
中国又は台湾の工場で製造した装置を輸入しており、
コストパフォーマンスは一般的な装置より優位です。
【特長】
■比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる
■薬品による再生工程はない
■再生排水は処理の必要がなく、そのまま排水できる
■省スペース設計
■各種装置と組み合わせ可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『シングルケース電源』は、持ち運びも可能で多彩なオプションにも
対応できる製品です。
「ABE-0501S」をはじめ、「ABE-0505S」や、「ABE-0510S」など多数
ラインアップをご用意。-5V～+5V、-10V～+10V、-15V～+15V、-20V～+20V
仕様の製作も可能です。
研究用途として初期導入にお勧めです。
【ラインアップ（抜粋）】
■ABE-0501S
■ABE-0505S
■ABE-0510S
■ABE-0520S
■ABE-1001S
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
株式会社ANSeeNにて取り扱う半導体検出器用プリアンプ『CSP02』について、
ご紹介いたします。
CdTe検出器等の低漏洩電流、低容量用検出器用のプリアンプで、AC結合の
電荷有感型前置増幅器で構成。
波形解析装置の100MHzサンプリングに対応する高速仕様(立ち上がり10ns以下)で、
半導体検出器内の電荷移動の解析にもお使いいただけます。
【主な性能】
■雑音：350 electrons FWHM at 0pF
■ゲイン：1 V/pC
■立ち上がり時間：6ns at 0pF
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
エアマテイック社が取扱う、小型純水製造装置「DPシリーズ」のご紹介です
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化学・材料・製造における半導体洗浄液中の不純物
化学・材料・製造における半導体洗浄液中の不純物とは？
半導体製造プロセスにおいて、ウェハー表面の微細な汚染物質を除去するために使用される洗浄液に含まれる、意図しない化学物質や異物の総称です。これらの不純物は、半導体の性能低下や歩留まり悪化の主要因となります。
課題
微細不純物の検出困難性
ナノメートルオーダーの微細な不純物は、従来の分析手法では検出が難しく、原因特定が遅れることがあります。
不純物混入経路の多様性
原料、製造装置、作業環境など、不純物の混入経路は多岐にわたり、包括的な管理が求められます。
洗浄液自体の劣化
洗浄液の使用に伴う化学的変化や、外部からの汚染により、洗浄液自体が不純物源となる場合があります。
高純度化コストの増大
不純物を極限まで低減するための高純度原料や高度な精製技術は、製造コストを押し上げる要因となります。
対策
超高感度分析技術の導入
レーザー誘起プラズマ質量分析法（LIBS）などの高感度分析技術により、微量不純物を迅速かつ正確に検出します。
サプライチェーン全体での品質管理
原料メーカーから製造装置メーカーまで、サプライチェーン全体で不純物管理基準を設け、トレーサビリティを確保します。
インラインモニタリングシステムの活用
製造ラインにリアルタイムで不純物濃度を監視するシステムを導入し、異常発生時に即座に対応します。
高度な精製・ろ過技術の適用
多段階の精密ろ過やイオン交換樹脂などを活用し、洗浄液中の不純物を効果的に除去・低減します。
対策に役立つ製品例
高精度不純物分析装置
微細な金属元素や有機物不純物をppbレベルで検出・定量し、問題の早期発見と原因究明を支援します。
超高純度洗浄液原料
厳格な品質管理のもと製造された、不純物含有量が極めて低い洗浄液の基材を提供します。
精密ろ過フィルターシステム
ナノレベルの微粒子やイオン性不純物を効率的に除去し、洗浄液の純度を維持します 。
リアルタイム汚染モニタリングセンサー
製造プロセス中に洗浄液の不純物レベルを常時監視し、異常値を検知した場合にアラートを発します。
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