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表面・界面の評価とは?課題と対策・製品を解説

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科学・分析システム

化学・材料・製造における表面・界面の評価とは?

化学物質、材料、そして製造プロセスにおける表面および界面の特性を理解し、定量化すること。これは、製品の性能、耐久性、機能性を決定する上で極めて重要であり、研究開発から品質管理まで幅広い分野で応用される。

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『CW2-610』は、マイクロ波方式無電極ランプ紫外線発光装置が、
アーク放電式装置に対して本来的に持つ優れた特長をそのまま保持した
新型マイクロ波方式紫外線発光装置です。

他社のマイクロ波式UV装置と比べても極めて斬新な特長を取り入れており、
UV発光装置としてより信頼性の高い進化した装置となっております。

コントローラー内蔵の電源装置「MPS2-610V」などもご用意しております。

【特長】
■紫外線(UV)照度が約2倍
■ランプ寿命が2~3倍長い
■赤外線(IR)放出が少ない
■被照射体に与える熱影響が低減できる
■発光安定時間が約10秒と短い

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

新型マイクロ波方式紫外線発光装置『CW2-610』

『材料評価』では、各種材料の薬液に対する腐食性を実験室にて浸せきテスト・評価を行うことが可能です。また、浸漬テスト結果に加えて東レグループでの40年以上にわたる経験や金属の専門知識から最適な対応策の提案が出来ます。

【評価機器例】
■腐食試験装置、高圧・高温試験用オートクレーブ、各種評価機器

プラント設計や機器材料選定、トラブル調査にお役立ち!『材料評価』

『1412HS CMOS X-ray Detector』は、電子基板検査、工業用非破壊検査、
理化学機器アプリケーション向けに特別に設計された動的X線検出器です。

フル解像度で120fpsのフレームレート。

ピクセルサイズは100μmで、高感度または高効率のCsIシンチレータ
オプションがあります。コーンビームCTや透視検査に最適。

当製品には、先進のCMOSセンサーを使用しており、14ビットのデジタル出力と、高ダイナミックレンジモードと高感度モードの2つのゲインモードを備えています。

インターフェースは、イーサネット、カメラリンクから選べます。

【特長】
■イメージラグを最小限に抑えた高速、低ノイズイメージング
■CMOSセンサーを光ファイバープレート(FOP)に接着
■高感度・高ダイナミックレンジの2つのモード
■パノラミックイメージングのための高速で任意選択可能な関心領域
■高解像度/高感度CsIシンチレータ、またはGadoxシンチレータの選択
■迅速な開発推進のためにWindows SDKを提供

1412HS CMOS X線 ディテクタ

「有限要素法数値解析ソフトウェア」は、研究開発の現場で利用されている電磁界・荷電粒子、放射線、熱伝導解析用の有限要素法数値シミュレーションソフトウェアです。

日本国内でも国立研究所・国立大学・大手メーカーなどを始めとして100以上の研究開発の現場で使われております。

【特長】
■比類ない高性能を発揮するため、FORTRAN95で100% がコーディングされており、2次元計算は数秒で、3次元計算は数分で終わります。
■メッシュファイル、出力ファイルはフォーマットが公開されており、出力形式をテキスト形式として保存することも可能
■用途・機能に応じて様々な解析ソフトウェアパッケージがあり、幅広い分野での応用が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

有限要素法数値解析ソフトウェア

『Miniscope TM4000 Series』は、「使い勝手が良く、簡単に像が出せる
電子顕微鏡があったら」そんなお客様のニーズから生まれた卓上顕微鏡です。

カメラナビによる高スループット化・UVD-CL像観察対応。
さらに、最大設定倍率100,000倍・レポート機能対応です。

TM4000PlusIIとTM4000IIがございます。お気軽にお問い合わせください。

【特長】
■簡単・スピーディ
■前処理不要
■高感度4分割反射電子検出器

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【高スループット化×UVD-CL像観察対応】卓上顕微鏡

当資料では、当社で取り扱っている、高級アルコール系非イオン性界面
活性剤『ニューポアポア』の乳化性能についてご紹介しております。

乳化力の測定方法として、一般的な測定法について解説しており、設置法
での試験方法の詳細についてもご紹介。

また、試験の一例として、「油、乳化剤、水の混合の仕方による違い」や
「他の界面活性剤との比較」などを写真付きで掲載しております。
ぜひ、ダウンロードしてご覧ください。

【掲載内容(一部)】
■要約
■乳化力の測定方法
・一般的な測定法について
・試験方法

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

【資料】「ニューポアポア」の乳化性能について

全固体電池金型、正確なシミュレーション
バッテリー構造、バッテリー性能のテスト

高精度のバッテリー充電および放電試験装置は、バッテリー性能試験用に特別に設計および開発されており、高い動的応答速度と安定した精度を備えています。

バッテリー試験用の恒温試験室正確な温度環境を提供します。

WHW-200L-0C-220V-9U
テストプロセスが安定して効率的であることを確認するための制御を1つにまとめます。

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

新しいソリューション・オールインワン全固体電池試験ソリューション

研究開発向けで、コンパクトでありながら実機に近い条件下でテストを行うことができる装置です。
両面処理基材のエッチングテストにも対応しており、実機と比べて少ない液量でエッチングテストを実施することができます。
200mm角以下の基材サイズに対応していますが、200mm以上の基材サイズに対応したエッチングテスト機のご提案も可能です。
また、治具を使用することで、容易に基材の段取りができます。

ミニエッチャー

『昇温脱離分析法』は、古くは触媒分野で酸点・塩基点を
評価するために使用されてきた方法です。

一旦、触媒の温度を高温まで上昇させ吸着しているガスを除去し、
その後NH3やCO2を吸着。

その触媒を、再度プログラミングした条件で昇温させることでNH3やCO2を
再離脱させ、その脱離量から酸点・塩基点を評価します。

【利用分野】
■半導体分野において材料評価やプロセス設計支援
■各種薄膜(撥水、光学、対摩耗、光触媒)
■構造材料(ガラスファイバ、真空部品、セラミックス)
■吸蔵材料(水素吸蔵)など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

昇温脱離分析法

バイブロメット2は、電解研磨に必要な危険性の高い
薬品を用いず、試料作製中に発生するわずかな組織
変質を取り除き、材料本来の構造を解析面に露出
させることができます。

■試料表面を歪ませる心配無し。AFMやEBSD解析に適した表面に仕上げる

■危険な薬品を使用しません

■研磨中の調整不要

振動式自動研磨機『バイブロメット2』

ダイライトの「ポリエチレン(PE)タンク劣化診断」は、FTIR(フーリエ変換赤外分光光度計)を利用して、サンプルした樹脂から、酸化劣化の進行を判断するカルボニル基指数を導き出し、5段階評価で報告いたします。
自社のポリエチレンタンクの劣化状況を知りたい方は、お気軽にご依頼ください。
販売~長期間ご使用タンクの劣化診断~廃棄タンクの処分~買換えタンクの据付工事まで、一括で承ります。

【診断方法】
1、診断するタンクを選定
2、タンクの表面を専用の「ヤスリ」でサンプリング
3、「ヤスリ」と「劣化診断依頼書」を返送

※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

ポリエチレン(PE)タンク劣化診断【簡単診断】

当社では、『個々のニーズに応じた分析サービス』を提供。中でも、リチウム、ナトリウム、カリウム等、空気中の水分や酸素に触れると表面の状態が変化する物質を、活性な状態のままで分析を可能とする『空気非接触環境での分析サービス』でお役に立てます。

自動車・電子機器・化学・機械部品の研究・開発における
新素材・新製品の開発/隠れた性質の発見/基礎データの確認といったニーズにお応えしています。

◎要望例
・製造過程で溶け込んだ油分の熱分解の挙動が、水素、窒素など任意の雰囲気で違いが現れるかを知りたい
・合金等が、水素、窒素などの雰囲気ガスと反応するか、また、その反応する温度等を知りたい
・雰囲気を変えたらどうデータが変わるのかを知りたい

◎取扱品目
走査電子顕微鏡(SEM)
熱重量・示差熱・昇温脱離質量数分析(TG-DTA-MS)
粉末X線回折(XRD)
圧力-組成等温線(PCT)測定
高圧示差走査熱量分析(DSC)
フーリエ変換赤外分光分析(FT-IR)

※空気非接触環境での分析サンプルはPDFダウンロードよりご覧いただけます。
 お問合せ・分析のご依頼もお気軽にどうぞ。

『空気非接触環境での受託分析サービス』※分析サンプル資料進呈

迅速・簡単かつ高精度に熱拡散・熱伝導率測定が可能な、最新卓上Xeフラッシュアナライザー。測定温度範囲は、-100℃~1250℃の幅広い領域をカバー、パルス幅の向上により従来では測定困難な薄膜の高熱伝導サンプルにも対応。最大16個のオートサンプルチャンジャーを標準装備。大口径から微小径のサンプルを高精度に測定が可能です。

LFA 467 HyperFlash / 熱伝導率測定装置

電気化学測定電極とセル(腐食測定セルを含む)などの豊富なアクセサリーを販売し、お客様の研究開発をサポートいたします。

電気化学測定用電極&セルアクセサリー

『IsoMet Low Speed』は、様々な種類の材料を最小限の変形(ひずみ)で
切断するために設計された精密切断機です。

低カーフロス能力と、幅広い種類のサンプル形状や構成を保持する
優れた汎用性を保有。

それにより、脆性または延性のある金属、複合材、セメント、ラミネート、
プラスチック、電子デバイス、生体材料など、様々な材料を切断できる
精密なセクショニングツールを提供しています。

【特長】
■再現性のある高い表面品質を得ることができる
■多種取り揃えたサンプルチャックにより、様々なサイズや形状に対応可能
■セットアップを迅速かつ容易に行える
■常に正確な位置でカットすることができる
■モーター速度は0~300rpmの間で調整できる
■3in、4in、5inサイズの様々なダイアモンド(HC、LC)、CBNブレードに対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

精密切断機『アイソメットロースピード』

当資料は、光触媒加工液「ガイアクリーン」におけるUV遮蔽率測定を
行った際の試験証明書です。

測定機は島津 UV-3100PC、付属装置には積分球付属装置 ISR-3100を使用。
また、紫外線バンドパスフィルターも使用しました。

加工布・未加工布でそれぞれ試験結果を掲載しております。
是非、ご覧ください。

【掲載内容】
■品番・品名及び色柄番
■試験項目
■試験結果
■注釈(測定条件、備考)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【資料】ガイアクリーン UV遮蔽率測定 試験証明書

『メタルウェザー』は、光(紫外線・可視光線)、熱、結露、湿度、
降雨などの劣化因子を目的に合わせて様々な条件を設定することができる
メタルハライドランプ方式試験機です。

サンシャインやキセノンに比べ、約10倍の促進による時間短縮と
ランニングコストの低さで優れた経済性を発揮。
研究開発や品質評価などに好適です。

【特長】
■高い促進性で試験時間を大幅に短縮可能
■KFフィルターは耐ソーラリゼーション性に優れ、4,500時間の耐久性で、
 交換回数の減少を実現
■光以外の劣化因子(熱、湿度、結露、シャワー)を任意に条件設定可能
■試験条件を16条件まで登録可能。試験時に呼び出すだけの簡単操作
■初期設定した紫外線照度は試験終了まで自動補正可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

超促進耐候性試験機『メタルウェザー』

当社で取り扱う各種分析機器についてご紹介します。

カラーイメージングと多角度の分光測定機能を備えた
「ポータブル多角度分光測色計MAシリーズ」をはじめ、
12ビット高分解能・任意信号発生器など多様な機能を標準搭載した
「オシロスコープ T3DSO2000HD」などをラインアップ。

その他、レーザーに匹敵する可視化性能とLEDの寿命が融合した
「可視化用ルミネッセンス光源 Lumino-Yellow」も取り扱っております。

【ラインアップ(一部)】
■PIV用半導体ファイバーレーザーシート光源
■電気化学反応可視化コンフォーカルシステム
■フル電動顕微鏡システム
■SEM(走査電子顕微鏡)
■ガスクロマトグラフ飛行時間質量分析計

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

分析機器

当製品は、生産終了されたオリンパス社のOMCL-AC160TSと同等品です。そのため、従来のオリンパス社製のAFMプローブと同様にご使用いただけます。

<SPM-AC160S-ASの特徴>
1. 高分解能測定
高いQ値、300 kHz(Typ.)の共振周波数およびバネ定数26 N/m(Typ.)の柔らかさを両立。これにより、試料へのダメージを最小限に抑え、高分解能な試料表面の凹凸測定および高感度な位相測定が可能。

2. 安定した先端構造
尖鋭化処理および従来のプローブの製造経験による安定した鋭利な探針。テトラヘドラル型の採用により、光学顕微鏡が組み合わさったSPM装置で測定する際に、試料と探針の位置関係を確認できるため、正確な位置調整が容易。

オリンパス社 OMCL-AC160TS相当品 AFMプローブ

当製品は水銀フリー紫外線光源です。
基礎検討や応用開発に向けた標準サイズ品。

この他にも発光パワーグレード、デバイスサイズ等、
複数のバリエーションを用意しており、特注サイズにも対応いたします。

【特長】
■小型・軽量
■平面型
■特注サイズにも対応

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

水銀フリー紫外線光源『UV-SHiPLA-SS』

CXCは独国PN Detector社のカラーX線カメラ(CXC)です。
Full Field XRF測定、エネルギー分散型小角X線散乱、蛍光X線とX線回折の同時測定、顔料等の材料分析などのアプリケーションに有用です。

カラーX線カメラ(CXC)

『LABOX-100シリーズ』は、最新ハードウェアの装備、徹底したムダの
排除による構造の簡略化により、高機能と低価格化を同時実現した
研究開発用パルス通電加圧焼結装置です。

焼結機本体、パルス電源、真空排気装置、加圧力駆動機構、操作制御盤を
オールインワンにセットアップしました。

広い開口部を設けた真空チャンバー、液晶タッチパネルの採用、
各種インターロック機能、メンテナンスの容易さなど、操作性、作業性、
安全性に配慮した設計により、焼結加工の初心者でも高品質な焼結体を
作製することが可能です。

【特長】
■高いコストパフォーマンス
■コンパクト
■省エネ低騒音
■軽量設計
■熟練不要のシンプルオペレーション

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

研究開発用パルス通電加圧焼結装置『LABOX-100シリーズ』

パイレックスガラス管は標準管、肉厚管、薄肉管、毛細管など種類が大変豊富です。弊社ではこれらを1本から販売させていただいております。
またご希望の長さにカットしてご希望の両端仕上げ(焼き仕上げ、摺り仕上げ、切り放し)にさせていただきます。
また規格サイズ以外にも製作出来る物もあります。(外径10φぐらいまで)
生地だけではなく様々な加工もさせていただいておりますのでガラス加工のことならお気軽にお問い合わせください。

パイレックスガラス管

ペルチェ素子の冷却によるサーマルノイズの極小化と電荷収集の極大化により、高いエネルギー分解能と高計数を実現した、エネルギー分散型X線検出器と計数回路の綜合システム。

シリコン ドリフト ディテクタ システム

エナジーロジカルの「真空チャンバー」製作実績をご紹介いたします。

材質はSUS304でTIG溶接にて製作。製作後の完成検査では、ヘリウム吹き付け法にて
リークテストを行い、Heリークレート:1×10-9Pa・m3/secオーダーの保証をしております。

また、ご希望に合わせ、真空チャンバーの内面・外面のバフ研磨処理も施します。

【概要】
■材質:SUS304でTIG溶接にて製作
■製作後の完成検査では、ヘリウム吹き付け法にてリークテストを行い、
 Heリークレート:1×10-9Pa・m3/secオーダーを保証
■ご希望に合わせ、真空チャンバーの内面・外面のバフ研磨処理も施す
■工期:2カ月

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【実績】真空チャンバー

弊社開発のセルフロック機構(Shoji-Lock)を内蔵した応用製品を数多く開発、お客様にご好評いただいております。(国内外特許取得済み)

<shoji-lock製品の特長>
・入力側から回転を加えると出力側は減速し動力を伝えるが、出力側からは回転不可=セルフロック機能。つまりブレーキ不要で止めたい位置で荷重を保持できる。
・同じセルフロック機能を有するウォーム減速機に比べ、高効率。さらにウォームが入力と出力が直交しているのに対し、入出力軸が一直線上(インライン上)にある為、かなりコンパクトになり省スペース化、軽量化が図れる。
・ラチェットやワンウェイクラッチと異なり、正逆回転どの位置でも動きを止めたところで荷重を保持できる。またブレーキ解除無しでリスタート可能(正逆回転どちらでも可)、簡単な操作性を有する。
また、ラチェット音もないので静かな環境での使用に適している。
・基本密閉構造(IP65)でメンテナンスフリー。
・各応用製品には手動専用と市販の電動工具(ドリルドライバー)で駆動できるタイプをラインナップ。

ラボ・研究室向 ブレーキ無しで荷重保持ウインチ・ジャッキ・減速機

当製品は、生産終了されたオリンパス社のOMCL-AC240TSと同等品です。そのため、従来のオリンパス社製のAFMプローブと同様にご使用いただけます。

<SPM-AC240S-ASの特徴>
1. 粘弾性の測定や柔らかい試料に対応
ダイナミックモード(タッピングモード)用としては小さいバネ定数の機械特性を持つため、試料と探針間の荷重を小さく抑えられます。そのため柔らかい試料の形状および粘弾性の測定に適しています。
2. 安定した先端構造
尖鋭化処理および従来のプローブの製造経験による安定した鋭利な探針。テトラヘドラル型の採用により、光学顕微鏡が組み合わさったSPM装置で測定する際に、試料と探針の位置関係を確認できるため、正確な位置調整が容易。

オリンパス社 OMCL-AC240TS相当品 AFMプローブ

秘匿性の高い開発商品や、クレーム対応の原因究明や、自社には分析室がない、時間がない、保有していても自由に使えない。様々な不安を感じたとき、お気軽に自社ラボのように利用可能な、「ゆあらぼ」サービス。

最先端装置と技術者を提供する「ゆあらぼ」サービス

『1206HR CMOS X-ray Detector』は、ピクセルサイズが50μmで、高解像度のCsIまたはGadoxシンチレータを備えた、前臨床、理化学、および工業用途
向けに特別に設計された高解像度動的X線検出器です。

フル解像度で最大59fpsのフレームレート。

14ビットのデジタル出力と、高ダイナミックレンジモードまたは低線量のリアルタイムイメージングに最適な高感度モードの2つのゲインモードを備えています。

インターフェースは、USB3、イーサネット、カメラリンクから選べます。

【特長】
■イメージラグを最小限に抑えた高速、低ノイズイメージング
■CMOSセンサーを光ファイバープレート(FOP)に接着し、X線耐性を確保
■高感度・高ダイナミックレンジの2つのモード
■高速で任意選択可能な関心領域
■高解像度/高感度CsIシンチレータ、またはGadoxシンチレータの選択
■迅速な開発推進のためにWindows SDKを提供

※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

1206HR CMOS X線 ディテクタ

設備トラブルで損傷した部位を詳細に解析することで、発生したトラブルの真の原因を究明し、対策を提案して再発防止や改善に役立てていただけます。東レグループでの40年以上の経験と専門知識をベースに電子顕微鏡や成分分析装置など各種ツールを駆使してお客様の疑問にお答えします。

【解析装置例】
■走査型電子顕微鏡(SEM)
■エネルギー分散型X線分析装置(EDS)
■硬度計
■各種光学顕微鏡 等

『損傷解析』設備トラブル約3000件の解析実績!

『SMC-10A』は、試料のアウトガス採取とTD(GC加熱脱離装置)捕集管の
コンディショニングが可能な簡易マイクロチャンバーです。

専用ガラス管に少量試料を入れ加熱する簡易的なダイナミックヘッド
スペース法が可能。専用ガラス管の装着が最大10本までできます。

また、用途別に交換できるチューブコンディショナー「SMC-10B」も
ご用意しております。

【特長】
■外径16mmの専用ガラス管が使用可能
■最大10本までセット可能
■簡易的なダイナミックヘッドスペース法が可能
■簡単に試料のアウトガス採取が行える
■温度プログラムの設定が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

簡易マイクロチャンバー『SMC-10A』

当社では、反応面積が0.5cm2と小型なので試験材料の量、組み立ての手間を
大幅に簡略化できる『半セル試験装置』を取り扱っております。

分極評価装置としては電気化学装置として一般に普及している
ポテンショスタットがあれば良く、またガス加湿装置も不要。

特にカソード側の材料を問題にする場合には、酸素ガスのみを
供給できれば良く、危険な水素を連続的に供給する必要がありません。

【特長】
■小型で安価
■初心者でも使いやすい
■ガス相の電極反応解析
■温度コントロールも容易
■MEAの耐久性試験も可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

『半セル試験装置』

『液相用QCMお試しキット』は、「QCMとはどんなものなのか?」または「QCMが現在の研究課題に役に立つものなのか?」など「試してみたい!」という研究者の方のためのリーズナブルでお手軽なキットです。
より正確な測定のためには、お試しキット(発振回路とセンサ部)を恒温槽で温度制御する必要があります。
周波数カウンタとパソコンを接続し、連続的な周波数カウンタをパソコンに取り込み記録しておくと便利です。

【特徴】
○1セットの内容は、センサー10個と液相用発振器1台
○センサーが足りなくなりましたら、別途ご注文願います

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

QCMセンサーシステム「液相用QCMお試しキット」

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化学・材料・製造における表面・界面の評価

化学・材料・製造における表面・界面の評価とは?

化学物質、材料、そして製造プロセスにおける表面および界面の特性を理解し、定量化すること。これは、製品の性能、耐久性、機能性を決定する上で極めて重要であり、研究開発から品質管理まで幅広い分野で応用される。

課題

微細構造の検出限界

ナノメートルオーダーの微細な表面構造や界面の欠陥を、従来の評価手法では捉えきれない場合がある。

複合材料の界面特性評価の複雑さ

異なる材料が接する界面では、その組成、結合状態、物性が複雑に絡み合い、単一の評価手法では全体像を把握しにくい。

非破壊・in-situ評価の困難さ

製造プロセス中や実使用環境下での表面・界面の変化を、材料を破壊せずにリアルタイムで評価することが難しい。

データ解釈の専門性と時間

得られた表面・界面の評価データを正確に解釈するには高度な専門知識と多くの時間を要し、迅速な意思決定の妨げとなることがある。

​対策

高分解能イメージング技術の活用

原子間力顕微鏡や走査型電子顕微鏡などの高分解能イメージング技術を導入し、微細構造を詳細に可視化する。

多角的な分析手法の組み合わせ

X線光電子分光法やオージェ電子分光法など、異なる原理に基づく分析手法を組み合わせ、界面の組成や化学状態を多角的に評価する。

リアルタイムモニタリングシステムの導入

プロセス中にリアルタイムで表面・界面情報を取得できるセンサーや分光器を組み込んだモニタリングシステムを構築する。

AI・機械学習によるデータ解析支援

AIや機械学習を活用し、膨大な評価データを効率的に解析・解釈することで、専門家の負担を軽減し、迅速な洞察を得る。

​対策に役立つ製品例

高解像度表面観察装置

ナノスケールの表面構造や微細な凹凸を鮮明に捉え、材料表面の形態学的特徴を詳細に分析できる。

界面組成分析システム

異なる材料が接する界面の元素組成や化学結合状態を、高い感度と空間分解能で特定できる。

プロセス内観測用分光器

製造プロセス中にリアルタイムで表面や界面の化学的・物理的変化をモニタリングし、プロセス制御に役立てる。

自動データ解析ソフトウェア

複雑な表面・界面評価データを自動的に処理・解析し、傾向や異常を迅速に検出し、レポートを作成する。

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