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半導体用薬液の超高純度とは？課題と対策・製品を解説

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

半導体製造プロセスにおいて、微細化・高集積化が進むにつれて、使用される薬液の純度に対する要求は極めて高くなっています。半導体用薬液の超高純度とは、金属不純物や微粒子などのコンタミネーションをppb（10億分の1）レベル、あるいはそれ以下にまで低減させた状態を指します。これは、半導体の性能、歩留まり、信頼性を決定づける重要な要素であり、製造技術の根幹を支える技術と言えます。

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【研究機関向け】イオン交換カートリッジ純水器

株式会社トップウォーターシステムズ

研究機関における実験では、精製水の品質が実験結果に大きく影響します。特に、微量な不純物が結果を左右するような精密な実験においては、高純度の純水が不可欠です。不適切な純水の使用は、実験の再現性を損ない、正確なデータ取得を妨げる可能性があります。 TRIシリーズは、RO純水設備の後段に設置する事で、高純水が手軽に大容量採水できます。RO純水は実験の信頼性を高めます。【活用シーン】・一次純水、分析用水、加湿水、洗浄水・化学分析用水、超純水製造装置への供給水・実験、検査用水

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【研究所向け】小型RO純水装置　TW-020-SRO

株式会社トップウォーターシステムズ

研究所における分析業務では、精度の高い結果を得るために、不純物の少ない純水が不可欠です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、水質が結果に大きく影響します。不適切な水質は、実験データの信頼性を損ない、研究の遅延につながる可能性があります。当社のスタンダードRO純水装置小型『TW-020-SRO』は、RO膜により90～99％の不純物を除去し、高レベルな純水を浄水します。【活用シーン】・分析試薬の調製・細胞培養・機器分析（HPLC、ICP-MSなど）・実験器具の洗浄【導入の効果】・分析結果の信頼性向上・実験の再現性向上・試薬コストの削減・装置の小型化によるスペースの有効活用

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【大学・実験向け】小型RO純水装置 TW-020-SRO

株式会社トップウォーターシステムズ

大学・実験分野では、実験の精度を左右する純水の質が重要です。特に、微量な不純物でも結果に影響を与える可能性のある実験においては、高純度な水の確保が不可欠です。不適切な水質は、実験結果の誤差や再現性の低下を引き起こす可能性があります。TW-020-SROは、RO膜により90～99％の不純物を除去し、高レベルな純水を生成します。【活用シーン】・化学実験・生物学実験・分析化学実験・試薬調製【導入の効果】・実験精度の向上・実験結果の信頼性向上・ランニングコストの削減

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【研究施設向け】FWS 50 高断熱ファサードシステム

シューコー・ジャパン株式会社

研究施設では、温度・湿度管理が厳密に求められ、外部環境からの影響を最小限に抑えることが重要です。特に、精密機器や実験設備においては、外気の影響による性能劣化や測定誤差は、研究の信頼性を損なう可能性があります。Schüco FWS 50は、高い断熱性能と気密性により、外部環境からの影響を遮断し、安定した研究環境を提供します。【活用シーン】・クリーンルーム・精密測定室・実験室・分析室【導入の効果】・温度・湿度の安定化・省エネルギー化・研究データの信頼性向上

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【スポーツジム向け】災害時移動型 RO純水装置 RO5

株式会社トップウォーターシステムズ

スポーツジムでは、トレーニング中の水分補給はパフォーマンス維持に不可欠です。安全な水を提供することは、顧客満足度を高める上で重要です。RO純水は、不純物を除去し、安全な水を供給、ジムの信頼性を向上させます。『TOPレスキューRO5』は、実績のあるRO（逆浸透膜）方式で、有害物質、化学物質、放射性物質も分子レベルで除去する小型RO無菌純水浄水装置です。2度目の支援事業、東京都先進防災技術実用化商品。どこにでも置ける移動式のユニバーサルデザイン。コストパフォーマンスに優れています。【活用シーン】・トレーニング中の水分補給・プロテインなどの飲料の調合【導入の効果】・安全で高品質な水の提供・顧客満足度の向上・ジムの信頼性向上

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RO逆浸透膜(RO膜)

株式会社オーセンアライアンス

当社では、水処理のための非常に科学的で実用的なシステムである『RO逆浸透膜(RO膜)』を取り扱っております。圧力上昇による透過水量の不足を防ぐため、高圧ポンプをインバーター制御し、安定的に流量と水質を確保できるシステムを採用。エネルギー効率の低減と現場での流量調整・温度管理も必要としないシステムを実現しております。その他にも濃縮水の排圧を利用した消費電力の節約など、お客様のニーズに合わせた様々な装置方式の提案が可能です。【用途】 ■超純水 ■プロセス用純水 ■電力用冷却水 ■ボイラー用水 ■冷却塔補充水　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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小型RO装置＋EDI装置

株式会社オーイーエス

当製品は、比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる装置です。電気再生式のEDIを使用していますので薬品の使用は不要。再生排水は処理の必要がなく、そのまま排水できます。 1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑えており、UV装置や UF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保できます。【特長】 ■高品質の純水が採水可能 ■薬品による再生工程はない ■省スペース設計 ■当社の中国工場で製造した装置を輸入 ■各種装置と組み合わせ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フィルターカートリッジ『サートンポアフィルターカートリッジ』

共伸テクノ株式会社

『サートンポアフィルターカートリッジ』は、メンブレン膜を用いて食品飲料工業や化学薬品工業での液体の精密濾過、また電子工業・半導体工業での超純水を始めとした精密濾過用に適したフィルターカートリッジです。濾材に断面が非対称の構造を持ったポリエーテルスルフォン製のメンブレンを用いており精密濾過に優れた性能を発揮する「CESタイプ」をはじめ、濾材に断面が非対称の構造を持ったポリスルフォン膜を用いており、耐薬品性と耐熱性に優れているため、各種薬液の濾過に長時間使用できる「CSSタイプ」をラインアップしております。【特長（CESタイプ）】 ■濾材は断面が非対称の構造を持ったポリエーテルスルフォン製のメンブレン ■精密濾過に優れた性能を発揮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体検出器用プリアンプ『CSP02』

株式会社ANSeeN

株式会社ANSeeNにて取り扱う半導体検出器用プリアンプ『CSP02』について、ご紹介いたします。 CdTe検出器等の低漏洩電流、低容量用検出器用のプリアンプで、AC結合の電荷有感型前置増幅器で構成。波形解析装置の100MHzサンプリングに対応する高速仕様(立ち上がり10ns以下)で、半導体検出器内の電荷移動の解析にもお使いいただけます。【主な性能】 ■雑音：350 electrons FWHM at 0pF ■ゲイン：1 V/pC ■立ち上がり時間：6ns at 0pF ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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純水薬液用ポンプ『MLシリーズ』

アルプス販売株式会社

『MLシリーズ』は、1MPa〜500MPaまでの広範囲の圧力を発生させることができる純水薬液用ポンプです。ご使用可能な流体は、一般水・純水・IPA・NMP・過酸化水素水・フォトレジストなど多種にわたります。また、ポンプ吐出ラインの付属品もございますのであわせてご参考にしてください。【特長】 ■1MPa〜500MPaまでの広範囲の圧力が発生可能 ■ポンプ吐出ラインの付属品もご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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ハンディータイプガスリーク検知器『SP-220 TYPE SC』

理研計器株式会社

『SP-220 TYPE SC』は、半導体材料ガス用のハンディータイプガスリーク検知器です。新たに開発されたセンサにより、低濃度(0.1ppm～)ガスを検知可能。暗所でも測定箇所を見分けられ正確に測定が行えます。また、燻蒸ガス用の「SP-220 TYPE FUM」もご用意しており、燻蒸ガス用 7種類または、半導体材料ガス用40種類の測定ガスに切り替えが可能です。【特長】 ■小型、軽量でもタフなボディー ■低濃度ガスをスピーディーで確実に検知可能 ■ボタン操作でさまざまなガス濃度を直接的に検知 ■データロガ機能搭載 ■LEDライト搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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クリーンベンチ　～局所クリーン化の決定版～

菱井商事株式会社

手間のかかる工事などは一切不要。フィルタを通し清浄化した対抗する気流を衝突させることで、周囲を囲うことなく清浄な空間を確立。テーブル用、フロア用、コンベア用がラインナップ。 C 900-Fはキャスター付きで簡単に移動が可能。【特徴】 ○吹き出し面から離れた位置でもゾーン内の清浄度の低下はほとんどない ○囲いがないにもかかわらず広い範囲の清浄空間を形成する ○設置場所を選ぶことなくISOクラス1の清浄度を実現する詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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ポリマー・ナノ粒子・オリゴマー用ダイアフィルトレーションシステム

ダイセン・メンブレン・システムズ株式会社

省エネ・高効率！膜式ポリマー、ナノ精製・濃縮システム ■□■特徴■□■ ■ポリマーやナノ粒子の製造水溶液から、膜によって不純物塩類を　効率的に自動で除去 ■中空糸膜型から、高粘度対応のチューブラー型まで、ニーズに合わせて対応 ■精製した液をセットして、装置を起動するだけでOK 　精製完了までオール自動運転可能 ■精製に必要な純水がなくても可能、精製に使用した水をリサイクルで　再度精製にも使用できる ■その他機能や詳細については、カタログダウンロード　もしくはお問い合わせ下さい。

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マルイチ藤井　MFPFA細口ボトル01

株式会社マルイチ藤井

PFAは、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）の優れた特性と従来の熱可塑性樹脂の加工のし易さを兼ね備えています。PFA製品は、260℃（500゜F）までの高温や薬品耐性、非粘着性、円滑性を提供します。

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化学物質安全管理支援システム『Chemical Design』

株式会社インフォグラム

『Chemical Design(ケミカルデザイン)Ver.7』は、化学物質の運用と保管にかかる安全性を考え、効率性の確保のために作られたシステムです。【特長】 ■シンプルなユーザーインターフェースと簡単な操作で、誰でもすぐにシステムを使用できます。 ■バーコードシールを利用して、試薬1ビン1ビンを個別に管理します。 ■試薬メーカー提供のカタログデータを参照して簡単に在庫登録できます。 ■電子天秤と連動した詳細な使用量管理も可能です。 ■バーコードリーダーやラベルプリンターなど様々な周辺機器と連携し、業務をサポートします。 ■登録されたデータに対して、任意の条件を組み合わせて検索、集計が行えます。 ■対応ブラウザを拡充 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ドライルーム

五和工業株式会社

ＤＳ型ドライルームは低露点性能を省エネ運転で発揮します。弊社の主力商品であるスプリンター除湿装置の省エネ・高信頼性・メンテナンスフリー性能をふんだんに盛り込んでいます。設置場所に応じたオプションが自由に選べます。

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超純水用　電子瞬間湯沸し器　「エマックス（Eamax)」

株式会社日本建装工業

NASAの技術を搭載半導体製造工程・原子力産業・化学薬品、薬剤製造・発酵、酵母菌等バイオ工学・その他各種食品加工の製造等の超精密度を必要とする洗浄用超純水の給湯に最適！本製品で超純水を加熱しても全く限界検出の数値(P.P.b　10億分の1の含有限界値)に左右されません。詳細はカタログをダウンロード！

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卓上型精製水器『PURE MAKER』

サンエイ化学株式会社

『PURE MAKER』は、水道水から精製水（純水）を採水できる電源不要の卓上型精製水器です。水道水をタンクに入れるだけで、独自開発したイオン交換樹脂カートリッジが不純物を除去し、純度の高い精製水（純水）を作り出します。精製水（純水）は、スチーマーや加湿器、歯科医療器具の洗浄機器など、水を水蒸気化させて使用する精密機器に適しています。また、精製水を使うと、高価な精密機器をより長く使用できます。【おすすめポイント】 ■水道水から簡単に精製水が作れる ■1Lあたり約14円で経済的 ■電源不要で置く場所を選ばない ■いつでも必要な時に必要な分だけ採水可能 ■コンパクトでスタイリッシュなデザイン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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各国化学法規制に対応した吸湿剤・乾燥剤・除湿剤『EX-DRY』

株式会社三和

『EX-DRY』は、欧州RoHS指令、ELV指令の適合製品です。国連GHS、欧州REACH、欧州CLP、中国GB（国家強制標準）に基づき各法規制の対応をしております。特に欧州、中国での化学物質等の法規制にはいち早く対応し、お客様が安心して輸出して、使用していただけます。また、4か国語でSDS（安全データシート）につきましても対応しており、当製品は2015年10月に欧州REACHに本登録されました。中国国内に於いては化学事故緊急相談の対応も継続して行っております。【特長】 ■欧州RoHS指令、ELV指令適合 ■国連GHS、欧州REACH、欧州CLP、中国GBに基づき各法規制の対応 ■日本語・英語・中国語・スペイン語（現在対応準備中）の　4か国語でラベル表記を施している ■2015年10月に欧州REACHに本登録 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ラボ用純水装置 PURELAB Chorus3 10/20/30

セナーアンドバーンズ株式会社

『PURELAB Chorus 3 10/20/30』は、ラボ用純水装置です。このサイズ1台で最大39リットル/時の製造能力があり、複数の環境試験機や蒸気発生器などにも供給可能。この他にも、純水の使用量増加にフレキシブル対応できる「PURELAB Chorus 2 10/20」もご用意しております。【特長】＜PURELAB Chorus 3 10/20/30＞ ■ISO3696 Grade 3 準拠 ■使用量のアップにも最大156リットル/時まで簡単にスケールアップ ■ディスプレイ表示がより詳しくなり、使い勝手が良くなった ■高性能RO膜の採用により水道水中の不純物を 95%程度以上除去できる ■0.03～0.1MΩ・cm程度の純水が得られる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フッ素樹脂細口試薬瓶・ボトル　NR0195酸洗浄PFA細口ボトル

株式会社フロンケミカル

NR0195酸洗浄PFA細口ボトル(クリーンパック)は、酸洗浄を施す事により、容器内の微量金属イオンを可能な限り除去しております。また、表面に付着しているパーティクルや油脂等も除去。キャップは中栓無しでも液漏れしない構造です。その他、NR1680フッ素樹脂(PFA)細口試薬瓶中栓ナシや、NR1151ビッグボーイ細口瓶、NR0188フッ素樹脂(PFA)細口試薬瓶等をラインアップしています。【特徴】［NR0195酸洗浄PFA細口ボトル］ ○クリーンパック ○工程：酸洗浄→純水洗浄→包装(2連パック)→出荷 ○目盛付き ○耐熱温度 -200～+260℃ ○作業環境：クリーンルームclass1000 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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トリクロールエチレン

株式会社リサイクル

当社では、『トリクロールエチレン』を取り扱っております。成分含有量は、トリクロルエチレンが99％以上で、 1,2-ブチレンオキサイドは 0.1％となっております。容器等から漏洩がないことを定期的に点検し、使用設備等の密閉化、回収措置の徹底等により使用の合理化に努めて下さい。【仕様】 ■YPE：W ■NET：290kg ■国連番号：UN 1710 ■指針番号：160 ■トリクロルエチレン：99％以上 ■1,2-ブチレンオキサイド： 0.1% ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ミニチュア流体制御デバイス「AirLogic」

サンワ・エンタープライズ株式会社

AirLogic社はアメリカウィスコンシン州に本社を置く、小型流体制御製品の専門メーカーです。AirLogic社の専門分野は、特にオリフィスリストリクター、チェックバルブ、フィルター等、微細形状の樹脂成型品です。

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ラボ用水素発生装置

山東サクセス水素エナジー有限会社

QL型水素ガス発生器はSPE純水の電気分解により、高純度水素ガスを発生します。軽量、安全、高効率、省エネに優れ、ガスクロマトグラフ（GC）、導電性検出器、原子発光分光分析装置などの分析装置の燃料ガス、キャリアガスや、物理·化学実験用、研究用水素源としてご使用いただけます。

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ワイピングクロス　クリーンルーム用　

株式会社リントレーコーポレーション

マイクロファイバー長繊維を使用しており、クラス100で洗浄・クリーニングされている為、極めて低発塵です。非常にやわらかい為、対象物を傷つける事なく拭き取れます。ミクロの汚れ、油膜等もクリーンに拭き取れます。

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OES・強アニオンイオン交換樹脂『A-304』

株式会社オーイーエス

『A-304』は、スチレン-ジビニルベンゼン共重合体に第4級アンモニウム基を持つ陰イオン交換樹脂です。主に混床式の純水装置、複床式純水装置に使用され、純度の高い水質精製が可能。化学的、物理的安定性を保持しています。他にも「C-108」をはじめ「A-307」や「C-258FD」、「D-870B」、「MB-8415」、「ER-8415」をラインアップ。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【特長】 ■種類と構造：強塩基性・ゲル形　 ■母体構造：スチレン系 ■官能基：-N+(CH3)3OH ■販売時の基準形：Cl型 ■形状：湿潤状態の球形 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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化学物質マネジメントシステム『ExESS』

株式会社江守情報

『ExESS』は、企業が持つ全ての製品（化学物質、混合物、成形品）情報を化学物質レベルで一元管理し、その製品に含まれる危険有害性や該当法規等の特定を強力に支援するよう設計された化学物質マネジメントシステムです。情報を一元管理することにより、全社レベルで「業務の標準化」、「業務の効率化」、「法令対応」に取組めるだけでなく、蓄積した情報を効率的に利用する事ができます。【特長】 ■紐付く全てのデータ項目をデータベース化し、一元管理 ■拠点・グループ会社を含めた化学物質の一元管理も可能 ■各国のSDSやラベル要素用の入力・表示画面などの　様々な標準レイアウトを準備 ■画面レイアウトは用途に合わせて新規作成、テンプレートとして保存可能 ■一度作成したものでも容易に変更可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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純水生成システム逆浸透膜『V1』

細大株式会社

『V1』は、逆浸透膜(ROメンブレン)と呼ばれる特殊な膜に圧力をかけながら原水を通過させ、純水を生成するシステムです。水圧やスペースに応じてタンク付タイプと大容量逆浸透膜採用のタンクレスタイプの2タイプがございます。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【製品仕様(V1-S-30)】 ■本体：303(W)×348(H)×97(D) ■タンク：280(W)×380(H)　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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電機機器「ガス循環精製装置＆グローブボックス」

株式会社飯島機械製作所

「ガス循環精製装置」は、窒素、アルゴン、ヘリウムなど吸着式、反応式を利用した各種高純度ガス精製装置です。「グローブボックス」は、希ガスの水分、酸素、有機溶剤濃度を下げ低露点を確保・維持します。いずれもオーダーメイド生産・オリジナル製品作成が可能です。開発・設計から納品･設置・施工まで一元管理。ご使用される設備の種類に応じた好適な精製装置をご提案いたします。【特徴】［ガス循環精製装置］ ○窒素、アルゴン、ヘリウムなど吸着式、反応式を利用 ○各種高純度ガス精製装置［グローブボックス］ ○希ガスの水分、酸素、有機溶剤濃度を下げる ○低露点を確保・維持詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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化学製品　製造・精製サービス

株式会社グロンターブル

当社では、化学製品の製造・精製を行っています。また、お客様ブランドによる洗浄剤・化粧品・医薬部外品・日用品など、幅広い製品の充填・包装・梱包を承っております。お客様と共同開発した製品は、固有のブランドで商品化することもできます。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。【サービス】 ■充填・包装・梱包作業 ■充填 ■シュリンク包装 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

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MAX-2500 ラテックスクリーングローブ

株式会社エムアイティ

作業性に優れたグリップ性能を有しているので、幅広い作業に適したクリーングローブです。低タンパク仕様により、タンパク由来のアレルギー発症リスクを軽減。

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卓上型精製水器ピュアメーカー用カートリッジ　定期購入のご案内

サンエイ化学株式会社

サンエイ化学株式会社では、卓上型精製水器『ピュアメーカー用カートリッジ』のリピート・定期購入をご案内しています。お届け回数やお届けサイクルなど、お客様のタイミングに合わせて精製水カートリッジをお届け。定期購入でご購入いただくと、通常価格よりも20％OFFでお得に新鮮な精製水をお使いいただけます。【お得で便利な定期購入5つのPOINT】 ■定期購入だけのお得な特別価格20%OFF ■90日毎のお届け指定が可能 ■全国どこでも送料無料 ■お支払いは商品のお届け毎で安心 ■変更、スキップはお電話1本でOK ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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混床式純水装置（活性炭吸着塔付）

株式会社昌平

『混床式純水装置』は、活性吸着炭塔付で､ランニングコストを軽減できる製品です。陽イオン交換樹脂と、陰イオン交換樹脂を1塔にて混合して充填しているため、省スペース化。通水時に連続してイオン交換が起こり、1μS/cm以下の純度の高い純水が得られます。前処理として活性炭塔を採用しており、樹脂にとって有害な塩素イオンや有機物等を除去することで、高価な樹脂の劣化を遅らせ交換時期を延ばし､ランニングコストを抑制します。【特長】 ■高純度の純水が得られる ■活性炭吸着塔付だから、高価な樹脂を長持ち、経済的 ■ランニングコストを軽減する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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薬液定温供給装置

株式会社セラ

接液部は全てPFA樹脂で出来ています。インライン（貯液槽無し）で、目的の精度を確保します。

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FMI社製　定量ポンプ　マイクロセラムポンプシリーズ

山善株式会社

セラミック製のバルブレスピストン方式の定量ポンプです。１９５９年、米国FMI社のオリジナル製品として開発され、６０年の歴史と世界中のさまざまな用途での組み込み実績を有しています。ピストン/シリンダーは精密なセラミック加工技術で製造され、群を抜いた精度、定量性、繰り返し再現性を有している定量ポンプです。【特徴】１．接液部はアルミナセラミック、フッ素樹脂で構成され、酸、アルカ　　リ、有機溶媒など広範な薬品に対し、高い耐薬品性を有しています。２．群を抜いた精度と定量性、繰り返し再現性があります。３．ピストンのストローク量を変更（０～１００％）して、吐出量が自由　　に可変できます。また吐出量固定タイプも供給可能です。４．部品点数が少なく簡単な構造のため、メンテナンスが容易です。　　ポンプヘッドも容易に取り外しできます。

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半導体材料ガス探知器『XP-703DIII』

日伸物産株式会社

『XP-703DIII』は、胸ポケットに収まる半導体材料ガス探知器です。手に収まるコンパクトボディで、1台で様々な半導体材料ガスに対応し、ごく微量なガスを検知可能。また、警報がわかりやすいアラームランプを2ヶ所に搭載しております。ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■手に収まるコンパクトボディ ■1台で様々な半導体材料ガスに対応 ■ごく微量なガスを検知可能 ■警報がわかりやすいアラームランプを2ヶ所に搭載 ■電池残量や警報音・操作音のON/OFFが分かりやすいLCE画面を搭載 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

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クリーンペーパー『ラボタオル』

株式会社ユニケミー

『ラボタオル』は、理化学分析会社が作った安心品質のクリーンペーパーです。コンタミネーションや腐食を嫌う検査・試験機器の拭き取りや精密部品・研磨製品の安全な梱包材として利用できます。また、エンボス加工で、吸水・吸油性能、耐久性に優れているほか、ダイオキシン類の含有も少なく廃棄・焼却時の環境影響にも配慮しています。姉妹品で、便利なコンパクトサイズの「ラボタオルMINI」もご用意しております。【特長】 ■低汚染 ■高い性能・強度 ■環境に配慮 ■使い捨てタイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『NuPure Gas Purifier OMNIシリーズ』

株式会社エムアイティ

Omniシリーズの『NuPure Gas Purifier』は、ヒーター、断熱材および電子機器(温度制御)が一体となったNuPure社製ガス精製器（ガスフィルター）です。「Ultra Pure PF/XLシリーズ」の精製器(フィルター)が内蔵されており、不活性ガス、水素、水素化合物、酸性ガス、酸素などから、Sub-ppbレベルまでガス不純物を低減することができます。「PFシリーズ」には、0.003μmのフィルターが内蔵されています。【特長】 ■ヒーター、断熱材、電子機器(温度制御)が一体となっている ■Ultra Pure PF/XLシリーズの精製器(フィルター)内蔵 ■Sub-ppbレベルまでガス不純物を低減 ■PFシリーズには、0.003μmのフィルター内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ「KTS型」　

株式会社宇野澤組鐵工所

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。　　【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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XWP-プリーツフィルター

株式会社デオボス

・特長 ●強酸、強アルカリ及び多くの有機溶媒にも使用可能。 ●自動化製造、プリーツフィルタの低価格を実現。 ●ユースポイントで委託製造、短期納品も可能。 ●ろ材はポリプロピレン/PES/テフロンなど選択可能。

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分析用高純水製造装置『HerBest』

株式会社HER

『HerBest』は、大容量ROモジュールにより分析用高純水の製造ができる分析用高純水製造装置です。スタンダード仕様の他に、製造能力やサイズはオーダーメイドによるカスタマイズも可能。小型純水カートリッジの採用など、全体をシンプル・実用的に構成したため、ランニングコストの大幅な軽減を実現しました。【特長】 ■約80％のランニングコストの削減 ■自由なサイズ設計（高さ、幅、奥行き） ■純水製造能力（10,20,30,40,80～L/h） ■純水グレード（JIS K 0557 A3,A4など） ■小規模実験室に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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小型純水製造装置　DPシリーズ

エアマテイック株式会社

エアマテイック社が取扱う、小型純水製造装置「DPシリーズ」のご紹介です

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株式会社紫光技研　会社案内

株式会社紫光技研

当社は、独自の水銀フリー・フィルム型プラズマ発光デバイス技術を有するベンチャー技術者集団です。環境に配慮した紫外線光源製品や、省エネのフレキシブル光源を開発し、提供。また、フィルム型発光デバイス技術・製造技術、発光制御・駆動技術を基に、様々な研究開発試作のニーズに対応いたします。水銀ランプにお困りのことや、そのほか技術的なご相談がありましたら、ぜひお問合せください。【事業内容】 ■紫外線発光製品の開発・製造・販売 ■コンサルタント業務 ■販売代理店業務 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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純水製造装置『REシリーズ』

川崎化工機株式会社

『REシリーズ』は、コンパクトな筐体でありながら優れたシステム(逆浸透膜/ RO&連続イオン交換モジュール/EDI)を採用して、300L/h・600L/h・1000L/hの純水製造性能を発揮する、運用・管理ともに容易な優れた純水製造装置です。連続イオン交換モジュールの採用によりイオン交換ボンベの再生と交換作業が不要となり、ランニングコスト・作業の低減にも貢献します。また導入後の水質維持に不可欠な配管内の洗浄や定期点検、消耗品手配もご依頼により承ります。【特長】 ■省スペース設計で設置が容易 ■自動運転で安定した透過水を供給 ■漏水検知・非常停止機能搭載 ■連続イオン交換でボンベ交換不要 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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超音波洗浄機『トーチョーラーク IUCシリーズ』

東京超音波技研株式会社

『トーチョーラーク IUCシリーズ』はBLT振動子を採用し、繊細な40KHzの発振周波数でガラス製品、陶器類、金属製品、硬質プラスチックの洗浄に適した超音波洗浄機です。厚さ3mmの高耐久性振動板を搭載しており振動板の耐久性が大幅UPしました。超音波槽を吸音材で覆った静音設計により静かな運転音を実現。電源(要アース)、給水蛇口、排水口があれば設置工事も簡単です。【特長】 ■使いやすいデジタルタイマー ■高耐久性振動板 ■BLT振動子 ■40KHzの周波数 ■静音設計 ■カンタン設置 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

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化学薬品

中国興業株式会社

当社は、三酸化アンチモン・チアベンダゾール（TBZ）等の化学工業薬品を販売しております。長年の企業活動により、たった一つしかない地球と豊かな暮らしを守り続けるべく、今後も化学工業薬品等の調達、販売を通じて資源の有効活用に挑戦し続けます。【取扱製品】 ■NaPt（ナトリウムピリチオン） ■ZPT-48（ジンクピリチオン48%Min.分散剤） ■ZPT粉末原体（ジンクピリチオン98%Min.） ■TBZ（チアベンダゾール） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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フル・オーダーメイド『ガス循環精製装置＆グローブボックス』

株式会社飯島機械製作所

当社では、『ガス循環精製装置＆グローブボックス』のフル・オーダーメイドを承っております。『ガス循環精製装置』は、吸着法・反応法を利用した高純度ガス精製により、窒素、アルゴンなどの不活性雰囲気を安定して供給可能。『グローブボックス』は、圧力調整器付きの陽圧型グローブボックス、耐真空型グローブボックス、簡易型グローブボックスなど、お客様のご要望や、「困った」にご対応した制作も可能。ガス循環生成装置の使用で、低露点・低酸素/有機溶剤濃度環境の確保・維持も可能です。設計から開発、納品・設置・施工まで一元管理し、用途に合った装置を提案いたします。【特長】 ■露点-80℃以下、酸素濃度0.5ppm以下の環境を提供可能 ■ドライルーム環境や低酸素下での培養や実験に ■ガス循環精製装置・グローブボックス・ボンベスタンド単体での販売も可能 ■低価格な一般標準品もご用意 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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RO膜式小型純水製造装置『ARO-Tシリーズ｣

エアマテイック株式会社

『ARO-Tシリーズ』は、逆浸透（RO）膜方式により、原水中の不純物を分子レベルで除去する、圧力送水タンク内蔵型の小型純水製造装置です。低圧ROモジュール採用で、省エネルギー・高効率精製が実現しました。また、装置外装はオールステンレス製で、衛生的で耐久性・耐水性に優れています。限られたスペースにも収納しやすいキャビネット型で、床面固定タイプとキャスタータイプをご用意しております。【特長】 ■原水に含まれる不純物を90～99％除去 ■フィルター・ROモジュールの交換だけでランニングコストを大幅削減 ■省スペースなキャビネット型 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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2床3塔純水装置

株式会社昌平

当社では、原水流量、水質の変動に強く、大容量、純水採水が可能な『2床3塔純水装置』を取り扱っています。陽イオン、陰イオン樹脂塔、脱炭酸塔が別々の塔にて通水し、純水を製造します。混床式純水装置に比べて初期投資額はやや高いですが、ランニングコストで薬品台が安くなります。【特長】 ■陽イオン交換樹脂塔でCa、Mg等除去後、炭酸を含む水を脱炭酸等にて　除去（H2CO3→CO2+H2O）し、負担が軽減された陰イオン交換樹脂塔で　CL、S、SiO等を除去して純水化 ■3塔に役割分担させている分、設置スペースは大きいですが再生までの　時間が長く設定可能 ■5μS/cm以下の純水が大容量必要な場合に好適 ■交流再生を採用することにより、ランニングコストを低減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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小型EDIシステム

株式会社オーイーエス

当社で取り扱う、『小型EDIシステム』をご紹介いたします。前段にRO装置と組み合わせることにより高品質の純水が採水可能。電気再生式のEDIを使用していますので薬品の使用は不要です。中国又は台湾の工場で製造した装置を輸入しており、コストパフォーマンスは一般的な装置より優位です。【特長】 ■比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる ■薬品による再生工程はない ■再生排水は処理の必要がなく、そのまま排水できる ■省スペース設計 ■各種装置と組み合わせ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

課題

微量不純物の混入リスク

製造工程や保管、輸送中に発生する微量な金属イオンや微粒子が、半導体デバイスの欠陥を引き起こし、性能低下や歩留まり低下の原因となります。

分析・評価技術の限界

ppbレベル以下の超微量不純物を正確に検出し、定量化するための高度な分析・評価技術が不可欠ですが、その開発・維持には多大なコストと専門知識が必要です。

製造プロセスの複雑化と汚染源の増加

半導体製造プロセスは多段階にわたり、使用される装置や材料の種類も増えるため、汚染源の特定と管理が困難になり、薬液の純度維持がより一層難しくなります。

サプライチェーン全体での品質管理

原料調達から製造、最終製品に至るまで、サプライチェーン全体で一貫した超高純度管理体制を構築・維持することが求められ、各段階での厳格な品質保証が課題となります。

対策

高度な精製・ろ過技術の導入

イオン交換樹脂や精密ろ過膜などを組み合わせた多段階の精製プロセスにより、薬液中の不純物を徹底的に除去します。

リアルタイム不純物モニタリングシステム

製造ラインに組み込まれた高感度センサーにより、薬液中の不純物をリアルタイムで監視し、異常を早期に検知・対応します。

クリーンルーム環境の徹底管理

製造エリア全体の清浄度を最高レベルに維持し、外部からの微粒子やコンタミネーションの侵入を最小限に抑えます。

特殊材料・容器の採用

不純物の溶出が極めて少ない特殊な材質の配管、タンク、容器を採用し、薬液との接触による汚染を防ぎます。

対策に役立つ製品例

超高純度薬液供給システム

薬液の精製から供給までを一貫して行うシステムで、外部からのコンタミネーションを遮断し、安定した超高純度薬液の供給を実現します。

微粒子・金属イオン除去フィルター

ナノレベルの微粒子やppbレベルの金属イオンを効率的に捕捉する特殊フィルターで、薬液の純度を飛躍的に向上させます。

高感度不純物分析装置

極微量の不純物を高精度かつ迅速に分析できる装置で、薬液の品質管理とプロセスの最適化に貢献します。

コンタミネーション防止用特殊容器

薬液との反応性が極めて低く、不純物の溶出を最小限に抑える特殊素材で製造された容器で、薬液の品質を長期間維持します。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

半導体用薬液の超高純度とは？課題と対策・製品を解説

前処理・調製

食品・農業・環境

医薬品・臨床・バイオ

化学・材料・製造

サポート

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

各社の製品

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

課題

微量不純物の混入リスク

分析・評価技術の限界

製造プロセスの複雑化と汚染源の増加

サプライチェーン全体での品質管理

対策

高度な精製・ろ過技術の導入

リアルタイム不純物モニタリングシステム

クリーンルーム環境の徹底管理

特殊材料・容器の採用

対策に役立つ製品例

超高純度薬液供給システム

微粒子・金属イオン除去フィルター

高感度不純物分析装置

コンタミネーション防止用特殊容器

半導体用薬液の超高純度とは？課題と対策・製品を解説

前処理・調製

食品・農業・環境

医薬品・臨床・バイオ

化学・材料・製造

サポート

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

各社の製品

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

​課題

微量不純物の混入リスク

分析・評価技術の限界

製造プロセスの複雑化と汚染源の増加

サプライチェーン全体での品質管理

​対策

高度な精製・ろ過技術の導入

リアルタイム不純物モニタリングシステム

クリーンルーム環境の徹底管理

特殊材料・容器の採用

​対策に役立つ製品例

超高純度薬液供給システム

微粒子・金属イオン除去フィルター

高感度不純物分析装置

コンタミネーション防止用特殊容器

課題

対策

対策に役立つ製品例