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半導体用薬液の超高純度とは?課題と対策・製品を解説

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科学・分析システム |

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは?
半導体製造プロセスにおいて、微細化・高集積化が進むにつれて、使用される薬液の純度に対する要求は極めて高くなっています。半導体用薬液の超高純度とは、金属不純物や微粒子などのコンタミネーションをppb(10億分の1)レベル、あるいはそれ以下にまで低減させた状態を指します。これは、半導体の性能、歩留まり、信頼性を決定づける重要な要素であり、製造技術の根幹を支える技術と言えます。
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研究所における分析業務では、精度の高い結果を得るために、不純物の少ない純水が不可欠です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、水質が結果に大きく影響します。不適切な水質は、実験データの信頼性を損ない、研究の遅延につながる可能性があります。当社のスタンダードRO純水装置 小型『TW-020-SRO』は、RO膜により90~99%の不純物を除去し、高レベルな純水を浄水します。
【活用シーン】
・分析試薬の調製
・細胞培養
・機器分析(HPLC、ICP-MSなど)
・実験器具の洗浄
【導入の効果】
・分析結果の信頼性向上
・実験の再現性向上
・試薬コストの削減
・装置の小型化によるスペースの有効活用

