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異物付着の防止とは?課題と対策・製品を解説

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ダイシングにおける異物付着の防止とは?
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【半導体工場向け】大口径ドレントラップ
【半導体工場向け】空調機用ドレントラップ
【独自開発】プローブカードコンテナ(プローブカードケース)
溶剤型エポキシ樹脂帯電防止塗り床材『セミコC-1』
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小型家電・小型電子部品専用「破壊機」
多階層CR対応クリーン垂直搬送システム
半導体ウエハケース12インチ(300mm)脱気シーラー※資料進呈
【導入事例】クリーンルーム用特殊スプリングキャスター

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ダイシングにおける異物付着の防止
ダイシングにおける異物付着の防止とは?
半導体製造プロセスにおけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断します。この際、切断時に発生する微細なパーティクルや、周辺環境からの異物がチップ表面に付着すると、製品の歩留まり低下や信頼性問題に直結します。そのため、ダイシング工程における異物付着をいかに効果的に防止するかが、半導体テクノロジー業界における重要な課題となっています。
課題
切削粉塵の飛散と再付着
ダイシングブレードによるウェハー切削時に発生する微細な粉塵が、チップ表面や周辺機器に付着し、後工程での汚染源となる。
冷却液由来のパーティクル
ダイシングに 使用される冷却液に含まれる不純物や、冷却液循環システム内で発生するパーティクルがチップに付着する。
作業環境からの持ち込み異物
製造ラインの作業員や搬送物、空調システムなどを介して持ち込まれる微細な異物が、ダイシング工程中にチップに付着する。
ブレード摩耗粉の混入
ダイシングブレードの摩耗によって発生する微細な粒子が、切削箇所に付着し、チッ プの汚染を引き起こす。
対策
高効率集塵・排気システムの導入
ダイシング装置周辺に高性能な集塵・排気システムを設置し、切削粉塵の飛散を最小限に抑え、クリーンな作業環境を維持する。
高純度冷却液の管理とろ過
ダイシング用冷却液の品質を厳密に管理し、定期的なろ過や交換を行うことで、冷却液由来のパーティクル混入を防ぐ。
クリーンルーム環境の徹底管理
ダイシング工程が行われるクリーンルームの清浄度を維持し、作業員の服装管理や搬送物の清浄化を徹底することで、外部からの異物持ち込みを防止する。
低摩耗性ダイシングブレードの採用
摩耗しにくく、微細な粉塵発生を抑制する特殊コーティングや素材を採用したダイシングブレードを使用し、ブレード摩耗粉の混入リスクを低減する。
対策に役立つ製品例
高性能パーティクルフィルター
微細な切削粉塵や環境由来のパーティクルを効率的に捕集し、クリーンな空気を供給することで、異物付着リスクを大幅に低減する。
超純水製造・供給システム
ダイシング工程で使用する冷却液を、不純物を極限まで排除した超純水で供給することで、冷却液由来の汚染を防止する。
静電防止・低発塵性作業服
作業員が着用する作業服から発生する微細な繊維や静電気によるパーティクル付着を抑制し、クリーンルーム内の汚染を低減する。
特殊コーティングダイシングブレード
摩耗を極限まで抑え、切削時に発生する微細な粉塵量を大幅に削減する特殊コーティングが施されたダイシングブレードであり、チップへの異物付着を抑制する。
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