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異物付着の防止とは？課題と対策・製品を解説
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ダイシングにおける異物付着の防止とは？
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『多階層CR対応クリーン垂直搬送システム』は、多階層CR間における
立体的で効率的な自動搬送ラインを構築できます。
垂直往復高速搬送機の「クリーンオートレーター」と
垂直連続トレー搬送機の「クリーンハイトレー」をご用意。
どちらもFOUP搬送用となっております。
【クリーンオートレーター特長】
■清潔度を保つ機構プラス高能力
■搬送方向は自由自在
■発塵を抑えた省スペース設計＋低衝撃
■クリーン度：クラス1～に対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多階層CR対応クリーン垂直搬送システム
『セミコC-1』は、床面に塗布するだけで表面を導電化し
静電気による電気障害を防止する塗り床材です。
耐薬品性や防塵性に優れるほか、耐摩耗性、耐水性も備え、
豊富なカラーバリエーションをラインアップ。
また、薄くて強靭な被膜を形成するため経済的です。
当社では施工にも対応しており、一貫体制で工場や病院、研究室など
様々な施設の静電気対策に貢献します。
【特長】
■幅広い材質の床に塗布可能
■標準20色をラインアップ
■ベースコートの組み合わせにより、厚膜施工も可能
■環境に配慮したノンカーボンタイプ
■ホルムアルデヒド放散等級 F☆☆☆☆
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
溶剤型エポキシ樹脂帯電防止塗り床材『セミコC-1』
小型家電・小型電子部品を粗く、材質ごとに分離破壊し、後工程の選別効果を高めます。 連続処理が可能ですので、処理ラインの効率良い操業に寄与します。
▼ お気軽にお問い合わせください。 ▼
小型家電・小型電子部品専用「破壊機」
【半導体分野へのコーティング実績のご紹介】
◆使用コーティング塗料：PTFE・PFA塗料
◆対象と用途：
・ウェハー研磨用金型…焼き付き防止
・ウェハー搬送用（導電性）吸着ハンド…スベリ・非粘着
・ピン（製造ライン）…スベリ
・吸着パッド（製造ライン）…非粘着
・筐体カバー…耐薬品
・シリコンシート…スベリ
当社では、創業以来様々な業界のコーティングを手掛け、5万件を超える膨大な実績を元に、多種変量での対応はもちろん、最小5mmの小物から最大4000mmの大物まで、さまざまな金属・樹脂・ゴムといった母材に対応いたしま す。
コーティングのことなら淀川ACCへお任せください！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【半導体分野実績】フッ素樹脂コーティング（PTFE・PFA）
光電子工学及び電力工学産業における先進的企業へ『クリーンルーム用
特殊キャスター』をBlicle（ブリックレ）技術で解決した導入事例をご紹介します。
クリーンルーム環境で使用されるキャスターは、空気1立方メートルあたりの
粒子数と大きさにおいて指定された制御汚染レベルを遵守しなければならず、
安定性や安全性と同様に、床の種類とともに摩耗率が低いことが重要となります。
Blickeは、同企業と協力して、LHFのばね付きシリーズである
「LHF-PTH 200XK-ELS-FS」の特注版キャスターを開発。
フットガードとトラックロック付きの非常に頑丈なニッケルメッキを施した
取付金具及びBlickleのPTHホイールの組み合わせは、同企業を
納得させるものであり、現在では順調に使用されています。
【課題】
■指定された制御汚染レベルを遵守しなければならない
■床の種類とともに摩耗率が低いことが重要
■運搬する製品を静電気から守ることも重要
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【導入事例】クリーンルーム用特殊スプリングキャスター
『プローブカードコンテナ（ケース）』は、当社が独自開発した、高価な
プローブカードを安全に収納・搬送・保管するための製品です。
コンテナが開いている状態でも落下防止機構でカードの落下を防ぎ、
ボールキャスターつきで収納ラックからコンテナの出し入れも容易。
これまでジュラルミン製が主流だったカードコンテナを
ブロー樹脂製にすることで、大幅な軽量化と耐衝撃性の向上を図るとともに
大幅なコストダウンを実現しました。
【特長】
■低価格で軽量
■耐衝撃性と静電対応
■簡単で安全に
※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【独自開発】プローブカードコンテナ（プローブカードケース）
12インチ（３００ｍｍ）用ウエハケースを脱気包装できる、
シール長６００ｍｍの）脱気シーラーです。
コンパクトで作業台などに置いて脱気包装ができる「卓上型」と、
シール作業する袋口が見やすい縦型式の「垂直架台型」をラインアップ。
クリーンルーム内で使用でき、
エア用配管と排気用ダクト配管が不要で、電源があれば使用できます。
デフォルトで包装シールを2列にするといった便利な機能を搭載しています。
【特長】
■シールバーが閉じる際の安全機構を標準装備。
※追加の安全機構を希望の場合は、別途ご相談
■ノズルストロークが卓上型は最大150mm（オプションで最大250mm）、
垂直架台型は最大250mm（オプションで最大300mm）で脱気がスムーズ
■ガセット袋の中央2枚部も同じ圧力でシール可能（オプション）
■設定圧力に達したらタッチパネルにOKと表示可能（オプション）
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
PDFダウンロードより、【脱気・ガス充填包装のオーダーメイドに関するよくある質問まとめ】を進呈中！
半導体ウエハケース12インチ（３００ｍｍ）脱気シーラー※資料進呈
・静電防止の特性
静電気を帯びやすいフッ素樹脂PFAカーボンを添加する事により、静電気が問題になる用途にもお使い頂けます。静電気を帯びにくくなると同時にロールに接触する製品(例えば紙・フィルム等)の帯電量を軽減させる効果も期待出来ます。
≪特長≫
フッ素樹脂PFAのもつ非粘着特性を損なうことなく、静電気防止効果を付与しました。
1. 静電防止特性
2. 非粘着性（汚れがつきにくい）
3. 耐薬品性
フッ素樹脂PFA・静電気防止タイプ熱収縮チューブ GRC-PB
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ダイシングにおける異物付着の防止
ダイシングにおける異物付着の防止とは？
半導体製造プロセスにおけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断します。この際、切断時に発生する微細なパーティクルや、周辺環境からの異物がチップ表面に付着すると、製品の歩留まり低下や信頼性問題に直結します。そのため、ダイシング工程における異物付着をいかに効果的に防止するかが、半導体テクノロジー業界における重要な課題となっています。
課題
切削粉塵の飛散と再付着
ダイシングブレードによるウェハー切削時に発生する微細な粉塵が、チップ表面や周辺機器に付着し、後工程での汚染源となる。
冷却液由来のパーティクル
ダイシングに使用される冷却液に含まれる不純物や、冷却液循環システム内で発生するパーティクルがチップに付着する。
作業環境からの持ち込み異物
製造ラインの作業員や搬送物、空調システムなどを介して持ち込まれる微細な異物が、ダイシング工程中にチップに付着する。
ブレード摩耗粉の混入
ダイシングブレードの摩耗によって発生する微細な粒子が、切削箇所に付着し、チップの汚染を引き起こす。
対策
高効率集塵・排気システムの導入
ダイシング装置周辺に高性能な集塵・排気システムを設置し、切削粉塵の飛散を最小限に抑え、クリーンな作業環境を維持する。
高純度冷却液の管理とろ過
ダイシング用冷却液の品質を厳密に管理し、定期的なろ過や交換を行うことで、冷却液由来のパーティクル混入を防ぐ。
クリーンルーム環境の徹底管理
ダイシング工程が行われるクリーンルームの清浄度を維持し、作業員の服装管理や搬送物の清浄化を徹底することで、外部からの異物持ち込みを防止する。
低摩耗性ダイシングブレードの採用
摩耗しにくく、微細な粉塵発生を抑制する特殊コーティングや素材を採用したダイシングブレードを使用し、ブレード摩耗粉の混入リスクを低減する。
対策に役立つ製品例
高性能パーティクルフィルター
微細な切削粉塵や環境由来のパーティクルを効率的に捕集し、クリーンな空気を供給することで、異物付着リスクを大幅に低減する。
超純水製造・供給システム
ダイシング工程で使用する冷却液を、不純物を極限まで排除した超純水で供給することで、冷却液由来の汚染を防止する。
静電防止・低発塵性作業服
作業員が着用する作業服から発生する微細な繊維や静電気によるパーティクル付着を抑制し、クリーンルーム内の汚染を低減する。
特殊コーティングダイシングブレード
摩耗を極限まで抑え、切削時に発生する微細な粉塵量を大幅に削減する特殊コーティングが施されたダイシングブレードであり、チップへの異物付着を抑制する。
