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チップ切断精度の向上とは?課題と対策・製品を解説

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ダイシングにおけるチップ切断精度の向上とは?
半導体製造プロセスにおけるダイシングは、ウェハー上に形成された多数の半導体チップを個別に切り出す重要な工程です。この工程の精度向上は、チップの性能、歩留まり、そして最終的な製品コストに直結するため、業界全体で常に追求されています。高精度なダイシングは、微細化が進む半導体デバイスの信頼性を確保し、より高性能な製品を実現するための基盤となります。
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東海アヅミテクノ 精密金型部品案内
小型家電・小型電子部品専用「破壊機」
フラットパネル製造関連装置 「偏光板貼付機/ブレード研磨機など」
完全自動12インチ ツインダイシング装置『8030シリーズ』
ADT社製『8030シリーズ』は、直径12インチまでの半導体ウエハを
高精度かつ低コストで切断できるツインダイシング装置です。
互いに向かい合うように配置されたツインスピンドルにより、
同時ダイシングが可能。加工の高効率化に貢献します。
メイン画面用・保守用の2つのタッチスクリーンを採用。
直感的に操作できるユーザーインターフェイスを備えています。
【特長】
■ブリッジタイプのフレー ム
■柔軟性-最大3インチ外径のハブおよびハブレスブレードをサポート
■デュアル顕微鏡、固定非接触センサーと2つのドレスステーション
■1.8kWまたは2.2kWの高出力のスピンドル
■連続ズーム倍率を備えた優れたビジョンシステム
■大型の19インチタッチスクリーンモニターを使用した直感的な操作インターフェース
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高周波デバイス(GaNonSiC、GaAs)をチップ化
三星ダイヤモンド工業は創業以来の独自技術、SnB「スクライブ&ブレーク」工法で、シリコンカーバイト(SiC)、窒化ガリウム(GaN)、アルミナ(Al2O3) 、サファイア(Sapphire)、窒化ケイ素(Si3N4)、シリコン(Si)などの基材に、金属膜やシリコーン樹脂が積層されたデバイス基板を精密に切断加工(個片化)する技術です。
MDI独自技術であるSnB「スクライブ&ブレーク」によって、カーフロスゼロ・高速・高品質・完全ドライ加工を実現します。製品取数の増加、タクトタイムの短縮が生産性の向上に繋がるほか、水を使用しないため環境に優しく、生産コストの削減が可能です。
【MDI独自技術SnB(スクライブ&ブレーク)の特徴】
■高周波デバイスやパワーデバイスに対して、安定高速切断加工が可能!
■高精度・高品質な切断加工でストリート幅削減&小サイズ対応が可能!
■さまざまな半導体/電子部品の加工に対応!
■多層構造の複合材料にも対応!
長年培ったノウハウと理論化したシミュレーションで最適な加工方法をご提案します。
※詳細はカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせ下さい。
半導体用ダイヤモンドパウダー [ダイシングブレード用・高品質]
クリーンルーム用位置決めステージユニット『ILS型』
シリコン(単結晶・多結晶)
当社で取り扱う『シリコン(単結晶・多結晶)』をご紹介いたします。
「ウエハー」はφ1インチから、「インゴット」や「プレート」は
φ18インチまで対応。「ターゲット」はご希望の形状を承ります。
また、スライス・面取り・ザグリ・ネジ・ダイシング等の“形状加工”や
BG・ラップ・ポリッシュ加工といった“表面加工”も行っております。
【ラインアップ・加工内容】
■ウエハー:φ1インチ~
■インゴット:~φ18インチ
■プレート:~φ18インチ
■ターゲット:ご希望の形状に対応
■形状加工:スライス・面取り・ザグリ・ネジ・ダイシング等各種加工
■表面加工:BG・ラップ・ポリッシュ加工他
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。





![半導体用ダイヤモンドパウダー [ダイシングブレード用・高品質]](https://image.www.ipros.com/public/product/image/ab3/2000761566/IPROS74450428766620671845.png)

