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チップ切断精度の向上とは?課題と対策・製品を解説

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ダイシングにおけるチップ切断精度の向上とは?
半導体製造プロセスにおけるダイシングは、ウェハー上に形成された多数の半導体チップを個別に切り出す重要な工程です。この工程の精度向上は、チップの性能、歩留まり、そして最終的な製品コストに直結するため、業界全体で常に追求されています。高精度なダイシングは、微細化が進む半導体デバイスの信頼性を確保し、より高性能な製品を実現するための基盤となります。
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小型家電・小型電子部品専用「破壊機」
各軸個別駆動外形加工機『ECO-RMシリーズ』
『ECO-RMシリーズ』は、パターンに対する高精度外形加工ができる
各軸個別駆動外形加工機です。
各軸アライメント補正により、基板の伸縮・回転に対し、軸別に
補正を自動で実施(CCDカメラ装着時)。
機械自身で基準穴明け・基板固定用内ピンのピン立てを行い、
各軸アライメント補正機能との併用により、ピース毎の
高精度位置合せ加工が可能です。
【特長】
■各軸アライメント補正
・基板の伸縮・回転に対し、軸別に補正を自動で実施
・パターンに対する高精度外形加工が可能
■自動ピン打ち機能(オプション)
・機械自身で基準穴明け・基板固定用内ピンのピン立てを行う
・ピース毎の高精度位置合せ加工が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シリコン(単結晶・多結晶)
当社で取り扱う『シリコン(単結晶・多結晶)』をご紹介いたします。
「ウエハー」はφ1インチから、「インゴット」や「プレート」は
φ18インチまで対応。「ターゲット」はご希望の形状を承ります。
また、スライス・面取り・ザグリ・ネジ・ダイシング等の“形状加工”や
BG・ラップ・ポリッシュ加工といった“表面加工”も行っております。
【ラインアップ・加工内容】
■ウエハー:φ1インチ~
■インゴット:~φ18インチ
■プレート:~φ18インチ
■ターゲット:ご希望の形状に対応
■形状加工:スライス・面取り・ザグリ・ネジ・ダイシング等各種加工
■表面加工:BG・ラップ・ポリッシュ加工他
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全自動光ディスク研磨装置『DSR-100』
『DSR-100』は、研磨時の発熱を防止することにより連続運転・連続研磨が
可能な全自動光ディスク研磨装置です。
BD(ブルーレイ)・HC(ハードコートディスク)に対応した画期的な研磨パッド
研磨剤の開発及び特殊な湿式研磨方式を採用したことにより、今まで研磨が
困難だった次世代ディスクや、諦めていた深いキズも確実に新品同様に
復活させます。
また、研磨力は4つのレベルから選ぶことができ、キズの深さにより自由に
選択可能。お好みの研磨時間に設定可能です。
【特長】
■100枚全自動研磨、研磨時間1枚2分
■すべてのディスクに対しモード設定が不要、連続研磨中でもディスクの
種類を選ばず置くだけでOK
■簡単メンテナンス
■コンパクト設計で移動も簡単
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。




