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回路の垂直・水平方向の寸法制御とは？課題と対策・製品を解説
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エッチングにおける回路の垂直・水平方向の寸法制御とは？
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エンプラ、スーパーエンプラ、ＧＦ／ＣＦ高配合材料・成型品など、加工が難しい素材の高精度可能に対応していく中で、
耐薬液バルブのバリレス加工技術（新工法）を確立しました。
半導体・医療用のバルブ製品の穴と穴のつなぎ目＝交点にバリが発生し易く、
このバリが深部で発生するために除去が難しいといった課題がありましたが、
刃具の開発と最適加工条件に取り組んだ結果、バルブ内径のつなぎ部の＜バリレス加工＞を確立しました。
導入検討の際に参考にしやすい内容となっております。
ぜひダウンロードしてご覧ください。
【掲載内容】
■耐薬液バルブのバリレス加工技術の確立
・課題
■熱可塑性樹脂の超硬度材料切削技術
・課題
・技術
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【半導体・医療用バルブ】新工法：耐薬液バルブのバリレス加工技術
『ECO-RMシリーズ』は、パターンに対する高精度外形加工ができる
各軸個別駆動外形加工機です。
各軸アライメント補正により、基板の伸縮・回転に対し、軸別に
補正を自動で実施（CCDカメラ装着時）。
機械自身で基準穴明け・基板固定用内ピンのピン立てを行い、
各軸アライメント補正機能との併用により、ピース毎の
高精度位置合せ加工が可能です。
【特長】
■各軸アライメント補正
・基板の伸縮・回転に対し、軸別に補正を自動で実施
・パターンに対する高精度外形加工が可能
■自動ピン打ち機能（オプション）
・機械自身で基準穴明け・基板固定用内ピンのピン立てを行う
・ピース毎の高精度位置合せ加工が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各軸個別駆動外形加工機『ECO-RMシリーズ』
【カテゴリー】
凝集不良、脱水不良、水質改善、臭気対策、重金属対策、土壌改良対策、濁水処理、エッチング剤等
【特長】
■凝集剤、重金属除去、リン除去
■脱硫、脱臭、脱色
■エッチング剤（42°Bé～47°Bé）
【濃度】
40°Bé 42°Bé 47°Bé 50°Bé
※濃度調整が必要な際はご相談ください。
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
塩化第二鉄液
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エッチングにおける回路の垂直・水平方向の寸法制御
エッチングにおける回路の垂直・水平方向の寸法制御とは？
半導体製造プロセスにおけるエッチングは、不要な材料を選択的に除去し、回路パターンを形成する重要な工程です。この工程では、回路の微細化に伴い、垂直方向（深さ）と水平方向（幅）の寸法を極めて精密に制御することが求められます。これにより、高性能かつ高密度な半導体チップの実現が可能となります。
課題
微細化に伴う寸法ばらつき
回路パターンの微細化が進むにつれて、エッチング時のわずかな条件変動が垂直・水平方向の寸法に大きなばらつきを生じさせ、歩留まり低下の原因となります。
異方性エッチングの制御困難性
垂直方向へのエッチング（異方性エッチング）において、側壁へのダメージやアンダーカット（水平方向への過剰なエッチング）を抑制しつつ、所望の深さを得るための精密な制御が難しい。
マスクパターンの忠実な転写
原版（マスク）に描かれた微細な回路パターンを、エッチングによってウェハー上に忠実に転写することが、特に複雑な形状や高アスペクト比の構造で困難を伴う。
材料特性によるエッチング挙動の違い
エッチング対象となる材料（シリコン、絶縁膜、金属など）の特性や、使用するエッチングガス・プラズマ条件によって、寸法制御の難易度が大きく変化する。
対策
プロセス条件の最適化
プラズマ密度、ガス流量、圧力、温度、時間などのエッチングプロセス条件を精密に制御・最適化することで、寸法ばらつきを最小限に抑えます。
高度なマスク設計と補正
マスクパターン設計段階で、エッチングによる寸法変化を予測し、補正（OPC: Optical Proximity Correctionなど）を施すことで、ウェハー上での忠実なパターン形成を目指します。
新規エッチング技術の開発
より異方性が高く、選択性に優れた新しいエッチング手法（例：ドライエッチング技術の進化、ウェットエッチングの精密制御）を開発・導入します。
リアルタイムモニタリングとフィードバック制御
エッチングプロセス中に寸法や状態をリアルタイムで計測し、その結果をフィードバックしてプロセス条件を動的に調整するシステムを導入します。
対策に役立つ製品例
高精度プラズマエッチング装置
均一で安定したプラズマを生成し、微細な寸法制御を可能にする高度な制御システムを備えたエッチング装置は、ばらつきの低減に貢献します。
先進的なマスクパターン補正ソフトウェア
複雑なレイアウトデータに対して、エッチング特性を考慮した最適な補正パターンを自動生成し、マスクの忠実な転写を支援します。
高選択性エッチングガス・薬品
目的の材料のみを効率的に除去し、不要な材料や側壁への影響を最小限に抑える特殊なエッチングガスや薬品は、寸法制御の精度を高めます。
インライン寸法計測システム
エッチングプロセス中にウェハー上の寸法をリアルタイムで計測し、異常を早期に検知してプロセス修正を可能にするシステムです。
