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プロセス自動化の推進とは?課題と対策・製品を解説

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シリコンインゴット切断におけるプロセス自動化の推進とは?

半導体製造の基盤となるシリコンウェハーの原料であるシリコンインゴットを、高精度かつ効率的に切断するプロセスを自動化することを目指します。これにより、生産性の向上、コスト削減、品質の安定化、そして作業員の負担軽減を実現します。

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『多階層CR対応クリーン垂直搬送システム』は、多階層CR間における
立体的で効率的な自動搬送ラインを構築できます。

垂直往復高速搬送機の「クリーンオートレーター」と
垂直連続トレー搬送機の「クリーンハイトレー」をご用意。

どちらもFOUP搬送用となっております。

【クリーンオートレーター特長】
■清潔度を保つ機構プラス高能力
■搬送方向は自由自在
■発塵を抑えた省スペース設計+低衝撃
■クリーン度:クラス1~に対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

多階層CR対応クリーン垂直搬送システム

SOCIAL ROBOTICS株式会社の屋内汎用移動ロボット「BUDDY」を
電子部品製造工場に導入した事例をご紹介します。

完成品が梱包された段ボール箱の運搬のため、20-30m程度の室内を
10分に1往復することを目標に1台を導入しました。

導入した結果、80%を達成。また、費用対効果は1年程度で回収
することができ、追加効果として空箱の回収も可能になりました。

【事例概要(抜粋)】
■導入時期・台数:2022.10月 1台
■導入目的:完成品が梱包された段ボール箱の運搬
■導入目標:10分に1往復
■運搬物:段ボール箱
■走行環境:20-30m程度 室内
■達成率:80%

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【活用事例】電子部品製造工場

『SDR』は、主に半導体・液晶製造工場で使用されているSECS・HSMS
スタンダードに準拠した通信インターフェースを構築するための組み込み型
パッケージソフトウェアです。

半導体・液晶製造装置やステーションコントローラ、材料搬送システムなどに
当製品を組み込むことで、SECS・HSMS規格といった業界標準規格に対応した
通信インターフェースを追加のハードウェア無しで構築することができます。

また、半導体・液晶業界における20年以上の経験に基づき、みずほ情報総研の
技術サポートスタッフが使用方法習得トレーニングと技術サポートサービスを
通して通信インターフェースの実装を支援いたします。

【特長】
■カナダ PEER Group社製
■既製のパッケージソフトウェア
■ワールドワイドの導入実績
■SECS-I・II・HSMS-SSに準拠
■他OSへの容易な移植

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

SECS、HSMS対応通信ソフトウェア『SDR』

さまざまなFPD製造装置、太陽電池製造装置に採用が拡大し、ガラス基板の新しい位置決め方式として世界中のユーザーに採用されています。クリーンルーム向けの使用用途の基本をクリアした、クリーンルーム向けイグチベアーの総合カタログです。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

クリーンルーム向け総合カタログ ボールローラー イグチベアー

新工場を建設中の半導体メーカー様へ『ロータリーバルブ』を製作した
事例をご紹介いたします。

同社では、特殊仕様のロータリーバルブが必要で、工期の関係上3か月で
入手しなくてはなりませんでした。

当社は、設計から製作や検証、溶接加工から機械加工まで、全て一貫して
自社工場で行う為、全体として非常に圧縮された納期を実現。
ご希望の日程までに納品することができました。

【課題点】
■特殊仕様のロータリーバルブが必要
■従来取引のあるメーカーに相談したが、納期が6か月かかるとの回答を受けた
■新工場の工期の関係上、3か月で入手しなくてはいけない
■他のメーカーに相談したところで、1から説明していてはとても間に合わない

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【課題解決事例】日本国内の半導体メーカー様

『GWGEM』は、GEMスタンダードに対応するための組み込み型
パッケージソフトウェアです。

半導体・液晶製造装置に当製品を組み込むことで、SECS・HSMS・
GEM規格といった業界標準規格に対応した装置インターフェースを
追加のハードウェア無しで構築することができます。

半導体業界における20年以上の経験に基づき、みずほ情報総研の
技術サポートスタッフが使用方法習得トレーニングと技術サポート
サービスを通して装置インターフェースの実装を支援いたします。

【特長】
■カナダ PEER Group社製
■すぐに使えるパッケージソフトウェア
■ワールドワイドの導入実績
■テキストファイルで動作設定ができ、専用画面が不要
■non-GEM機能にも柔軟に対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

装置組み込み型GEM規格対応パッケージソフトウェア『GWGEM』

『ガラス搬送装置』は、液晶パネルを搬送する装置です。

液晶工程にアレイから、カラーフィルタ、セル、モジュール工程まで
いくつかの製造、洗浄工程があります。

設計から製作、出荷まで一貫作業が可能で、メンテしやすい構造設計、
軽量かつ丈夫な構造となっております。

【特長】
■台湾製で品質保証可能
■短納期
■オーダーメイド、モジュラーデザイン
■静かな運転音
■クリーンルームに適用

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

ガラス搬送装置

『ConX300』は、装置にGEM300規格対応の通信インターフェースを
構築するための装置組み込み型パッケージソフトウェアです。

300mmウェハ対応装置に当製品を組み込むことで、SECS・HSMS・GEM・
GEM300規格といった業界標準規格に対応した装置インターフェースを
追加のハードウェア無しで構築することができます。

半導体業界における20年以上の経験に基づき、みずほ情報総研の技術サポート
スタッフがお客様トレーニングと技術サポートを通して装置インターフェースの
実装を支援いたします。

【特長】
■カナダ PEER Group社製
■すぐに使えるパッケージソフトウェア
■テキストでのGEM300設定管理により専用画面が不要
■装置の挙動に合わせ関数をコールすることにより各規格に準拠した
 状態モデル、オブジェクト管理、シナリオを実装

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

装置組み込み型パッケージソフトウェア『ConX300』

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シリコンインゴット切断におけるプロセス自動化の推進

シリコンインゴット切断におけるプロセス自動化の推進とは?

半導体製造の基盤となるシリコンウェハーの原料であるシリコンインゴットを、高精度かつ効率的に切断するプロセスを自動化することを目指します。これにより、生産性の向上、コスト削減、品質の安定化、そして作業員の負担軽減を実現します。

課題

切断精度のばらつき

手作業や従来の自動化システムでは、インゴットの硬さや形状のばらつきにより、切断厚や平面度にばらつきが生じ、歩留まり低下の原因となる。

生産効率の限界

切断速度や段取り替えに時間がかかり、大量生産に対応するためのスループット向上が難しい。

熟練工への依存と人件費

高度な技術と経験を持つ熟練工が必要であり、人材確保や育成にコストがかかる。また、作業員の負担が大きい。

品質管理の難しさ

切断時の微細な傷や欠陥の検出・管理が難しく、最終製品の品質に影響を与える可能性がある。

​対策

高精度切断装置の導入

レーザーやワイヤーソーなどの先進的な切断技術と、リアルタイムでの位置補正機能を備えた自動切断装置を導入する。

AIによるプロセス最適化

切断条件(速度、圧力、角度など)をAIが学習し、インゴットの状態に合わせて自動で最適化することで、効率と精度を向上させる。

ロボットによる自動搬送・段取り

インゴットの搬送、装置へのセット、切断後のウェハーの取り出しまでをロボットアームが自動で行い、作業時間を短縮し、人的ミスを排除する。

画像認識によるリアルタイム品質検査

切断中のウェハー表面を画像認識システムでリアルタイムに監視し、異常を即座に検知・フィードバックすることで、不良品の発生を未然に防ぐ。

​対策に役立つ製品例

高精度レーザー切断システム

精密なレーザー照射と高度な制御により、微細な厚さのウェハーを均一かつ高精度に切断できる。

インテリジェント切断制御ソフトウェア

機械学習アルゴリズムを用いて、インゴットの特性を分析し、最適な切断パラメータを自動生成・適用する。

協働型ロボットアーム

安全性を確保しながら、人間と協調してインゴットの搬送や装置操作を正確かつ迅速に行う。

自動外観検査システム

高解像度カメラと画像解析技術により、切断されたウェハーの表面欠陥を自動で検出・分類する。

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