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プロセス自動化の推進とは?課題と対策・製品を解説

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シリコンインゴット切断におけるプロセス自動化の推進とは?
半導体製造の基盤となるシリコンウェハーの原料であるシリコンインゴットを、高精度かつ効率的に切断するプロセスを自動化することを目指します。これにより、生産性の向上、コスト削減、品質の安定化、そして作業員の負担軽減を実現します。
各社の製品
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【半導体向け】吊り棚足場 OKスワイパー
半導体業界のクリーンルーム内でのメンテナンス作業では、高い清浄度を維持しながら、安全かつ効率的に作業を行うことが求められます。特に、高所での点検や補修作業においては、足場の安全性と作業スペースの確保が重要です。不適切な足場は、作業員の安全を脅かすだけでなく、クリーンルーム内の清浄度を損なう可能性があり、作業効率を低下させ、工期の遅延につながる可能性があります。吊り棚足場 OKスワイパーは、安全性、施工性、作業空間に優れ、半導体製造におけるクリーンルーム内での高所作業の課題を解決します。
【活用シーン】
・プラント設備の点検・補修
【導入の効果】
・床先行での施工による高い安全性
・広い作業空間による作業効率の向上
・アルミ足場板などの活用によるコスト削減
クリーンルーム向け総合カタログ ボールローラー イグチベアー
多階層CR対応クリーン垂直搬送システム
装置組み込み型GEM規格対応パッケージソフトウェア『GWGEM』
『GWGEM』は、GEMスタンダードに対応するための組み込み型
パッケージソフトウェアです。
半導体・液晶製造装置に当製品を組み込むことで、SECS・HSMS・
GEM規格といった業界標準規格に対応した装置インターフェースを
追加のハードウェア無しで構築することができます。
半導体業界における20年以上の経験に基づき、みずほ情報総研の
技術サポートスタッフが使用方法習得トレーニングと技術サ ポート
サービスを通して装置インターフェースの実装を支援いたします。
【特長】
■カナダ PEER Group社製
■すぐに使えるパッケージソフトウェア
■ワールドワイドの導入実績
■テキストファイルで動作設定ができ、専用画面が不要
■non-GEM機能にも柔軟に対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
装置組み込み型パッケージソフトウェア『ConX300』
『ConX300』は、装置にGEM300規格対応の通信インターフェースを
構築するための装置組み込み型パッケージソフトウェアです。
300mmウェハ対応装置に当製品を組み込むことで、SECS・HSMS・GEM・
GEM300規格といった業界標準規格に対応した装置インターフェースを
追加のハードウェア無しで構築することができます。
半導体業界における20年以上の経験に基づき、みずほ情報総研の技術サポート
スタッフがお客様 トレーニングと技術サポートを通して装置インターフェースの
実装を支援いたします。
【特長】
■カナダ PEER Group社製
■すぐに使えるパッケージソフトウェア
■テキストでのGEM300設定管理により専用画面が不要
■装置の挙動に合わせ関数をコールすることにより各規格に準拠した
状態モデル、オブジェクト管理、シナリオを実装
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガラス搬送装置
SECS、HSMS対応通信ソフトウェア『SDR』
『SDR』は、主に半導体・液晶製造工場で使用されているSECS・HSMS
スタンダードに準拠した通信インターフェースを構築するための組み込み型
パッケージソフトウェアです。
半導体・液晶製造装置やステーションコントローラ、材料搬送システムなどに
当製品を組み込むことで、SECS・HSMS規格といった業界標準規格に対応した
通信インターフェースを追加のハードウェア無しで構築することができます。
また、半導体・液晶業界における20年以上の経験に基づき、みずほ情報総研の
技術サポートスタッフが使用方法習得トレーニングと技術サポートサービスを
通して通信インターフェースの実装を支援いたします。
【特長】
■カナダ PEER Group社製
■既製のパッケージソフトウェア
■ワールドワイドの導入実績
■SECS-I・II・HSMS-SSに準拠
■他OSへの容易な移植
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【活用事例】電子部品製造工場







