次世代ウェーハへの対応とは？課題と対策・製品を解説

ミツル光学研究所ではTTVが1μmまで対応した『ガラスウエハー』を
取扱っています。

インターポーザー等の構造体や、バック・グラインド加工サポーター、
センサー形成基板の用途に最適。

石英やソーダライムガラス、無アルカリガラス等の硝材各種に対応しています。

【仕様】
■対応サイズ：2inch, 4inch, 6inch, 8inch, 12inch, 最大φ500
■ウエハー厚：0.3mm～15mm
■TTV（Total Thickness Variation ）
・ウエハー全体の板厚差：0.5μm以内
■外周仕上：C面取り・R面取り・鏡面仕上げも可能

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ゼノマックス（Ｒ）』は、ポリマーフィルムで最高レベルの寸法安定性・高い耐熱性を有し、ガラス・シリコンウェハ・セラミックス・金属の代替や複合化などに適した材料です。

当資料では、高耐熱ポリイミドフィルム『ゼノマックス（Ｒ）』についてご紹介しています。『ゼノマックス（Ｒ）』の特長や基本物性、アプリケーションなどを掲載。ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■ゼノマックスジャパン株式会社の概要
■ゼノマックス（Ｒ）特長
■ゼノマックス（Ｒ）基本物性
■ゼノマックス（Ｒ）のアプリケーション

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

歯切り・焼入れ・メッキ等の当社で加工の出来ないものは当社協力企業と連携することでお客様へはワンストップで納品可能です。

ゼノマックスジャパンの高耐熱ポリイミドフィルムは
ポリマーフィルムで最高レベルの寸法安定性・高い耐熱性を有し、
ガラス・シリコンウェハ・セラミックス・金属の代替や複合化などに適した材料です。

「薄い、曲る、軽い、割れない、加工しやすい」といった特長を活かし、
軽・薄・大型化が進む薄膜トランジスタ基板や高密度化が進む半導体
パッケージ基板などへの展開が可能です。

【特長】
■優れた寸法安定性：ガラス・シリコンウェハ、セラミックと同等の寸法安定性（線膨張係数0～3ppm/K）
■高耐熱性：450℃でも平面性維持（反り・変形なし）
■優れた表面平滑性：ディスプレイ用ガラス基板と同等の表面平滑性（Ra≓0.5nm）

※仕様詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください。詳しくはお気軽にご相談ください。