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異物混入の排除とは？課題と対策・製品を解説
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フォトレジスト塗布における異物混入の排除とは？
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株式会社オーク製作所では、半導体素子、液晶基板、電気回路基板および
各種素材の表面処理工程でランプの各波長による効果を活かした様々な
処理装置を設計・開発しております。
UVを照射して有機汚染を非接触で除去するUVドライプロセッサーや
紫外線硬化樹脂によるUVインクの乾燥などに適したUV-LEDスポット
照射装置などお客様の用途に合わせてお選びいただけます。
ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。
【ラインアップ】
■UVドライプロセッサー
■UV-LEDスポット照射装置
■小型灯具シリーズ
■FRP硬化用UV灯具
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
株式会社オーク製作所 紫外線応用製品のご案内
【取扱製品(一部)】
■ケミカルフィルター (電子部品工場向け)
■プレフィルター(不織布)
■中性能フィルター
■ガラス繊維フィルター
■高性能HEPAフィルター
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フィルター製品
電子部品に使用されるプラスチックでは機能性を向上させるフィラーの使用が必須ですが、
現場からは下記のようなお困りごとが聞かれます。
■粗粒により押出成形機のスクリーンで目づまりをおこしてしまう…
■材料の磁着鉄が除去できない…
■凝集があり分散できない…
■材料内に異物が混入していた…
■材料内の粗粒により、製品にムラが出てしまう…
キンセイマテックでは、大きさの異なる粒体を分別する『分級加工』を行っております。
数μmの粒体の中から100μm以上の粒体を除去できるため、
原料の中にある異物・粗粒・介在物・磁着鉄を取り除くことが可能です。
粗大粒子によるエラーにお困りの方は、ぜひご相談ください。
※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
【粗大粒子を除去！】『分級加工』のご提案
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フォトレジスト塗布における異物混入の排除
フォトレジスト塗布における異物混入の排除とは？
半導体製造プロセスにおけるフォトレジスト塗布工程で発生する異物混入を防ぎ、歩留まり向上と製品品質の安定化を目指す技術・管理手法の総称です。微細化が進む半導体デバイスにおいて、異物は回路の欠陥や性能低下に直結するため、その排除は極めて重要です。
課題
微細異物の検出困難性
ナノメートルオーダーの微細な異物は目視での発見が難しく、従来の検査方法では見逃されるリスクが高い。
発生源の特定と管理の複雑さ
異物は製造装置、材料、作業環境、作業者など多岐にわたる要因で発生するため、発生源の特定と継続的な管理が困難。
クリーンルーム環境の維持コスト
高度な清浄度を保つためのクリーンルーム設備や運用には高額なコストがかかり、その維持管理も負担となる。
自動化・省人化によるリスク増大
自動化・省人化が進む中で、人の目が介在しない分、予期せぬ異物混入が発生した場合の検知が遅れる可能性がある。
対策
高感度異物検査システムの導入
レーザー散乱法や画像解析技術を用いた高感度な異物検査システムを導入し、微細異物を早期に検出する。
厳格な環境管理とトレーサビリティ
クリーンルーム内の清浄度管理を徹底し、使用する材料や装置の履歴を追跡可能にすることで、異物発生源を特定しやすくする。
自動洗浄・除塵装置の活用
フォトレジスト塗布装置や周辺機器に自動洗浄・除塵機能を備えた装置を導入し、異物の付着・混入を未然に防ぐ。
AIによる異常検知と予兆管理
製造プロセスデータをAIで分析し、異物混入の兆候を早期に検知したり、異常発生を予測したりすることで、予防的な対策を講じる。
対策に役立つ製品例
高解像度異物検出装置
微細な異物を高精度で検出し、画像として記録・分析することで、異物の種類や発生源の特定を支援する。
クリーンルーム用空気清浄システム
高性能フィルターと適切な気流制御により、クリーンルーム内の浮遊粒子を効果的に除去し、清浄度を維持する。
自動搬送・検査一体型ロボット
ウェハーの搬送から塗布、検査までを自動で行い、人の介在を最小限に抑えつつ、異物混入リスクを低減する。
プロセスデータ解析システム
製造装置から収集される大量のデータをリアルタイムで分析し、異物混入の予兆や原因を特定するためのインサイトを提供する。
