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膜厚制御の精密化とは?課題と対策・製品を解説

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フォトレジスト塗布における膜厚制御の精密化とは?
半導体製造プロセスにおいて、フォトレジスト(感光材)をウェハー上に均一かつ精密な膜厚で塗布する技術のこと。微細な回路パターンを形成するために不可欠であり、デバイスの性能や歩留まりに直結する重要な工程である。
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炭化ケイ素(SiC) セラミックス
【資料】5G通信業界へのソリューション
10GHzを超える周波数帯に対応する5Gテクノロジーは高速なデータ伝送を
ベースに実現されるため、その大半の電子コンポーネントが高周波・
高速信号伝送の要件を満たすことを必要としています。
5Gの利点をフルに引き出すためには、伝送速度の低下を抑える低誘電率、
低誘電正接の材料が不可欠。
エボニック社は、スペシャルティケミカルの一社として、5G材料の開発を
加速する充実したソリューションを提供します。
カタログにて、さまざまな製品をご紹介しておりますので、
ぜひダウンロードしてご覧ください。
【ラインアップ(抜粋)】
■Dynasylan(R) シラン
■Siridion(R)
■TEGO(R) / NANOCRYL(R) コーティング材用添加剤
■AEROSIL(R) フュームドシリカ
■VISIOMER(R) 特殊メタクリレート
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気 軽にお問い合わせ下さい。
株式会社SCREEN SPE クォーツいわき工場 加工品事業紹介



