異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

電子部品業界、特に精密部品の製造においては、洗浄や精密加工に用いる水の品質が製品の品質を左右します。不純物の混入は、製品の性能低下や不良品の発生につながるため、高純度の水が不可欠です。RO純水製造装置スキッド型は、限られたスペースを有効活用し、高品質なRO純水を安定供給することで、電子部品製造における品質管理をサポートします。

【活用シーン】
・電子部品の洗浄工程
・精密部品の製造工程
・半導体製造

【導入の効果】
・高品質なRO純水による製品品質の向上
・省スペース化による製造効率の改善
・安定した純水供給による歩留まり向上

半導体製造業界では、クリーンルーム内での精密機器や部品の保護が重要です。特に、限られたスペースでの保護対策は、効率的な製造プロセスを維持するために不可欠です。異物混入や破損を防ぎ、製品の品質を確保する必要があります。当社の極薄破損止・極薄チャンネルは、わずか0.3mmの厚さで、クリーンルーム内の機器や部品を保護します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の精密機器の保護
・半導体製造装置の部品保護
・限られたスペースでの保護対策

【導入の効果】
・省スペースでの保護を実現
・異物混入や破損のリスクを低減
・製品の品質向上に貢献

当カタログは、合成樹脂塗床『アートフロアー』防塵床シリーズの
ラインアップを掲載しています。

耐薬品性の｢EPコート｣をはじめ、速乾性のある｢DSコート#100｣、
浸透性・表面強化・低臭性が特長の｢シールエース｣などをご紹介しています。

タイプやカラーバリエーションも豊富。
施工環境にあわせて好適なタイプをお選びいただけます。

【掲載製品】
■EPコート
■EUコート
■EPコートFX
■EUコートFX

※詳しくはPDF資料をご覧いただくかお気軽にお問い合わせ下さい。

『アートフロアーEP51』は、エキポシ樹脂特有の優れた耐薬品性と
美観を併せ持つ塗り床です。

VOC対作品の環境配慮型で、優れた低アストガス性により半導体製造工場の
クリーンルームにも対応します。

また、当製品にガラスクロスを積層した工法でより耐久性を向上させる
「アートフロアーEPー1C工法」がございます。

【特長】
■耐薬品性
■美観
■低アストガス性
■無溶剤型エキポシ系
■ベーストタイプ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくかお気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
■良好な耐薬品性と耐熱性
■最適な耐透過性
■卓越した難燃性
■良好な表面特性
■表面平坦性
■純度
※耐薬品性等、詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

パイプエンド式真空フレキシブルホース『NK-2300PT』は、
両端パイプエンド構造で、くい込み継手と接続できます。

配管誤差（変位吸収）が調整でき、
振動緩和やモーション対応が可能です。

世界最小クラスの直径3ｍｍフレキシブルホースで、
高品質・低価格・短納期で対応できます。
※長さ・数量によって納期が異なります。

【仕様】
適用チューブ：CLT(超柔軟)
口径：3.18〜12.7mm
長さ：100mm〜3M
※長さについてはご相談下さい。
適用流体：ガス・水・空気
※ステンレスを腐蝕させない流体に限る。
使用温度：-196〜300℃
使用圧力：FV〜0.1MPa
※許容リーク量1.33×10-10Pa ㎥/Sec以下

ステンレス製配管継手「RH継手」は、半導体向けの水用、ガス用の装置組立、チラー配管に使用可能です。継手内面は切削仕上げしています。材質：ステンレスで耐食性に優れています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

『CS1』は、特殊な溶液を染み込ませやシートで基板を拭くことにより、
基盤が自分自身で表面にフッ素の結晶を生み出すフッ素成膜です。

自己組織化法による成膜は化学反応による結合のため耐久性に優れます。

また、原子・分子レベルの単層でバリアが出来るため、誰でも簡単に均一な
フッ素膜を成膜できます。

【特長】
■汚れがつきにくい
■汚れが落ちやすい
■素早く簡単にできるフッ素成膜
■タッチパネルの操作性にほとんど影響しない

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【取扱製品(一部)】
■ケミカルフィルター (電子部品工場向け)
■プレフィルター(不織布)
■中性能フィルター
■ガラス繊維フィルター
■高性能HEPAフィルター

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ハムレットHTCシリーズは、SEMIスタンダードに準拠した素材、品質管理の高純度ライン用の面シール／溶接継手です。
下記ラインナップでお客様の要求にお応えします。
■グランド（スリーブ）
■ミニタイプ溶接継手
■エルボ/ティ/クロス形状コネクタ
■ロングタイプ溶接継手
■ストレート形状コネクタ
■キャップ/ナット/プラグ
■スイベル式溶接アセンブリ
■ガスケット
■ハイフロー仕様コンポーネント

＜特長＞
・電解研磨処理対応（Av. 5uインチ）
・SS316L Var、または、Vim/Var材対応（SEMI F20-0305準拠）
　（注）3/4”以上は316L/316L VOD（AOD）材です
・クリーニング仕様はH9800に準拠（参照仕様：SEMI E49.3）
・組立はSEMI E49.6準拠
・サイズ：1/8"～1"
・全てのHTCコンポーネントにはヒートコードがつけられ追跡調査が可能です
・電解研磨品は清浄度を維持する為、二重包装されています。

※標準的なアイテムにつきましては国内在庫対応中。在庫状況につきましてはお気軽にお問い合わせ下さい。

エポキシ系帯電防止塗り床材「アクアコート♯8851」は、より完全な無塵化を要する作業環境、特にハイテク機器に取り囲まれた場所での、作業床への高度化する要求性能に応えます。チリ・ホコリが嫌う場所の床材として、美装性・クリーン性・耐摩耗性などの特長が評価され、愛用されています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

12インチ（３００ｍｍ）用ウエハケースを脱気包装できる、
シール長６００ｍｍの）脱気シーラーです。

コンパクトで作業台などに置いて脱気包装ができる「卓上型」と、
シール作業する袋口が見やすい縦型式の「垂直架台型」をラインアップ。

クリーンルーム内で使用でき、
エア用配管と排気用ダクト配管が不要で、電源があれば使用できます。
デフォルトで包装シールを2列にするといった便利な機能を搭載しています。

【特長】
■シールバーが閉じる際の安全機構を標準装備。
　※追加の安全機構を希望の場合は、別途ご相談
■ノズルストロークが卓上型は最大150mm（オプションで最大250mm）、
　垂直架台型は最大250mm（オプションで最大300mm）で脱気がスムーズ
■ガセット袋の中央2枚部も同じ圧力でシール可能（オプション）
■設定圧力に達したらタッチパネルにOKと表示可能（オプション）

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
　PDFダウンロードより、【脱気・ガス充填包装のオーダーメイドに関するよくある質問まとめ】を進呈中！

『ZT11』は、蒸着形半導体歪ゲージを用いた検出部と内蔵の電子回路で、
圧力を電気信号に変換し、伝送する半導体産業用の圧力トランスミッタです。

SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、気密性、
長期安定性、信頼性に優れています。

これまでの圧力トランスミッタに対し、小形、軽量化(当社比)を実現、
EP・GPグレ－ドを標準とし、オプションとしてUCグレ－ドにも対応します。

【特長】
■小形、軽量化を実現
■SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接
■Co-Ni系合金はオプション対応可能(UCグレード)
■IP67の防塵/防水性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

サン・エキスプレスは、精密機器の物流だけを専門に60余年。

当社の倉庫は、東京都大田区、神奈川県藤沢市、大阪府東大阪市に立地しており、
いずれの倉庫も国内に数少ない空調設備を完備。精密機器保管専用倉庫として、
シャッターの開閉はマメに行い、2重シャッターを施した施設も用意。
常に庫内温度を一定に保ち、マメに清掃を行い清潔にすることを心掛けております。

医療機器、理化学機器やレンズを備えた検査機器をお取り扱いの場合など、
空調設備を必要とされているお客様からご好評を頂いております。

「信頼のおける運送会社を探したい」「時間指定で運送してほしい」
「電子機器なので保管中の結露が心配」「埃や塵の入らない倉庫が必要」など…

精密機器の物流にお困りの方、お気軽にお問合せください！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

創業77年の老舗サファイア製造メーカーです。
サファイアの大型結晶を自社で育成しているため、1mm以下の微細な製品から
写真のような300mm程度の大型窓の製作も可能です。

設計段階からお客様のご要求に寄り添い、品質的／コスト的に最適なカスタム製品を共に作り上げていくことが得意です。
1個からのお問い合わせも歓迎しておりますので、ご遠慮なくお問い合わせください。

切断、研削、研磨といった基本的な加工に加え
穴あけ加工、超音波加工、レーザー加工、チューブ加工、コーティング等の特殊加工にも対応しております。

また、石英ガラスでは失透してしまう強酸・強アルカリの薬品が使用される半導体製造工程にも
優れた耐薬品性のサファイア製品をご活用ください。
※サファイア製品の耐薬品性試験結果を進呈中。技術資料を下記よりダウンロードできます。

【特徴】
■化学的に安定（酸・アルカリにほぼ不溶、失透）
■広い透過特性（UV～近赤外(約5μm)）
■硬い（ビッカース硬度：1750(a面)）
■熱に強い（融点：2040℃）
■熱伝導が良い（42W/mK, 25℃）

赤外線ハロゲンランプは近赤外線域にピーク波長を持つ、極めて高効率な熱源です。
半導体製造の他、各種成膜工程の熱源として使用されます。
半導体製造工程での使用に適した制御性の良いクリーンな熱源です。

【特徴】
○高効率・省エネ
○素早いレスポンス

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

『シリコンウェーハケース包装用ラミネート袋』は、製品自体の
クリーン度管理にも細心の注意をはらって製造されているラミネート袋です。

透明ラミネート品、アルミラミネート品及び透明バリアラミネート品の
3種類をご用意。各種ラミネート袋の素材は、材質の異なるフィルムを
複数ラミネートした構造となっており、ガスバリヤ性に優れています。

被包装物の汚染を防止するため、各種ラミネート袋の最内面となる
ポリエチレン（PE）は、厳選されたPEを使用しています。

【特長】
■クリーン包装袋の製袋、検品および1次梱包は、クラス10000の
　クリーン度環境下で実施
■形状はガゼットタイプ
■三方シールの平袋タイプもご要望に応じて対応
■ラミネート方法は押し出しまたは、ドライ（接着剤塗布）の選択が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、半導体製造工程で使用される薬剤や消耗品、精密部品の
洗浄剤を提供しております。

その他、金属加工及び表面処理に使用される各種薬剤および
メッキ廃水処理剤や、原材料及び食品添加物から衛生管理面で
必須なサニテーション商品などを提供。

また、医薬品原料関連、化粧品原料関連、試薬関連、プール・スパ・
温泉関連、防疫薬剤関連、リネン・クリーニング関連、塗料・印刷関連も
取り扱っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【取扱品目】
■高純度薬品
■フッ素系溶剤
■リチウムイオン電池材料
■イオン液体　など

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社は、半導体・FPDの製造に付属する各種部品の精密洗浄を行っています。

精密洗浄技術では、目には見えない汚れをきめ細かく除去し、
お客様の半導体や液晶などの製造装置の長期安定稼働を提供しています。

また、新設真空装置向け直動部品洗浄も承っており、付着膜剥離から
表面処理、精密洗浄、乾燥、品質検査、梱包までを一貫で対応します。
ご要望の際はお気軽にご相談ください。

【サービス】
■半導体・FPD等精密洗浄
■真空装置向け直動部品洗浄
■長期安定稼働サポート

※詳細はお問い合わせください。

フロロテクノロジー社の『フロロサーフ』は表面に形成されるフッ素樹脂皮膜が撥水撥油性を発揮し、強力に水や油をはじきます。油脂類のバリヤ（はいあがり防止）・拡散防止・付着防止・防汚など、さまざまな効果を発揮します。

刷毛や浸漬などで簡単にコーテイングでき、室温で5秒から15分程度で
乾燥します。乾燥後はフッ素樹脂皮膜が形成され、撥水・撥油、防水、防湿など様々な効果が発揮されます。
ご希望の方にはサンプルを無料でお送りしております。

【特長】
■刷毛や浸漬、スプレーガンなどで簡単にコーテイング可能
■室温で5秒から15分程度で乾燥
■不燃性モデルは引火性のないフッ素液体を使用
■低毒・低臭性で安全
■有機溶剤に該当しないため消防法・労安法など法規制もクリヤ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

Roxtec (ロクステック) の貫通部シールは、半導体製造装置の入線孔を確実に密閉します。
国際的な防爆規格に準拠しているので、輸出用の装置にも安心して使用可能です。
半導体製造装置の国内大手メーカーでも採用されています。

ガス供給装置、ガススクラバー、各種制御盤などの入線部にぜひお試しください。
ダウンロードしてくださった企業様、先着５社に毎月サンプルを差し上げています。

＜特長＞
・防爆規格に準じた安全製品
・高い密閉性能（IP66/67)
・コンパクトで装置の小型化に寄与

★ 特長を簡単にまとめた資料と製品カタログは、下記「PDFダウンロード」よりご覧ください。

当社で取り扱う、各種ガスに対応する「ケミカルフィルタ」をご紹介します。

活性炭(粒子状活性炭)を基材としたろ材とイオン交換樹脂を使用した
ろ材を保有しており、外気処理、循環処理、排気系等様々な用途で
適切なフィルタを提案。

半導体・液晶工場で問題となっている硫黄酸化物等の酸性ガス、
アンモニア等のアルカリガス、フタル酸エステル(例えばDOP)等の
有機ガス等各種ガスの除去が可能です

【特長】
■品揃え豊富
■各種ガスに対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ハイプレシカは、高純度シリコン化合物から合成した微粒子です。
硬く、耐荷重に優れたシリカ粒子や、軟らかく、デリケートな被着物に傷をつけない有機無機ハイブリッド粒子があります。ハイプレシカの特長は粒径が非常に良くそろっていること（単分散）、真球形状であること、きわめて高純度であることです。

それらの特長を生かし、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のスペーサー（液晶材料の入るセルの厚みを均一にするギャップ保持材）として使用され、ＬＣＤを高精細化するのに不可欠な部材となっているほか、接着層厚み調整用スペーサー、高機能樹脂充填材（半導体封止材料用、他）、高機能フィルムコーティング用粒子等、多様な分野で使用されております。

※詳しくはカタログをダウンロードして下さい。

当社では、職場携帯電話や自動車等､生活に欠かせない
半導体を作る工場の配管工事を取り扱っております。

製造から取付けまで一連の作業に対応。

また、金属の加工業務も手掛けており、曲げ加工や切断から、
Tig溶接や自動溶接などの溶接作業の請負もいたします。
ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。

【対応工事(一部)】
■半導体向け配管
■医療ガス配管
■ガス配管
■真空配管
■溶接工事

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

優秀な耐プラズマ性を有しながらコスト優位性の高い特殊材質です。配合剤を使用していないことから低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器などのドライプロセスに於いて、優秀な耐プラズマ性を発揮します。ノンフィラータイプの耐熱パーフロ材質「フロロパワーFFN（FFKM-耐プラズマ）」の下位互換として有効です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポートさせて頂きます。
＊ パーフロなどを含むフッ素ゴム各種は、桜シール株式会社が最も得意としている材質です。
＊ Oリング以外の形状にも対応いたします。

　GCVシリーズベローズバルブは、省資源化を目的に、コンパクト化と軽量化を実現した製品です。

【特徴】
○性能は従来のCVLシリーズと同等ですが、開閉表示は見やすく改良されました。
○半導体製造プロセスにおいて不可欠な高純度ガス用で、高信頼・高耐久性にお応えできるベローシールバルブです。

●その他の機能や詳細については、カタログをダウンロードしてください。

当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。

カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、
Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。

お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。

【特長】
〈デュアルゲートバルブ〉
■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い
■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバーのメンテナンス性が向上
■コンパクト設計(シングルバルブと同サイズ)
■開口45×450mmに対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

結露防止器　DPマイクロ　型式DP-M20-Wの特徴について。
１、Ｍ２０の取り付け穴に２重パッキン採用
２、ＤＰマイクロ１個で盤５リットルマデ対応可能
３、IoT、防災用センサ、カメラ、記録、通信ユニット収納箱
４、自動機械、盤内ノ部分的な高湿気、結露対策
５、高湿気排出だけで無く、外部よりの湿気侵入抑制
６、電源不用、フリーメンテナンスで圧倒的な使いやすさ。

『AS-Fコーティング』は、離型・耐食・凝着防止に特化した独自のコーティングです。

特にハロゲン系ガスに対する優れた耐食性がメリットで、半導体製造工程で
使われる製品に好適。すでに多くの治具や金型に採用されています。

また、Hv1200の膜硬度をもつほか、ハスの葉のような表面構造で
離型性や摺動摩耗性にも優れています。

【特長】
■フッ素に反応しない特殊ターゲットを使用
■結晶のないアモルファス組織で、腐食成分の浸透を防止
■耐食性の高い成分をPVD製法で成膜することで高い密着性を確保

※詳しくはダウンロードボタンより資料をご覧ください。

★「試作無料キャンペーン」を実施中。（申し込み期限：2021年12月6日）
　お問い合わせフォームよりお気軽にお申し込みください。

メタルシール　デジタル・マスフロー/プレッシャメータ/コントローラのご紹介です。 機器は高品質な表面仕上げで、モジュールコンセプト構造のメタルシールですから長期間のリークタイトネスを保証します。 本機は高精度・すばらしい温度性・及び高速応答を有するＰＣボードを備えています。 最新のEL-FLOWシリーズはマルチガス/マルチレンジ機能も加わり、さらに(OEM)顧客へそのアプリケーションにおいて最適なフレキシビリティーとプロセス効率を提供します。 詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

『RAMフォース』は、プラスティックフィルム上へ光学膜やメタル等の
多層成膜をすることができるロールtoロールスパッタリング装置です。

RAMカソード（低ダメージカソード）の性能評価ばかりでなく、
ラボの条件下で自分のアプリケーションをテストし、パイロットラインから
量産ラインへと展開することができます。

【特長】
■特許取得
■基板へのダメージを60%以上低減
※従来の平板式スパッタリングとRAMカソードとの比較
■成膜速度を3倍以上向上
※従来の対向式スパッタリングとRAMカソードとの比較
■京浜ラムテックの独自技術

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

'-特徴-
■ クリーンルームで使用可能
■ 優れた自己消化性
■ 着火後の発煙量が少量
■ 優れた加工性
■ 優れた耐薬品性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

極低圧の 0.002 MPaから 0.01 MPa (最大許容圧力 0.1 MPa)まで切れ目のないラミナー状の噴射が可能なノズルです。
スリット幅：100～3000mm、スリット厚：0.15～0.3mmまで用途、製品幅に応じ幅広く対応が可能です。

★デモ機貸出サービス実施中★
ウォーターナイフのデモ機貸出サービスを実施中です。
導入前の性能確認・仕様決定のご参考としてご利用ください。
詳しくは下記フォームよりお問い合わせください！

【半導体分野へのコーティング実績のご紹介】
◆使用コーティング塗料：PTFE・PFA塗料
◆対象と用途：
・ウェハー研磨用金型…焼き付き防止
・ウェハー搬送用（導電性）吸着ハンド…スベリ・非粘着
・ピン（製造ライン）…スベリ
・吸着パッド（製造ライン）…非粘着
・筐体カバー…耐薬品
・シリコンシート…スベリ

当社では、創業以来様々な業界のコーティングを手掛け、5万件を超える膨大な実績を元に、多種変量での対応はもちろん、最小5mmの小物から最大4000mmの大物まで、さまざまな金属・樹脂・ゴムといった母材に対応いたします。
コーティングのことなら淀川ACCへお任せください！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
■ラックを現場に合わせて加工可能
■だから急な電路変更やイレギュラーな現場でもラクラク対応
■インテリアを感じさせる美しいワイヤーフレーム。
■ホコリがたまりにくいクリーン構造

※詳細はダウンロードよりカタログをご覧ください。

株式会社SCREEN SPE クォーツの保有する郡山工場は、半導体製造装置関連の
分野における創業以来の生産拠点であり、半導体ウエハー洗浄用処理槽
（石英槽）の開発・製造を鋭意的に展開しています。

クリーン度がハイレベルに保たれた工場内では、材料調達から製品出荷
までの各工程が一貫して機能し、安全かつ効率的な生産体制を構築して
います。

また、約1,700℃の高い軟化点を持つクォーツの特性を生かし、ボートや
チューブをはじめとするウエハー熱処理装置用部品の開発・製造も積極的
に行っています。

【事業内容】
■半導体洗浄装置向け石英槽および関連部品の製作加工

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで
設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。
シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。

【特長】
■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能
■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置
■省スペース/小型化：W500×D395mmサイズで卓上型
■お手持ちの排気系、膜厚計を取付可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

大型機もシリーズに追加しました。

『ハイパーピュアボトル』は、半導体用高純度薬品容器として
新たな成形技術により生まれた高品質・高精度な多機能容器です。

「6種7層」という圧倒的なバリア機能により、高耐久でハイクリーンな
多層ボトルを実現。

最内層は素材の選択が可能であり、従来ポリエチレン容器では
収納不可能であった薬品もご使用いただけます。

【特長】
■従来のクリーン原料に比べてパーティクルが1/10以下
■電子工業薬品で懸念される金属溶出も限りなく抑えられる
■HDPE単層に比べ、バリア性能が格段に向上
■ポリエチレン容器では収納不可能であった薬品も使用可能
■改ざん防止機能付き

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

井阪産業株式会社では、『電子関連向け製品・工事』を承っております。

熟練のスタッフが自社工場でポンプのオーバーホール・洗浄(重金属可)を行う
各種ポンプO/H・洗浄をはじめ、電子工業薬品については、
高純度・機能性薬品、洗浄液、レジスト等幅広くご提供。

また、高圧ガス・真空・冷却水・排気、薬液配管等、装置立上げに関わる
付帯工事一式を行います。

【取り扱い製品(一部)】
■各種ポンプ O/H・洗浄
■電子工業薬品
■真空関連製品・消耗品

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『多階層CR対応クリーン垂直搬送システム』は、多階層CR間における
立体的で効率的な自動搬送ラインを構築できます。

垂直往復高速搬送機の「クリーンオートレーター」と
垂直連続トレー搬送機の「クリーンハイトレー」をご用意。

どちらもFOUP搬送用となっております。

【クリーンオートレーター特長】
■清潔度を保つ機構プラス高能力
■搬送方向は自由自在
■発塵を抑えた省スペース設計＋低衝撃
■クリーン度：クラス1～に対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社オーク製作所では、半導体素子、液晶基板、電気回路基板および
各種素材の表面処理工程でランプの各波長による効果を活かした様々な
処理装置を設計・開発しております。

UVを照射して有機汚染を非接触で除去するUVドライプロセッサーや
紫外線硬化樹脂によるUVインクの乾燥などに適したUV-LEDスポット
照射装置などお客様の用途に合わせてお選びいただけます。

ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。

【ラインアップ】
■UVドライプロセッサー
■UV-LEDスポット照射装置
■小型灯具シリーズ
■FRP硬化用UV灯具

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

『シュウ酸硬質アルマイト』は、皮膜内に硫黄分を含まない皮膜になり、
半導体製造装置等において妨害物質の放出等が発生しにくい硬質アルマイト処理です。

真空下で使用しても、放出ガスの発生量は硫酸皮膜と比較して減少します。
硫酸硬質アルマイトと比較して、表面粗さは抑制することが可能。
高い耐候性を有し、屋外での使用においても色調変化は殆ど見受けられません。

自然発色でゴールド色の仕上がりとなり、美しい外観を与え、
食器関係（家庭用の鍋ややかん）にも使用していることから、
安全にご使用いただくことができます。

【特長】
■クリーンな皮膜
■放出ガスが少ない
■高い耐候性
■皮膜の安全性
■美しい外観

詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

半導体製造プロセスにおいて、水分および酸素の除去は大きな課題です。当社の露点計や温湿度計、酸素濃度計は半導体の製造、搬送、検査等様々な工程で使用されています。またドライエアーにおける除湿度や窒素ガス・アルゴンガス・ヘリウムガス・水素ガス等のガス純度測定のためにも使用されています。 水分計測では、最低-100℃露点まで測定可能なTK-100静電容量式露点計(酸化アルミタイプ)をはじめとして、最低-60℃露点までのTE-660露点計(高分子タイプ)、-95℃～+99℃露点まで測定でき高精度が必要な場合や露点計の基準器として使用されているMBW鏡面冷却式(ミラー式)露点計、そして湿度の領域では簡易型のEE060、高温・高湿下での測定を主とする結露防止環境下での対策が施されたEE33温湿度計などが主に使用されています。 酸素濃度計測では、水素置換による酸素除去の際には2001LCガルバニ電池式酸素濃度計でPPMまで、水素が存在しない状況ではModel 4100ジルコニア式酸素濃度計でPPBまでの分析を行うなど、様々なシーンで使用されます。 また、クリーンルームや製造装置内の微風計測に風速計も活躍しています。

CMWはシリーズは、高純度アプリケーション用に開発された溶接型コンパクトチェックバルブ（逆止弁）です。完全溶接設計の為、流体を外部リーク無く確実に保持します。電解研磨品もご用意しております。

＜特長＞
・半導体製造装置の要求するクリーン度で対応
・流体をリークなく確実に保持する完全溶接設計
・最大許容使用圧力： 20MPa
・最大許容背圧： 20MPa
・使用温度範囲： -10～80℃
・クラッキング圧力： 0.014MPa (2psi)
・リシール圧力： 0.028（4psi）
・表面仕上げ： 5uインチ（電解研磨仕上げ）
　　　　　　　10uインチ（機械研磨仕上げ）
・サイズ： 1/4"、1/2"
・接続： おす面シール、めす面シール、突合せ溶接
・オプションでOリング材質を選べます
（フルオロカーボンFKM、ポリクロロプレンCR、パーフルオロエラストマ、EPDM）

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

光電子工学及び電力工学産業における先進的企業へ『クリーンルーム用
特殊キャスター』をBlicle（ブリックレ）技術で解決した導入事例をご紹介します。

クリーンルーム環境で使用されるキャスターは、空気1立方メートルあたりの
粒子数と大きさにおいて指定された制御汚染レベルを遵守しなければならず、
安定性や安全性と同様に、床の種類とともに摩耗率が低いことが重要となります。

Blickeは、同企業と協力して、LHFのばね付きシリーズである
「LHF-PTH 200XK-ELS-FS」の特注版キャスターを開発。

フットガードとトラックロック付きの非常に頑丈なニッケルメッキを施した
取付金具及びBlickleのPTHホイールの組み合わせは、同企業を
納得させるものであり、現在では順調に使用されています。

【課題】
■指定された制御汚染レベルを遵守しなければならない
■床の種類とともに摩耗率が低いことが重要
■運搬する製品を静電気から守ることも重要

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『E-PPシリーズ』は、錫めっき浴から利用可能な2価錫を残し、反応性生物である不要な4価の錫を連続的かつ選択的に除去するろ過システムです。

4価の錫を連続的に除去することで、めんどうな沈降作業実施間隔の長期化を実現
連続的に除去出来るので、製品品質が安定

構造は従来式のマグネットポンプとバッグフィルターの組合せを応用したもので、4価スズのスラッジのみを正常に除去可能です。

【特長】
■スラッジ除去に起因する休止時間なし
■沈降作業実施間隔の長期化
■安定した低4価錫濃度により2価錫の損失減少
■可溶性および不溶性アノードの両方でMSAと添加剤の消費量を削減
■低4価錫濃度により得られるめっき品質向上

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『芯鞘アクリル導電繊維 コアブリットB』は、特殊製法で毛材の絡みが無い
ノンシリコン毛材です。

高い導電性があるので、ブラッシングにて静電気の発生を抑え、コロナ放電
などによる除電も行います。

また、芯部分に導電性を持たせているため、導電物質の脱落による導電性の
低下やコンタミの混入がほとんどありません。

【特長】
■ブラッシングにて静電気の発生を抑える
■コロナ放電などによる除電も行う
■導電物質の脱落による導電性の低下やコンタミの混入がほとんどない
■毛材の密集度が高く精密洗浄用に優れている
■アクリル特有の表面シワがブラッシング性能を高める

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　CVLシリーズ ベローズシールバルブ は、半導体製造プロセスにおいて不可欠な高純度ガス用で、高信頼・高耐久性にお応えできるベローズシールバルブです。

【特徴】
○信頼性の高い精密なメタル成型ベローズ、コンパクトアクチェターのＡｉｒ作動弁など、高い技術力と経験でお客様へ流体・用途別の製品をご提供いたします。

●その他の機能や詳細については、カタログをダウンロードしてください。

『モーノポンプ』は、様々な液体を無脈動・定量移送できる
回転容積式一軸偏芯ねじポンプです。

モーターの回転速度の調整だけで、吐出量を制御することができます。
また、部品点数が少なく、日々のメンテナンスを短時間で行うことができ、
作業効率の向上に貢献します。

当カタログでは、リチウムイオン二次電池や機能性フィルムなどの製造工程で
電極スラリーや機能性材料を高精度供給するモーノポンプをご紹介しています。

【掲載製品】
■標準モデル　　「NHL-F型」
■小容量モデル　「2NL-F型」
■軸封レス・ホッパー一体型　「NVL型」
■軸封レス・タンク直結型　　「NTC型」

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