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異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

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薄膜形成における異物混入の防止とは？

半導体製造における薄膜形成プロセスでは、微細な異物混入が製品の性能や歩留まりに深刻な影響を与えます。この異物混入を徹底的に排除し、高品質な半導体デバイスを安定的に生産するための技術や管理体制全般を指します。

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【半導体製造工場向け】特殊空調機用『高静圧ドレントラップ』

コンドーFRP工業株式会社

半導体製造工場では、微細な異物の混入も許されない高度なクリーン環境が求められます。ドレン配管に適切なトラップを設けない場合、排水系統を介して空気が流入し、塵埃や汚染物質が空調機内部へ侵入するリスクがあります。空調機用ドレントラップは、排水を確保しながら空気の逆流を防止し、クリーン環境の維持に貢献します。当社の高静圧ドレントラップは、封水高さを大幅に高めることで、全静圧＋1450Paを超える高静圧空調機でも安定した封水を維持し、半導体製造工場をはじめとする高い清浄度が求められる施設の空調設備をサポートします。【活用シーン】・高静圧空調機が設置されているクリーンルーム・精密機器製造ラインの空調管理・実験室やクリーンブースの空調システム【導入の効果】・クリーンルーム内の清浄度維持・外気からの異物侵入リスクの低減・空調システムの安定稼働

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【半導体工場向け】大口径ドレントラップ

コンドーFRP工業株式会社

半導体工場では、製品品質の維持のために、クリーンな製造環境の確保が重要です。ドレン配管からの汚染空気の逆流は、クリーンルーム環境への影響や製造設備周辺の衛生リスクにつながる可能性があります。特に、大型設備や複数のドレン配管を集約する末端設置においては、確実な汚染空気の逆流防止が求められます。当社のフロートボール式『大口径ドレントラップ』は、特殊フロートボールの機能により、封水が切れた場合でも汚染空気の逆流を効果的に防止し、クリーンな製造環境の維持をサポートします。【活用シーン】・大型製造設備や複数のドレン配管を集約した末端設置・クリーンルーム内の空調機ドレン配管・衛生管理・環境管理が求められる製造エリア【導入の効果】・汚染空気の逆流防止によるクリーン環境の維持・防臭・防虫効果による衛生的な設備環境の確保・目視点検と容易なメンテナンスによる管理負担の軽減・安定した製造環境維持への貢献

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【半導体工場向け】吊り棚足場 OKスワイパー

光洋機械産業株式会社

半導体工場では、製造環境の清浄度を維持するために、微粒子の混入を極力抑える必要があります。高所での作業においては、足場の安定性と作業スペースの確保が、微粒子の発生を抑制し、作業効率を向上させる上で重要です。不適切な足場は、作業員の安全を脅かすだけでなく、微粒子の発生源となり、製品の品質を損なう可能性があります。吊り棚足場 OKスワイパーは、安全性、施工性、作業空間に優れ、半導体工場における高所作業の課題を解決します。【活用シーン】・プラント設備の点検【導入の効果】・床先行での施工による高い安全性・広い作業空間による作業効率の向上・アルミ足場板などの活用によるコスト削減

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【半導体工場向け】非溶接型耐震サポート

株式会社日本キャリアサーチ

半導体工場のクリーンルーム維持においては、厳格な環境管理が求められます。特に、設備メンテナンスや増設工事の際、火気の使用は厳しく制限されており、安全かつクリーンな施工環境の確保が不可欠です。従来の溶接作業は火災リスクや粉塵の発生を伴うため、クリーンルーム内での作業には大きな制約がありました。当社の非溶接型耐震サポートは、火気を使用せずにケーブルトレイや配管を強固に支持できるため、クリーンルームの環境を維持しながら効率的な耐震補強を実現します。【活用シーン】・クリーンルーム内での配管・ケーブルトレイの増設・補強・火気使用が制限される精密機器エリアの耐震対策・短期間での設備メンテナンスやレイアウト変更【導入の効果】・火気を使用しないため、クリーンルームの環境を汚染せず安全に施工可能・溶接工程を省くことで、施工時間とコストの低減に貢献・特別な資格が不要なため、一般的な工具で効率的な施工が可能

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【半導体製造向け】極薄破損止・極薄チャンネル

スリーナイン島野株式会社

半導体製造業界では、クリーンルーム内での精密機器や部品の保護が重要です。特に、限られたスペースでの保護対策は、効率的な製造プロセスを維持するために不可欠です。異物混入や破損を防ぎ、製品の品質を確保する必要があります。当社の極薄破損止・極薄チャンネルは、わずか0.3mmの厚さで、クリーンルーム内の機器や部品を保護します。【活用シーン】・クリーンルーム内の精密機器の保護・半導体製造装置の部品保護・限られたスペースでの保護対策【導入の効果】・省スペースでの保護を実現・異物混入や破損のリスクを低減・製品の品質向上に貢献

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【電子部品向け】RO純水製造装置スキッド型

株式会社トップウォーターシステムズ

電子部品業界、特に精密部品の製造においては、洗浄や精密加工に用いる水の品質が製品の品質を左右します。不純物の混入は、製品の性能低下や不良品の発生につながるため、高純度の水が不可欠です。RO純水製造装置スキッド型は、限られたスペースを有効活用し、高品質なRO純水を安定供給することで、電子部品製造における品質管理をサポートします。【活用シーン】・電子部品の洗浄工程・精密部品の製造工程・半導体製造【導入の効果】・高品質なRO純水による製品品質の向上・省スペース化による製造効率の改善・安定した純水供給による歩留まり向上

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ノンシリコン毛材『芯鞘アクリル導電繊維コアブリットB』

野宮産業株式会社

『芯鞘アクリル導電繊維コアブリットB』は、特殊製法で毛材の絡みが無いノンシリコン毛材です。高い導電性があるので、ブラッシングにて静電気の発生を抑え、コロナ放電などによる除電も行います。また、芯部分に導電性を持たせているため、導電物質の脱落による導電性の低下やコンタミの混入がほとんどありません。【特長】 ■ブラッシングにて静電気の発生を抑える ■コロナ放電などによる除電も行う ■導電物質の脱落による導電性の低下やコンタミの混入がほとんどない ■毛材の密集度が高く精密洗浄用に優れている ■アクリル特有の表面シワがブラッシング性能を高める ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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伝統箔

株式会社箔一

1万分の1〜2ｍｍの薄さ！純度99．99％の金箔です。【特長】 ◆叩き伸ばす製法により純度99．99％にしあげます。 ◆薄さ1万分の1〜2ｍｍ ◆約2ｇの金箔から畳一畳分の極限にまで伸ばすことができます。 ■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□ ＝＝＝＝＝詳細はお問い合わせください＝＝＝＝＝

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未来工業　ミラメッシュ（直線ラック）

未来工業株式会社

【特長】 ■ラックを現場に合わせて加工可能 ■だから急な電路変更やイレギュラーな現場でもラクラク対応 ■インテリアを感じさせる美しいワイヤーフレーム。 ■ホコリがたまりにくいクリーン構造 ※詳細はダウンロードよりカタログをご覧ください。

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半導体業界向け！シロキサンフリーの補填剤で被害を抑制！

太平化成株式会社

シロキサンフリーペースト状シール材『HVF-1』はシロキサン含有量が5μｍ以下なので、シロキサンによる被害を抑制します。シロキサンによる「ウェハー汚染」や「接点障害」、「金属部の腐食」、「化学反応による異物の発生」、「露光装置レンズの汚れ」を抑制することで、クリーンルーム内部の隙間埋めや、半導体製造装置内部の目地止めに利用可能です。【特長】 ■酸とアルカリ両方の薬品に耐性有り ■常温で自然乾燥 ■シリコーンを含んでいないフッ素ゴムが主原料　など ※無料サンプル進呈いたします。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

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ガラスコーティング剤『ハイパーラップ』

モリ印刷株式会社

『ハイパーラップ』は、防弾ガラスの製造工程から誕生した有機物ゼロ・純国産・無機質100％のガラスコート剤です。主要成分の「ケイ素化合物」を空気中の水分と反応させることにより、 1回の塗布で約800nmの被膜が6層、合計3回の施工で最終18層の石垣状の完全なガラス被膜（SiO2）が形成されます。まったく新しいタイプの「衝撃吸収型ガラスコート」として、硬度9H以上を保ちながら表面を保護するのはもちろんのこと、ガラスコーティングした物を美しく保ち、簡単なお手入れで美しさを再生・継続することができます。【特長】 ■抗菌効果 ■超親水効果 ■画面がクリア ■最高クラスの硬度9H ■防指紋効果 ■タッチが滑らか　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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耐プラズマ性OリングフロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)

桜シール株式会社

優秀な耐プラズマ性を有しながらコスト優位性の高い特殊材質です。配合剤を使用していないことから低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器などのドライプロセスに於いて、優秀な耐プラズマ性を発揮します。ノンフィラータイプの耐熱パーフロ材質「フロロパワーFFN（FFKM-耐プラズマ）」の下位互換として有効です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポートさせて頂きます。＊パーフロなどを含むフッ素ゴム各種は、桜シール株式会社が最も得意としている材質です。＊ Oリング以外の形状にも対応いたします。

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圧力トランスミッタ『ZT11』

長野計器株式会社

『ZT11』は、蒸着形半導体歪ゲージを用いた検出部と内蔵の電子回路で、圧力を電気信号に変換し、伝送する半導体産業用の圧力トランスミッタです。 SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、気密性、長期安定性、信頼性に優れています。これまでの圧力トランスミッタに対し、小形、軽量化(当社比)を実現、 EP・GPグレ－ドを標準とし、オプションとしてUCグレ－ドにも対応します。【特長】 ■小形、軽量化を実現 ■SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接 ■Co-Ni系合金はオプション対応可能(UCグレード) ■IP67の防塵/防水性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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4価錫除去ろ過システム『E-PPシリーズ』

品川産業支援交流施設｜SHIP

『E-PPシリーズ』は、錫めっき浴から利用可能な2価錫を残し、反応性生物である不要な4価の錫を連続的かつ選択的に除去するろ過システムです。 4価の錫を連続的に除去することで、めんどうな沈降作業実施間隔の長期化を実現連続的に除去出来るので、製品品質が安定構造は従来式のマグネットポンプとバッグフィルターの組合せを応用したもので、4価スズのスラッジのみを正常に除去可能です。【特長】 ■スラッジ除去に起因する休止時間なし ■沈降作業実施間隔の長期化 ■安定した低4価錫濃度により2価錫の損失減少 ■可溶性および不溶性アノードの両方でMSAと添加剤の消費量を削減 ■低4価錫濃度により得られるめっき品質向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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純水

タイキ薬品工業株式会社

【カテゴリー】化成品、電子・金属、食品、医療・衛生【特長】 ■伝導率1.5μS/cm以下 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フッ素成膜『CS1』

株式会社NAZCA

『CS1』は、特殊な溶液を染み込ませやシートで基板を拭くことにより、基盤が自分自身で表面にフッ素の結晶を生み出すフッ素成膜です。自己組織化法による成膜は化学反応による結合のため耐久性に優れます。また、原子・分子レベルの単層でバリアが出来るため、誰でも簡単に均一なフッ素膜を成膜できます。【特長】 ■汚れがつきにくい ■汚れが落ちやすい ■素早く簡単にできるフッ素成膜 ■タッチパネルの操作性にほとんど影響しない ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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スクリュー式ドライ真空ポンプ　TDシリーズ

大晃機械工業株式会社

コストパフォーマンスにすぐれたドライ真空ポンプシリーズ。

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半導体工場専門　配管工事サービス

大輝工業株式会社

当社では、職場携帯電話や自動車等､生活に欠かせない半導体を作る工場の配管工事を取り扱っております。製造から取付けまで一連の作業に対応。また、金属の加工業務も手掛けており、曲げ加工や切断から、 Tig溶接や自動溶接などの溶接作業の請負もいたします。ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。【対応工事(一部)】 ■半導体向け配管 ■医療ガス配管 ■ガス配管 ■真空配管 ■溶接工事 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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ベローズシール微量流量調整バルブ

マツヤ産業株式会社

BMNシリーズベローズシール微量流量調整バルブは、半導体製造プロセスにおいて不可欠な高純度ガス用で、高信頼・高耐久性にお応えできるベローズシールバルブです。【特徴】 ○精密ニードルによるすぐれた流量特性、マイクロメーターハンドルによる高精度な繰返し流量調整など、高い技術力と経験でお客様へ流体・用途別の製品をご提供いたします。 ●その他の機能や詳細については、カタログをダウンロードしてください。

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気密窓『TW-WRI22-ALQ』

株式会社ニッシン

気密窓『TW-WRI22-ALQ』は、導波管と負荷の間に挿入することで減圧負荷へのマイクロ波機器接続を可能にします。【特長】 ■減圧負荷への接続を可能に ■真空度1Paまで対応 ■負荷側から導波管内へのガス等の侵入を防止 ■温度センサ付着可(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【課題解決事例】激しい振動による回転ゆるみとガスによる錆びの防止

池田金属工業株式会社

半導体製造装置メーカーへ『インコネルロックリコイル』を提案した事例をご紹介いたします。研磨工程で支えていたウエハーが落下して割れてしまい、さらに部品を回収したところ、めねじに挿入しているワイヤーインサートに錆が発生していました。提案後、施策を経て量産採用され、数年経過しましたが、いまだゆるみや錆は発生しておりません。【事例概要】 ■課題・研磨工程で支えていたウエハーが落下して割れてしまった・めねじに挿入しているワイヤーインサートに錆が発生していた ■課題解決の要件・回転ゆるみに対して効果的な対策であること・耐薬品性に優れた材質であること ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ベローズシールバルブ

マツヤ産業株式会社

CVLシリーズベローズシールバルブは、半導体製造プロセスにおいて不可欠な高純度ガス用で、高信頼・高耐久性にお応えできるベローズシールバルブです。【特徴】 ○信頼性の高い精密なメタル成型ベローズ、コンパクトアクチェターのＡｉｒ作動弁など、高い技術力と経験でお客様へ流体・用途別の製品をご提供いたします。 ●その他の機能や詳細については、カタログをダウンロードしてください。

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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

株式会社ハイブリッジ

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：

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NuPure ガス精製器『Eliminator CA』

株式会社エムアイティ

『Eliminator CA』は、室温での操作でガス不純物をSub-ppbレベルまで低減させる NuPure社製ガス精製器です。不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム、クリプトン、ネオン、キセノン）から、 H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHCなどを1ppb未満レベルまで除去します。標準サイズで0～2500slpmの流量範囲の製品をラインアップしております。【特長】 ■1ppb以下への不純物の除去 ■ヒーター・電源不要 ■室温動作（RT） ■ハウジング 316L SS（

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フッ素樹脂コーティングクリモトＳＵＳシーム管

ヤマトガワ株式会社

【特長】 ■良好な耐薬品性と耐熱性 ■最適な耐透過性 ■卓越した難燃性 ■良好な表面特性 ■表面平坦性 ■純度 ※耐薬品性等、詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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大和工業株式会社　会社案内

大和工業株式会社

大和工業はプラスチックの特殊加工技術により最先端産業を支え続けています。半導体をはじめとする電子部品の製造工程でのケミカルプロセス『化学的な処理工程』で使用する特殊な装置を製造しています。国内、国外問わず、全世界で進化し続ける産業とともに製造装置も進化をして行かねばならない使命があります。プラスチック特殊加工という物作りを通じ、常に先を見据えて価値、ニーズを創造してまいります。【掲載内容】 ■会社概要 ■関連企業 ■主な取扱材質・切削加工例 ■商品一覧 ■自社設計製品一覧 ■製造サービス一覧 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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『RAMフォース』で従来のスパッタリング技術の課題を解決！

京浜ラムテック株式会社

『RAMフォース』は、プラスティックフィルム上へ光学膜やメタル等の多層成膜をすることができるロールtoロールスパッタリング装置です。 RAMカソード（低ダメージカソード）の性能評価ばかりでなく、ラボの条件下で自分のアプリケーションをテストし、パイロットラインから量産ラインへと展開することができます。【特長】 ■特許取得 ■基板へのダメージを60%以上低減 ※従来の平板式スパッタリングとRAMカソードとの比較 ■成膜速度を3倍以上向上 ※従来の対向式スパッタリングとRAMカソードとの比較 ■京浜ラムテックの独自技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体関連製品　「精密加工品/角槽など」

関西理工株式会社

半導体関連製品「精密加工品/角槽など」は、半導体製造装置の中での使用に対応するためミクロンレベルの超精密加工を行った部品や半導体製造装置で使用される高純度薬液の貯蔵や混合に適したシングル槽、半導体製造装置内でのオーバーフロー洗浄用に適したダブル槽があります。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

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結露防止器　超小型タイプ　型式DP-M20-W

株式会社西日本工芸社

結露防止器　DPマイクロ　型式DP-M20-Wの特徴について。１、Ｍ２０の取り付け穴に２重パッキン採用２、ＤＰマイクロ１個で盤５リットルマデ対応可能３、IoT、防災用センサ、カメラ、記録、通信ユニット収納箱４、自動機械、盤内ノ部分的な高湿気、結露対策５、高湿気排出だけで無く、外部よりの湿気侵入抑制６、電源不用、フリーメンテナンスで圧倒的な使いやすさ。

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【減圧脱水乾燥装置導入事例】半導体部品製造業　K社様

東栄産業株式会社

『減圧脱水乾燥装置』を導入した、長野県にある半導体部品製造業の K社様の事例をご紹介します。同社では、以前はマイクロフロー→フィルタープレス→ディスクドライヤーで処理していましたが、前期工程を減1台にまとめることで、処理の簡素化と大幅なコスト削減を実現。導入後、釜残渣の有価引取を模索しており、実現すればさらに導入効果が大きくなる見込みとなっております。【事例概要】 ■お客様名：K社様 ■所在地：長野県 ■業種：半導体部品製造 ■導入機種：G 500型 ■導入時期：2014年10月 ■処理廃液：メッキ工程廃液 ■処理量：10000L/日（24H/日稼動） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体向け　ソリューション提案

株式会社テクネ計測

半導体製造プロセスにおいて、水分および酸素の除去は大きな課題です。当社の露点計や温湿度計、酸素濃度計は半導体の製造、搬送、検査等様々な工程で使用されています。またドライエアーにおける除湿度や窒素ガス・アルゴンガス・ヘリウムガス・水素ガス等のガス純度測定のためにも使用されています。水分計測では、最低-100℃露点まで測定可能なTK-100静電容量式露点計(酸化アルミタイプ)をはじめとして、最低-60℃露点までのTE-660露点計(高分子タイプ)、-95℃～+99℃露点まで測定でき高精度が必要な場合や露点計の基準器として使用されているMBW鏡面冷却式(ミラー式)露点計、そして湿度の領域では簡易型のEE060、高温・高湿下での測定を主とする結露防止環境下での対策が施されたEE33温湿度計などが主に使用されています。酸素濃度計測では、水素置換による酸素除去の際には2001LCガルバニ電池式酸素濃度計でPPMまで、水素が存在しない状況ではModel 4100ジルコニア式酸素濃度計でPPBまでの分析を行うなど、様々なシーンで使用されます。また、クリーンルームや製造装置内の微風計測に風速計も活躍しています。

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包装用フィルム『シリコンウェーハケース包装用ラミネート袋』

信越フィルム株式会社

『シリコンウェーハケース包装用ラミネート袋』は、製品自体のクリーン度管理にも細心の注意をはらって製造されているラミネート袋です。透明ラミネート品、アルミラミネート品及び透明バリアラミネート品の 3種類をご用意。各種ラミネート袋の素材は、材質の異なるフィルムを複数ラミネートした構造となっており、ガスバリヤ性に優れています。被包装物の汚染を防止するため、各種ラミネート袋の最内面となるポリエチレン（PE）は、厳選されたPEを使用しています。【特長】 ■クリーン包装袋の製袋、検品および1次梱包は、クラス10000の　クリーン度環境下で実施 ■形状はガゼットタイプ ■三方シールの平袋タイプもご要望に応じて対応 ■ラミネート方法は押し出しまたは、ドライ（接着剤塗布）の選択が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【データセンター向け】ヒートシャット・ビニールシート下部用ブラシ

株式会社バーテック

『ビニールシート下部用ブラシ』は、バーテックのデータセンター向け製品です。データセンターにおけるビニールシートを用いたキャッピングへ【特長】 ■両面テープで簡単に取付可能 ■気圧差により発生するめくれをブラシの重量で防ぐ ■空気の回り込みを防ぎ、ブラシで空気の流れをコントロールできる ■RoHS指令(2011/65/EU)、RoHS指令(〔EU〕2015/863)対応 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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1流体ノズルウォーターナイフ WK型

株式会社共立合金製作所 / 総代理店　エバーロイ商事株式会社

極低圧の 0.002 MPaから 0.01 MPa (最大許容圧力 0.1 MPa)まで切れ目のないラミナー状の噴射が可能なノズルです。スリット幅：100～3000mm、スリット厚：0.15～0.3mmまで用途、製品幅に応じ幅広く対応が可能です。 ★デモ機貸出サービス実施中★ ウォーターナイフのデモ機貸出サービスを実施中です。導入前の性能確認・仕様決定のご参考としてご利用ください。詳しくは下記フォームよりお問い合わせください！

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電子関連向け製品・工事

井阪産業株式会社

井阪産業株式会社では、『電子関連向け製品・工事』を承っております。熟練のスタッフが自社工場でポンプのオーバーホール・洗浄(重金属可)を行う各種ポンプO/H・洗浄をはじめ、電子工業薬品については、高純度・機能性薬品、洗浄液、レジスト等幅広くご提供。また、高圧ガス・真空・冷却水・排気、薬液配管等、装置立上げに関わる付帯工事一式を行います。【取り扱い製品(一部)】 ■各種ポンプ O/H・洗浄 ■電子工業薬品 ■真空関連製品・消耗品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社オーク製作所　紫外線応用製品のご案内

株式会社オーク製作所

株式会社オーク製作所では、半導体素子、液晶基板、電気回路基板および各種素材の表面処理工程でランプの各波長による効果を活かした様々な処理装置を設計・開発しております。 UVを照射して有機汚染を非接触で除去するUVドライプロセッサーや紫外線硬化樹脂によるUVインクの乾燥などに適したUV-LEDスポット照射装置などお客様の用途に合わせてお選びいただけます。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。【ラインアップ】 ■UVドライプロセッサー ■UV-LEDスポット照射装置 ■小型灯具シリーズ ■FRP硬化用UV灯具 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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熱源「加熱用ハロゲンランプ」

岩崎電気株式会社

赤外線ハロゲンランプは近赤外線域にピーク波長を持つ、極めて高効率な熱源です。半導体製造の他、各種成膜工程の熱源として使用されます。半導体製造工程での使用に適した制御性の良いクリーンな熱源です。【特徴】 ○高効率・省エネ ○素早いレスポンス詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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高周波超音波洗浄処理システム

光進電気工業株式会社

当製品は、微細凹凸部のダストを超音波で除去する高周波超音波洗浄処理システムです。半導体ウェハやマスクなどの洗浄に使用いただけます。ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式、その他の洗浄処理システムをラインアップしています。【特長】 ■微細凹凸部のダストを超音波で除去 ■400kHz～5MHzのトランスデューサを備える ■最小0.1μmからのパーティクルを除去 ■ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式などをラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【半導体分野実績】フッ素樹脂コーティング（PTFE・PFA）

株式会社淀川ACC

【半導体分野へのコーティング実績のご紹介】 ◆使用コーティング塗料：PTFE・PFA塗料 ◆対象と用途：・ウェハー研磨用金型…焼き付き防止・ウェハー搬送用（導電性）吸着ハンド…スベリ・非粘着・ピン（製造ライン）…スベリ・吸着パッド（製造ライン）…非粘着・筐体カバー…耐薬品・シリコンシート…スベリ当社では、創業以来様々な業界のコーティングを手掛け、5万件を超える膨大な実績を元に、多種変量での対応はもちろん、最小5mmの小物から最大4000mmの大物まで、さまざまな金属・樹脂・ゴムといった母材に対応いたします。コーティングのことなら淀川ACCへお任せください！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ケミカルフィルタ

立石フィルター株式会社

当社で取り扱う、各種ガスに対応する「ケミカルフィルタ」をご紹介します。活性炭(粒子状活性炭)を基材としたろ材とイオン交換樹脂を使用したろ材を保有しており、外気処理、循環処理、排気系等様々な用途で適切なフィルタを提案。半導体・液晶工場で問題となっている硫黄酸化物等の酸性ガス、アンモニア等のアルカリガス、フタル酸エステル(例えばDOP)等の有機ガス等各種ガスの除去が可能です【特長】 ■品揃え豊富 ■各種ガスに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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工業製品用　縦型脱気シーラー・真空包装機　ガス置換包装機

株式会社増井技研

シール長が450mmまで可能な脱気シーラーです。立体的・水物・粉物などの包装に適した構造で、袋を立てたまま上部でシールするガス充填・ガス置換機能付きのガス置換包装機です。クリーンルーム仕様、両面加熱仕様もございます。【特長】 ●袋を立てたままシールできるので、専用ボックスに入れたままでも脱気包装できます。 ●ガス置換・ガス機能付き ●タッチパネル仕様でワーク登録も可能 ●ステンレス製でいつまでもきれいで長持ち ●クリーンルーム仕様・ケミカル仕様もあり ●卓上型の真空・脱気シーラーもあり ●オプションにてコロコン対応品もあり ●他シリーズで下記タイプもご用意しております。・シール長が600mm,800mm,1000mm。・クリーンルーム仕様、両面加熱仕様。・テーブルが電動で上下するKtタイプ。

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フッ素対策コーティング『AS-Fコーティング』

浅井産業株式会社

『AS-Fコーティング』は、離型・耐食・凝着防止に特化した独自のコーティングです。特にハロゲン系ガスに対する優れた耐食性がメリットで、半導体製造工程で使われる製品に好適。すでに多くの治具や金型に採用されています。また、Hv1200の膜硬度をもつほか、ハスの葉のような表面構造で離型性や摺動摩耗性にも優れています。【特長】 ■フッ素に反応しない特殊ターゲットを使用 ■結晶のないアモルファス組織で、腐食成分の浸透を防止 ■耐食性の高い成分をPVD製法で成膜することで高い密着性を確保 ※詳しくはダウンロードボタンより資料をご覧ください。 ★「試作無料キャンペーン」を実施中。（申し込み期限：2021年12月6日）　お問い合わせフォームよりお気軽にお申し込みください。

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オゾン分解用フィルター/AKH

神鋼アクテック株式会社

■非貴金属系触媒をセラミック系ハニカム上に形成することで　高濃度(概ね10PPM以上)のオゾン分解に適応いたします。 ■高いオゾン分解性能を有しています。 ■高度な成型技術をもとに、多様な形状/寸法に対応可能です。

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ジャケットヒーターシステム

株式会社東京興業貿易商会

半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター【特長】・200℃までの高温まで加熱可能・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます・半導体装置用のクリーンルーム用途を目的とした低発塵性タイプを用意・フレキシブルで脱着性、フィット感がよい・CEマーク、UL認定有り【専用の温調 & モニターシステム】・通信機能で各ジャケットヒーターの温度制御とモニターします・各ジャケット毎のPID制御でさらに温度均一性を高めます・異常箇所はすぐ認知・１台でジャケットヒーター40ヶ分をモニター可能・コンパクトで場所をとりません・温度制御線、電源供給線、モニター費を低減します ■導入メリット・ダウンタイムの削減・洗浄費用を低減・機器への接触事故を防止・副生成物の飛散を抑え、作業環境を改善

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表面処理技術『シュウ酸硬質アルマイト』

植田アルマイト工業株式会社

『シュウ酸硬質アルマイト』は、皮膜内に硫黄分を含まない皮膜になり、半導体製造装置等において妨害物質の放出等が発生しにくい硬質アルマイト処理です。真空下で使用しても、放出ガスの発生量は硫酸皮膜と比較して減少します。硫酸硬質アルマイトと比較して、表面粗さは抑制することが可能。高い耐候性を有し、屋外での使用においても色調変化は殆ど見受けられません。自然発色でゴールド色の仕上がりとなり、美しい外観を与え、食器関係（家庭用の鍋ややかん）にも使用していることから、安全にご使用いただくことができます。【特長】 ■クリーンな皮膜 ■放出ガスが少ない ■高い耐候性 ■皮膜の安全性 ■美しい外観詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体製造用ウルトラフローSC クイック・カップリング

セインジャパン株式会社

セインのウルトラフローSCは、ネジ接続またはダブルフェルールチューブフィッティング付きのウルトラフロー特別バージョンです。半導体製造工程で使用される液冷システム向けに特別設計されたステンレス・スチール製です。フラット・フェースデザインのため付け外しの際に液だれがなく、クリーン環境汚濁防止、高い地球温暖化係数を持つ液体冷媒の漏出防止に有効です。また、低圧力損失かつ高い流量特性により、システム全体のエネルギー効率向上にも貢献します。

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フィルター製品

TAKUMI WORKS

【取扱製品(一部)】 ■ケミカルフィルター (電子部品工場向け) ■プレフィルター(不織布) ■中性能フィルター ■ガラス繊維フィルター ■高性能HEPAフィルター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体・FPD製造部品　精密洗浄サービス

株式会社サードプラン

当社は、半導体・FPDの製造に付属する各種部品の精密洗浄を行っています。精密洗浄技術では、目には見えない汚れをきめ細かく除去し、お客様の半導体や液晶などの製造装置の長期安定稼働を提供しています。また、新設真空装置向け直動部品洗浄も承っており、付着膜剥離から表面処理、精密洗浄、乾燥、品質検査、梱包までを一貫で対応します。ご要望の際はお気軽にご相談ください。【サービス】 ■半導体・FPD等精密洗浄 ■真空装置向け直動部品洗浄 ■長期安定稼働サポート ※詳細はお問い合わせください。

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半導体用圧力調整器『ER-1HL・ER-1LL』

ヤマト産業株式会社

『ER-1HL・ER-1LL』は、半導体用用途にお使いいただける圧力調整器です。製造にあたっては、高次元のクリーン度・高気密性・高信頼性を満足するために「クリーンルーム内組立」「高性能洗浄」「全数 He リークテスト」を実施しています。 Heリークテストは、SEMI F01の方法で行い、基準を満たしております。【ER-1HL 仕様（抜粋）】 ■一次測圧力（MPa）：2～15 ■二次側使用圧力（MPa）：0.1～0.99 ■使用温度（℃）：-5～40（設計温度-10～75℃） ■口径：1/4 ■重量（kg）：1.3 ■内臓フィルター濾過度：5μm 　 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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倉庫ご利用実績ケース３＜精密機器の結露が心配なお客様＞

株式会社サン・エキスプレス

サン・エキスプレスは、精密機器の物流だけを専門に60余年。当社の倉庫は、東京都大田区、神奈川県藤沢市、大阪府東大阪市に立地しており、いずれの倉庫も国内に数少ない空調設備を完備。精密機器保管専用倉庫として、シャッターの開閉はマメに行い、2重シャッターを施した施設も用意。常に庫内温度を一定に保ち、マメに清掃を行い清潔にすることを心掛けております。医療機器、理化学機器やレンズを備えた検査機器をお取り扱いの場合など、空調設備を必要とされているお客様からご好評を頂いております。「信頼のおける運送会社を探したい」「時間指定で運送してほしい」「電子機器なので保管中の結露が心配」「埃や塵の入らない倉庫が必要」など… 精密機器の物流にお困りの方、お気軽にお問合せください！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

課題

微細粒子による欠陥発生

製造環境や材料中に存在する数ナノメートルから数マイクロメートルの微細な粒子が、成膜中に堆積し、電気的特性の低下や短絡などの欠陥を引き起こします。

プロセスガス中の不純物

成膜に使用されるプロセスガスに含まれる微量の不純物や水分が、成膜膜質を劣化させ、異物として機能する可能性があります。

装置内部からのパーティクル発生

成膜装置のチャンバー内壁や消耗部品からの剥離、摩耗によって発生するパーティクルが、成膜面に付着し、欠陥の原因となります。

オペレーションミスによる汚染

作業員の衣服や手指、搬送中のウェハへの接触など、人的要因による異物混入リスクが存在します。

対策

クリーンルーム環境の維持管理

高度な清浄度を保つクリーンルームの設計、空調管理、定期的な清掃、入退室管理を徹底し、外部からの異物侵入を防ぎます。

高純度材料・ガスの使用

成膜に使用する材料やプロセスガスを、厳格な品質管理のもと、極めて高い純度で供給・管理することで、ガス由来の異物混入を排除します。

装置の最適化と保守

成膜装置の設計段階からパーティクル発生を抑制する構造を採用し、定期的な点検、部品交換、清掃を計画的に実施します。

自動化と遠隔操作の導入

ウェハ搬送やプロセス操作の自動化、遠隔監視・操作を推進することで、人的接触による異物混入のリスクを最小限に抑えます。

対策に役立つ製品例

超清浄度フィルター

クリーンルームの空調システムやプロセスガス供給ラインに組み込まれ、微細な粒子を効率的に除去し、清浄な環境を提供します。

高純度ガス供給システム

ガスボンベから成膜装置までの供給経路全体で、不純物の混入を防ぎ、安定した高純度ガスを供給するシステムです。

自動ウェハ搬送ロボット

クリーンルーム内でのウェハの移動を自動化し、人の手による接触や、それに伴う異物付着のリスクを排除します。

インラインパーティクルカウンター

成膜プロセス中にリアルタイムでパーティクル数を計測し、異常を早期に検知して、問題発生時の迅速な対応を可能にします。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

薄膜形成における異物混入の防止とは？

各社の製品

薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

​課題

微細粒子による欠陥発生

プロセスガス中の不純物

装置内部からのパーティクル発生

オペレーションミスによる汚染

​対策

クリーンルーム環境の維持管理

高純度材料・ガスの使用

装置の最適化と保守

自動化と遠隔操作の導入

​対策に役立つ製品例

超清浄度フィルター

高純度ガス供給システム

自動ウェハ搬送ロボット

インラインパーティクルカウンター

課題

対策

対策に役立つ製品例