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異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

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薄膜形成における異物混入の防止とは？

半導体製造における薄膜形成プロセスでは、微細な異物混入が製品の性能や歩留まりに深刻な影響を与えます。この異物混入を徹底的に排除し、高品質な半導体デバイスを安定的に生産するための技術や管理体制全般を指します。

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【半導体製造向け】極薄破損止・極薄チャンネル

スリーナイン島野株式会社

半導体製造業界では、クリーンルーム内での精密機器や部品の保護が重要です。特に、限られたスペースでの保護対策は、効率的な製造プロセスを維持するために不可欠です。異物混入や破損を防ぎ、製品の品質を確保する必要があります。当社の極薄破損止・極薄チャンネルは、わずか0.3mmの厚さで、クリーンルーム内の機器や部品を保護します。【活用シーン】・クリーンルーム内の精密機器の保護・半導体製造装置の部品保護・限られたスペースでの保護対策【導入の効果】・省スペースでの保護を実現・異物混入や破損のリスクを低減・製品の品質向上に貢献

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【電子部品向け】RO純水製造装置スキッド型

株式会社トップウォーターシステムズ

電子部品業界、特に精密部品の製造においては、洗浄や精密加工に用いる水の品質が製品の品質を左右します。不純物の混入は、製品の性能低下や不良品の発生につながるため、高純度の水が不可欠です。RO純水製造装置スキッド型は、限られたスペースを有効活用し、高品質なRO純水を安定供給することで、電子部品製造における品質管理をサポートします。【活用シーン】・電子部品の洗浄工程・精密部品の製造工程・半導体製造【導入の効果】・高品質なRO純水による製品品質の向上・省スペース化による製造効率の改善・安定した純水供給による歩留まり向上

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【半導体工場向け】大口径ドレントラップ

コンドーFRP工業株式会社

半導体工場では、製品品質の維持のために、クリーンな製造環境の確保が重要です。ドレン配管からの汚染空気の逆流は、クリーンルーム環境への影響や製造設備周辺の衛生リスクにつながる可能性があります。特に、大型設備や複数のドレン配管を集約する末端設置においては、確実な汚染空気の逆流防止が求められます。当社のフロートボール式『大口径ドレントラップ』は、特殊フロートボールの機能により、封水が切れた場合でも汚染空気の逆流を効果的に防止し、クリーンな製造環境の維持をサポートします。【活用シーン】・大型製造設備や複数のドレン配管を集約した末端設置・クリーンルーム内の空調機ドレン配管・衛生管理・環境管理が求められる製造エリア【導入の効果】・汚染空気の逆流防止によるクリーン環境の維持・防臭・防虫効果による衛生的な設備環境の確保・目視点検と容易なメンテナンスによる管理負担の軽減・安定した製造環境維持への貢献

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【半導体工場向け】吊り棚足場 OKスワイパー

光洋機械産業株式会社

半導体工場では、製造環境の清浄度を維持するために、微粒子の混入を極力抑える必要があります。高所での作業においては、足場の安定性と作業スペースの確保が、微粒子の発生を抑制し、作業効率を向上させる上で重要です。不適切な足場は、作業員の安全を脅かすだけでなく、微粒子の発生源となり、製品の品質を損なう可能性があります。吊り棚足場 OKスワイパーは、安全性、施工性、作業空間に優れ、半導体工場における高所作業の課題を解決します。【活用シーン】・プラント設備の点検【導入の効果】・床先行での施工による高い安全性・広い作業空間による作業効率の向上・アルミ足場板などの活用によるコスト削減

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高性能エアフィルタ＜ミニプリーツ形＞

立石フィルター株式会社

当社で取り扱っている、「高性能エアフィルタ」＜ミニプリーツ形＞をご紹介いたします。捕集率と圧力損失、低発ガスフィルタもラインアップに加え、多様なご要求にお応え可能。また、縦寸法の最大は1220mmを1枚ろ材で製作可能で、ご要望の縦・横寸法に対応します。ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■品揃え豊富 ■多様な寸法に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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オゾン分解用フィルター/AKH

神鋼アクテック株式会社

■非貴金属系触媒をセラミック系ハニカム上に形成することで　高濃度(概ね10PPM以上)のオゾン分解に適応いたします。 ■高いオゾン分解性能を有しています。 ■高度な成型技術をもとに、多様な形状/寸法に対応可能です。

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フッ素樹脂熱収縮チューブ（FEP）

株式会社福電

『フッ素樹脂熱収縮チューブ（FEP）』は、耐薬品性、耐候性、不燃性、電気的特性に優れた、フッ素樹脂熱収縮チューブです。【ラインアップ】 ■ジュンフロンNF（FEP熱収縮チューブ） ■ジュンフロンNFL（FEP極細熱収縮チューブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体製造用ウルトラフローSC クイック・カップリング

セインジャパン株式会社

セインのウルトラフローSCは、ネジ接続またはダブルフェルールチューブフィッティング付きのウルトラフロー特別バージョンです。半導体製造工程で使用される液冷システム向けに特別設計されたステンレス・スチール製です。フラット・フェースデザインのため付け外しの際に液だれがなく、クリーン環境汚濁防止、高い地球温暖化係数を持つ液体冷媒の漏出防止に有効です。また、低圧力損失かつ高い流量特性により、システム全体のエネルギー効率向上にも貢献します。

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1流体ノズルウォーターナイフ WK型

株式会社共立合金製作所 / 総代理店　エバーロイ商事株式会社

極低圧の 0.002 MPaから 0.01 MPa (最大許容圧力 0.1 MPa)まで切れ目のないラミナー状の噴射が可能なノズルです。スリット幅：100～3000mm、スリット厚：0.15～0.3mmまで用途、製品幅に応じ幅広く対応が可能です。 ★デモ機貸出サービス実施中★ ウォーターナイフのデモ機貸出サービスを実施中です。導入前の性能確認・仕様決定のご参考としてご利用ください。詳しくは下記フォームよりお問い合わせください！

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全固体電池/リチウムイオン電池電極材開発　　石川式撹拌擂潰機　

株式会社石川工場

【特長】・石川式撹拌擂潰機の特徴そのままに、コンパクト設計を実現。・ステンレス筐体採用により耐薬品性が向上し、実験室やクリーンルームでの使用用途が拡がる。・D18S, D20S, D22Sは杵先が2本あり、擂潰性能が向上。・卓上型のため、ドラフトチャンバーやグローブボックス内での使用が可能となり、有機溶剤等の擂潰も可能。・温度上昇を嫌う加工に適した処理【好適使用事例】・ボールミルのように高い処理エネルギーではなく、ナノケミカル、メカニカルアロイング処理に適した処理エネルギーを実現・グローブボックスを用いてアルゴンガス雰囲気内でのスラリー、ペースト、コロイドを分散、混練、粉砕。・ドラフトチャンバー内で溶剤を加えたスラリー、ペースト等の分散、混練時の濃縮作業で乳棒の撹拌効果と杵先の粉砕作業により均一な分散、混練処理を実現。

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ベローズシール微量流量調整バルブ

マツヤ産業株式会社

BMNシリーズベローズシール微量流量調整バルブは、半導体製造プロセスにおいて不可欠な高純度ガス用で、高信頼・高耐久性にお応えできるベローズシールバルブです。【特徴】 ○精密ニードルによるすぐれた流量特性、マイクロメーターハンドルによる高精度な繰返し流量調整など、高い技術力と経験でお客様へ流体・用途別の製品をご提供いたします。 ●その他の機能や詳細については、カタログをダウンロードしてください。

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フッ素成膜『CS1』

株式会社NAZCA

『CS1』は、特殊な溶液を染み込ませやシートで基板を拭くことにより、基盤が自分自身で表面にフッ素の結晶を生み出すフッ素成膜です。自己組織化法による成膜は化学反応による結合のため耐久性に優れます。また、原子・分子レベルの単層でバリアが出来るため、誰でも簡単に均一なフッ素膜を成膜できます。【特長】 ■汚れがつきにくい ■汚れが落ちやすい ■素早く簡単にできるフッ素成膜 ■タッチパネルの操作性にほとんど影響しない ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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大和工業株式会社　会社案内

大和工業株式会社

大和工業はプラスチックの特殊加工技術により最先端産業を支え続けています。半導体をはじめとする電子部品の製造工程でのケミカルプロセス『化学的な処理工程』で使用する特殊な装置を製造しています。国内、国外問わず、全世界で進化し続ける産業とともに製造装置も進化をして行かねばならない使命があります。プラスチック特殊加工という物作りを通じ、常に先を見据えて価値、ニーズを創造してまいります。【掲載内容】 ■会社概要 ■関連企業 ■主な取扱材質・切削加工例 ■商品一覧 ■自社設計製品一覧 ■製造サービス一覧 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【データセンター向け】ヒートシャット・ビニールシート下部用ブラシ

株式会社バーテック

『ビニールシート下部用ブラシ』は、バーテックのデータセンター向け製品です。データセンターにおけるビニールシートを用いたキャッピングへ【特長】 ■両面テープで簡単に取付可能 ■気圧差により発生するめくれをブラシの重量で防ぐ ■空気の回り込みを防ぎ、ブラシで空気の流れをコントロールできる ■RoHS指令(2011/65/EU)、RoHS指令(〔EU〕2015/863)対応 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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表面処理技術『シュウ酸硬質アルマイト』

植田アルマイト工業株式会社

『シュウ酸硬質アルマイト』は、皮膜内に硫黄分を含まない皮膜になり、半導体製造装置等において妨害物質の放出等が発生しにくい硬質アルマイト処理です。真空下で使用しても、放出ガスの発生量は硫酸皮膜と比較して減少します。硫酸硬質アルマイトと比較して、表面粗さは抑制することが可能。高い耐候性を有し、屋外での使用においても色調変化は殆ど見受けられません。自然発色でゴールド色の仕上がりとなり、美しい外観を与え、食器関係（家庭用の鍋ややかん）にも使用していることから、安全にご使用いただくことができます。【特長】 ■クリーンな皮膜 ■放出ガスが少ない ■高い耐候性 ■皮膜の安全性 ■美しい外観詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【半導体分野実績】フッ素樹脂コーティング（PTFE・PFA）

株式会社淀川ACC

【半導体分野へのコーティング実績のご紹介】 ◆使用コーティング塗料：PTFE・PFA塗料 ◆対象と用途：・ウェハー研磨用金型…焼き付き防止・ウェハー搬送用（導電性）吸着ハンド…スベリ・非粘着・ピン（製造ライン）…スベリ・吸着パッド（製造ライン）…非粘着・筐体カバー…耐薬品・シリコンシート…スベリ当社では、創業以来様々な業界のコーティングを手掛け、5万件を超える膨大な実績を元に、多種変量での対応はもちろん、最小5mmの小物から最大4000mmの大物まで、さまざまな金属・樹脂・ゴムといった母材に対応いたします。コーティングのことなら淀川ACCへお任せください！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体関連製品　「精密加工品/角槽など」

関西理工株式会社

半導体関連製品「精密加工品/角槽など」は、半導体製造装置の中での使用に対応するためミクロンレベルの超精密加工を行った部品や半導体製造装置で使用される高純度薬液の貯蔵や混合に適したシングル槽、半導体製造装置内でのオーバーフロー洗浄用に適したダブル槽があります。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

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高純度シリコン化合物から合成したシリカ粒子『ハイプレシカ』

宇部エクシモ株式会社

ハイプレシカは、高純度シリコン化合物から合成した微粒子です。硬く、耐荷重に優れたシリカ粒子や、軟らかく、デリケートな被着物に傷をつけない有機無機ハイブリッド粒子があります。ハイプレシカの特長は粒径が非常に良くそろっていること（単分散）、真球形状であること、きわめて高純度であることです。それらの特長を生かし、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のスペーサー（液晶材料の入るセルの厚みを均一にするギャップ保持材）として使用され、ＬＣＤを高精細化するのに不可欠な部材となっているほか、接着層厚み調整用スペーサー、高機能樹脂充填材（半導体封止材料用、他）、高機能フィルムコーティング用粒子等、多様な分野で使用されております。 ※詳しくはカタログをダウンロードして下さい。

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合成樹脂塗床『アートフロアー』防塵床シリーズ

中外商工株式会社

当カタログは、合成樹脂塗床『アートフロアー』防塵床シリーズのラインアップを掲載しています。耐薬品性の｢EPコート｣をはじめ、速乾性のある｢DSコート#100｣、浸透性・表面強化・低臭性が特長の｢シールエース｣などをご紹介しています。タイプやカラーバリエーションも豊富。施工環境にあわせて好適なタイプをお選びいただけます。【掲載製品】 ■EPコート ■EUコート ■EPコートFX ■EUコートFX ※詳しくはPDF資料をご覧いただくかお気軽にお問い合わせ下さい。

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クリーンヒーター「IRP型」

日本ヒーター株式会社

クリーンヒーター「IRP型」は、遠赤外線放射セラミックヒーターを組み合わせてユニット化した、サイズ・容量を選べるステンレスケース製パネル型ヒーターです。発塵の要素が無く、熱衝撃に強く耐冷熱サイクルに優れています。【仕様】 ○パネル１枚にセラミックヒーターエレメント電源電圧200V電力400W 　（100mm×200mm）を組み合わせて使用できる ○磁器（セラミック）に釉薬（遠赤外線放射セラミックス）をコーティング ○連続使用温度は５００度℃ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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ADK-φ130mmフィルタ専用大流量ハウジング

株式会社デオボス

・特長 ●200L/min. 以上の超大流量工程用。 ●フィルタのコストダウン。 ●低価格を実現。

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超高密度大気圧プラズマ　ToughPlasma　FPF20-GM

株式会社FUJI

FPF20-GMは一般的な大気圧プラズマの10倍以上の超高密度ラジカルを発生させることができる世界最高レベルの大気圧プラズマ装置です。各種パラメータは最適化されており、余計な調整は不要です。ボタン一つで簡単に世界最高レベルの大気圧プラズマをご利用できます。 CEマーク、METマークを取得しており、EU加盟国および北米での使用も可能です。接着不良、塗装剥がれ、表面汚れでお困りの際はお気軽にお問い合わせください。

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【粗大粒子を除去！】『分級加工』のご提案

キンセイマテック株式会社

電子部品に使用されるプラスチックでは機能性を向上させるフィラーの使用が必須ですが、現場からは下記のようなお困りごとが聞かれます。 ■粗粒により押出成形機のスクリーンで目づまりをおこしてしまう… ■材料の磁着鉄が除去できない… ■凝集があり分散できない… ■材料内に異物が混入していた… ■材料内の粗粒により、製品にムラが出てしまう… キンセイマテックでは、大きさの異なる粒体を分別する『分級加工』を行っております。数μmの粒体の中から100μm以上の粒体を除去できるため、原料の中にある異物・粗粒・介在物・磁着鉄を取り除くことが可能です。粗大粒子によるエラーにお困りの方は、ぜひご相談ください。 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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半導体・FPD製造部品　精密洗浄サービス

株式会社サードプラン

当社は、半導体・FPDの製造に付属する各種部品の精密洗浄を行っています。精密洗浄技術では、目には見えない汚れをきめ細かく除去し、お客様の半導体や液晶などの製造装置の長期安定稼働を提供しています。また、新設真空装置向け直動部品洗浄も承っており、付着膜剥離から表面処理、精密洗浄、乾燥、品質検査、梱包までを一貫で対応します。ご要望の際はお気軽にご相談ください。【サービス】 ■半導体・FPD等精密洗浄 ■真空装置向け直動部品洗浄 ■長期安定稼働サポート ※詳細はお問い合わせください。

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【CKD】プロセスガス用バルブ｢LGDシリーズ｣

トークシステム株式会社

生産方法の最適化により低コストを実現しました。半導体製造装置や工場配管等に使用が可能でプロセスガス・不活性ガスに適用してます。

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スクリュー式ドライ真空ポンプ　BEHシリーズ

大晃機械工業株式会社

大型機もシリーズに追加しました。

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ステンレス製配管継手　「RH継手」

株式会社リガルジョイント

ステンレス製配管継手「RH継手」は、半導体向けの水用、ガス用の装置組立、チラー配管に使用可能です。継手内面は切削仕上げしています。材質：ステンレスで耐食性に優れています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

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フィルター製品

TAKUMI WORKS

【取扱製品(一部)】 ■ケミカルフィルター (電子部品工場向け) ■プレフィルター(不織布) ■中性能フィルター ■ガラス繊維フィルター ■高性能HEPAフィルター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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熱源「加熱用ハロゲンランプ」

岩崎電気株式会社

赤外線ハロゲンランプは近赤外線域にピーク波長を持つ、極めて高効率な熱源です。半導体製造の他、各種成膜工程の熱源として使用されます。半導体製造工程での使用に適した制御性の良いクリーンな熱源です。【特徴】 ○高効率・省エネ ○素早いレスポンス詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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ジャケットヒーターシステム

株式会社東京興業貿易商会

半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター【特長】・200℃までの高温まで加熱可能・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます・半導体装置用のクリーンルーム用途を目的とした低発塵性タイプを用意・フレキシブルで脱着性、フィット感がよい・CEマーク、UL認定有り【専用の温調 & モニターシステム】・通信機能で各ジャケットヒーターの温度制御とモニターします・各ジャケット毎のPID制御でさらに温度均一性を高めます・異常箇所はすぐ認知・１台でジャケットヒーター40ヶ分をモニター可能・コンパクトで場所をとりません・温度制御線、電源供給線、モニター費を低減します ■導入メリット・ダウンタイムの削減・洗浄費用を低減・機器への接触事故を防止・副生成物の飛散を抑え、作業環境を改善

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包装用フィルム『シリコンウェーハケース包装用ラミネート袋』

信越フィルム株式会社

『シリコンウェーハケース包装用ラミネート袋』は、製品自体のクリーン度管理にも細心の注意をはらって製造されているラミネート袋です。透明ラミネート品、アルミラミネート品及び透明バリアラミネート品の 3種類をご用意。各種ラミネート袋の素材は、材質の異なるフィルムを複数ラミネートした構造となっており、ガスバリヤ性に優れています。被包装物の汚染を防止するため、各種ラミネート袋の最内面となるポリエチレン（PE）は、厳選されたPEを使用しています。【特長】 ■クリーン包装袋の製袋、検品および1次梱包は、クラス10000の　クリーン度環境下で実施 ■形状はガゼットタイプ ■三方シールの平袋タイプもご要望に応じて対応 ■ラミネート方法は押し出しまたは、ドライ（接着剤塗布）の選択が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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純水

タイキ薬品工業株式会社

【カテゴリー】化成品、電子・金属、食品、医療・衛生【特長】 ■伝導率1.5μS/cm以下 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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NuPure ガス精製器『Eliminator CA』

株式会社エムアイティ

『Eliminator CA』は、室温での操作でガス不純物をSub-ppbレベルまで低減させる NuPure社製ガス精製器です。不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム、クリプトン、ネオン、キセノン）から、 H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHCなどを1ppb未満レベルまで除去します。標準サイズで0～2500slpmの流量範囲の製品をラインアップしております。【特長】 ■1ppb以下への不純物の除去 ■ヒーター・電源不要 ■室温動作（RT） ■ハウジング 316L SS（

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エポキシ系帯電防止塗り床材　「アクアコート♯8851」

アイレジン株式会社

エポキシ系帯電防止塗り床材「アクアコート♯8851」は、より完全な無塵化を要する作業環境、特にハイテク機器に取り囲まれた場所での、作業床への高度化する要求性能に応えます。チリ・ホコリが嫌う場所の床材として、美装性・クリーン性・耐摩耗性などの特長が評価され、愛用されています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

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株式会社SCREEN SPE クォーツ　郡山工場　事業紹介

株式会社SCREEN SPE クォーツ

株式会社SCREEN SPE クォーツの保有する郡山工場は、半導体製造装置関連の分野における創業以来の生産拠点であり、半導体ウエハー洗浄用処理槽（石英槽）の開発・製造を鋭意的に展開しています。クリーン度がハイレベルに保たれた工場内では、材料調達から製品出荷までの各工程が一貫して機能し、安全かつ効率的な生産体制を構築しています。また、約1,700℃の高い軟化点を持つクォーツの特性を生かし、ボートやチューブをはじめとするウエハー熱処理装置用部品の開発・製造も積極的に行っています。【事業内容】 ■半導体洗浄装置向け石英槽および関連部品の製作加工 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社オーク製作所　紫外線応用製品のご案内

株式会社オーク製作所

株式会社オーク製作所では、半導体素子、液晶基板、電気回路基板および各種素材の表面処理工程でランプの各波長による効果を活かした様々な処理装置を設計・開発しております。 UVを照射して有機汚染を非接触で除去するUVドライプロセッサーや紫外線硬化樹脂によるUVインクの乾燥などに適したUV-LEDスポット照射装置などお客様の用途に合わせてお選びいただけます。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。【ラインアップ】 ■UVドライプロセッサー ■UV-LEDスポット照射装置 ■小型灯具シリーズ ■FRP硬化用UV灯具 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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多階層CR対応クリーン垂直搬送システム

ホクショー株式会社

『多階層CR対応クリーン垂直搬送システム』は、多階層CR間における立体的で効率的な自動搬送ラインを構築できます。垂直往復高速搬送機の「クリーンオートレーター」と垂直連続トレー搬送機の「クリーンハイトレー」をご用意。どちらもFOUP搬送用となっております。【クリーンオートレーター特長】 ■清潔度を保つ機構プラス高能力 ■搬送方向は自由自在 ■発塵を抑えた省スペース設計＋低衝撃 ■クリーン度：クラス1～に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高周波超音波洗浄処理システム

光進電気工業株式会社

当製品は、微細凹凸部のダストを超音波で除去する高周波超音波洗浄処理システムです。半導体ウェハやマスクなどの洗浄に使用いただけます。ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式、その他の洗浄処理システムをラインアップしています。【特長】 ■微細凹凸部のダストを超音波で除去 ■400kHz～5MHzのトランスデューサを備える ■最小0.1μmからのパーティクルを除去 ■ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式などをラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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多層ボトル『ハイパーピュアボトル』

コダマ樹脂工業株式会社

『ハイパーピュアボトル』は、半導体用高純度薬品容器として新たな成形技術により生まれた高品質・高精度な多機能容器です。「6種7層」という圧倒的なバリア機能により、高耐久でハイクリーンな多層ボトルを実現。最内層は素材の選択が可能であり、従来ポリエチレン容器では収納不可能であった薬品もご使用いただけます。【特長】 ■従来のクリーン原料に比べてパーティクルが1/10以下 ■電子工業薬品で懸念される金属溶出も限りなく抑えられる ■HDPE単層に比べ、バリア性能が格段に向上 ■ポリエチレン容器では収納不可能であった薬品も使用可能 ■改ざん防止機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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スクリュー式ドライ真空ポンプ　TDシリーズ

大晃機械工業株式会社

コストパフォーマンスにすぐれたドライ真空ポンプシリーズ。

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電子材料

稲垣薬品興業株式会社

当社では、半導体製造工程で使用される薬剤や消耗品、精密部品の洗浄剤を提供しております。その他、金属加工及び表面処理に使用される各種薬剤およびメッキ廃水処理剤や、原材料及び食品添加物から衛生管理面で必須なサニテーション商品などを提供。また、医薬品原料関連、化粧品原料関連、試薬関連、プール・スパ・温泉関連、防疫薬剤関連、リネン・クリーニング関連、塗料・印刷関連も取り扱っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【取扱品目】 ■高純度薬品 ■フッ素系溶剤 ■リチウムイオン電池材料 ■イオン液体　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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ケミカルフィルタ

立石フィルター株式会社

当社で取り扱う、各種ガスに対応する「ケミカルフィルタ」をご紹介します。活性炭(粒子状活性炭)を基材としたろ材とイオン交換樹脂を使用したろ材を保有しており、外気処理、循環処理、排気系等様々な用途で適切なフィルタを提案。半導体・液晶工場で問題となっている硫黄酸化物等の酸性ガス、アンモニア等のアルカリガス、フタル酸エステル(例えばDOP)等の有機ガス等各種ガスの除去が可能です【特長】 ■品揃え豊富 ■各種ガスに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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溶剤型エポキシ樹脂帯電防止塗り床材『セミコC-1』

富士丸化学工業株式会社

『セミコC-1』は、床面に塗布するだけで表面を導電化し静電気による電気障害を防止する塗り床材です。耐薬品性や防塵性に優れるほか、耐摩耗性、耐水性も備え、豊富なカラーバリエーションをラインアップ。また、薄くて強靭な被膜を形成するため経済的です。当社では施工にも対応しており、一貫体制で工場や病院、研究室など様々な施設の静電気対策に貢献します。【特長】 ■幅広い材質の床に塗布可能 ■標準20色をラインアップ ■ベースコートの組み合わせにより、厚膜施工も可能 ■環境に配慮したノンカーボンタイプ ■ホルムアルデヒド放散等級　F☆☆☆☆ ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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半導体製造装置用サファイアカスタム品のご提案【技術データ進呈】

株式会社信光社

創業77年の老舗サファイア製造メーカーです。サファイアの大型結晶を自社で育成しているため、1mm以下の微細な製品から写真のような300mm程度の大型窓の製作も可能です。設計段階からお客様のご要求に寄り添い、品質的／コスト的に最適なカスタム製品を共に作り上げていくことが得意です。 1個からのお問い合わせも歓迎しておりますので、ご遠慮なくお問い合わせください。切断、研削、研磨といった基本的な加工に加え穴あけ加工、超音波加工、レーザー加工、チューブ加工、コーティング等の特殊加工にも対応しております。また、石英ガラスでは失透してしまう強酸・強アルカリの薬品が使用される半導体製造工程にも優れた耐薬品性のサファイア製品をご活用ください。 ※サファイア製品の耐薬品性試験結果を進呈中。技術資料を下記よりダウンロードできます。【特徴】 ■化学的に安定（酸・アルカリにほぼ不溶、失透） ■広い透過特性（UV～近赤外(約5μm)） ■硬い（ビッカース硬度：1750(a面)） ■熱に強い（融点：2040℃） ■熱伝導が良い（42W/mK, 25℃）

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RoHS指令　ベンカン機工

株式会社ベンカン機工

RoHS指令とは？ RoHS(Restriction of Hazardous Substances 通称:ローズ)指令は、電子・電気機器における特定有害物質の使用制限について、2006年7月に施行された欧州連合(EU)による指令です。 RoHS指令は、主にWEEE指令によるリサイクルが容易になるように、また埋め立てや焼却処分されるときに、人と環境に影響を与えないように、電子・電気機器に有害物質が含有されていないことが目的とされています。 2015年6月に公布された官報に基づき、2019年7月以降、新たに4種のフタル酸エステル類が対象物質として追加制限されることが決まっています。 ※WEEE(Waste Electrical and Electronic Equipment 通称:ウィー)指令は、廃電気・電子製品に関する欧州連合(EU)による指令です。

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ベローズシールバルブ

マツヤ産業株式会社

CVLシリーズベローズシールバルブは、半導体製造プロセスにおいて不可欠な高純度ガス用で、高信頼・高耐久性にお応えできるベローズシールバルブです。【特徴】 ○信頼性の高い精密なメタル成型ベローズ、コンパクトアクチェターのＡｉｒ作動弁など、高い技術力と経験でお客様へ流体・用途別の製品をご提供いたします。 ●その他の機能や詳細については、カタログをダウンロードしてください。

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耐プラズマ性OリングフロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)

桜シール株式会社

優秀な耐プラズマ性を有しながらコスト優位性の高い特殊材質です。配合剤を使用していないことから低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器などのドライプロセスに於いて、優秀な耐プラズマ性を発揮します。ノンフィラータイプの耐熱パーフロ材質「フロロパワーFFN（FFKM-耐プラズマ）」の下位互換として有効です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポートさせて頂きます。＊パーフロなどを含むフッ素ゴム各種は、桜シール株式会社が最も得意としている材質です。＊ Oリング以外の形状にも対応いたします。

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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

株式会社ハイブリッジ

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：

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FM4910認証塩ビ『Trovidur EC-FR』

ロシュリングインダストリアルジャパン株式会社

'-特徴- ■ クリーンルームで使用可能 ■ 優れた自己消化性 ■ 着火後の発煙量が少量 ■ 優れた加工性 ■ 優れた耐薬品性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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メタルシール型マスフロー/プレッシャーメータ/コントローラ

ブロンコスト・ジャパン株式会社

メタルシール　デジタル・マスフロー/プレッシャメータ/コントローラのご紹介です。機器は高品質な表面仕上げで、モジュールコンセプト構造のメタルシールですから長期間のリークタイトネスを保証します。本機は高精度・すばらしい温度性・及び高速応答を有するＰＣボードを備えています。最新のEL-FLOWシリーズはマルチガス/マルチレンジ機能も加わり、さらに(OEM)顧客へそのアプリケーションにおいて最適なフレキシビリティーとプロセス効率を提供します。詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

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薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

課題

微細粒子による欠陥発生

製造環境や材料中に存在する数ナノメートルから数マイクロメートルの微細な粒子が、成膜中に堆積し、電気的特性の低下や短絡などの欠陥を引き起こします。

プロセスガス中の不純物

成膜に使用されるプロセスガスに含まれる微量の不純物や水分が、成膜膜質を劣化させ、異物として機能する可能性があります。

装置内部からのパーティクル発生

成膜装置のチャンバー内壁や消耗部品からの剥離、摩耗によって発生するパーティクルが、成膜面に付着し、欠陥の原因となります。

オペレーションミスによる汚染

作業員の衣服や手指、搬送中のウェハへの接触など、人的要因による異物混入リスクが存在します。

対策

クリーンルーム環境の維持管理

高度な清浄度を保つクリーンルームの設計、空調管理、定期的な清掃、入退室管理を徹底し、外部からの異物侵入を防ぎます。

高純度材料・ガスの使用

成膜に使用する材料やプロセスガスを、厳格な品質管理のもと、極めて高い純度で供給・管理することで、ガス由来の異物混入を排除します。

装置の最適化と保守

成膜装置の設計段階からパーティクル発生を抑制する構造を採用し、定期的な点検、部品交換、清掃を計画的に実施します。

自動化と遠隔操作の導入

ウェハ搬送やプロセス操作の自動化、遠隔監視・操作を推進することで、人的接触による異物混入のリスクを最小限に抑えます。

対策に役立つ製品例

超清浄度フィルター

クリーンルームの空調システムやプロセスガス供給ラインに組み込まれ、微細な粒子を効率的に除去し、清浄な環境を提供します。

高純度ガス供給システム

ガスボンベから成膜装置までの供給経路全体で、不純物の混入を防ぎ、安定した高純度ガスを供給するシステムです。

自動ウェハ搬送ロボット

クリーンルーム内でのウェハの移動を自動化し、人の手による接触や、それに伴う異物付着のリスクを排除します。

インラインパーティクルカウンター

成膜プロセス中にリアルタイムでパーティクル数を計測し、異常を早期に検知して、問題発生時の迅速な対応を可能にします。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

薄膜形成における異物混入の防止とは？

各社の製品

薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

​課題

微細粒子による欠陥発生

プロセスガス中の不純物

装置内部からのパーティクル発生

オペレーションミスによる汚染

​対策

クリーンルーム環境の維持管理

高純度材料・ガスの使用

装置の最適化と保守

自動化と遠隔操作の導入

​対策に役立つ製品例

超清浄度フィルター

高純度ガス供給システム

自動ウェハ搬送ロボット

インラインパーティクルカウンター

課題

対策

対策に役立つ製品例