ウェーハ表面へのダメージ防止とは？課題と対策・製品を解説

『ABZOL(R)クリーナー』は、蒸気脱脂洗浄、冷漕洗浄および超音波洗浄 による高性能洗浄溶媒であり、クロロカーボン、ハイドロクロロカーボンや 各種フロンとはいくつか異なる特長を持った製品です。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■オゾン層破壊係数(ODP)および地球温暖化係数(GWP)が非常に低い ■タグ密閉式また開放式による引火点を持たず、他の溶媒と比べ被洗浄物を 　腐食しにくい ■幅広い金属に適応性があり、リサイクルしやすい ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。

『超純水用 エマックス』は、半導体製造工程等の超精密度を必要とする 洗浄用超純水の給湯に好適な電子瞬間湯沸器です。 給湯タンクを必要としないタンクレスタイプ。 さらに保温のための予備熱源、給排気装置もいりません。 また、超純水を加熱しても何ら電気分解されず、 化学反応が全く発生しません。 【特長】 ■化学反応を起こさない ■超コンパクト計量設計 ■スピーディー瞬間給湯 ■取り付け簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社永沢工機が行った基盤洗浄籠の製作加工事例をご紹介します。 お客様と仕様等を協議したのち、板金製作図を作成。 中央部のスリット幅2mmが歪により変形しない様、考慮し設計しました。 当社は、薄物板金加工を得意とし、精密板金加工のプロとして、短納期でも 高品質の実現に努めています。 【事例】 ■品名：基盤洗浄籠 ■寸法（mm）：500*300*100 ■素材：SUS304-2B t=1.0ｍｍ ■表面処理：なし ■標準リードタイム・ロット：10日/10台 ■工程紹介：設計・プログラム・抜き加工・曲げ加工・溶接・組立・検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

本間産業では環境に優しい『炭化水素系洗浄』に対応しております。 ISO14000シリーズ、RoHS規格取得の企業様も安心して洗浄をご依頼ください。 炭化水素系洗浄溶剤にはJXTGエネルギー株式会社の 高機能炭化水素系洗浄剤『NSクリーン』を使用。 炭化水素系溶剤真空洗浄システムにはジャパン・フィールド社製の 大型双発５槽式全自動洗浄機を導入しております。 【炭化水素系洗浄の工程】 1.洗浄するものを装置に投入 2.予洗い(常圧水置換洗浄) 3.真空引き 4.減圧超音波浸漬洗浄 5.シャワーリンス(再生液) 6.減圧蒸気洗浄 7.真空乾燥［ジャパンフィールド社の特許技術(PAT.2535466、PAT.3182136)］ 8.真空解除(N2封入) 9.洗浄終了 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。