プロセス安定性の向上とは？課題と対策・製品を解説

本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ストローク140mm、対象サイズ4inchに対応する小型ナノインコーターです。卓上型で省スペースながら高精度な制御を実現し、均一で再現性の高い離型剤塗布を可能とします。研究開発や少量生産に適した設計で、安定した薄膜形成を支援します。

イソプラトン 軽量セッターはセラミックファイバーとアルミナ粒子を主材料として高温焼成された軽量かつ高強度という高機能セラミックスです。 耐スポーリング性、脱バインダー性に優れた電子部品焼成用セッターであり 寸法精度が極めて高く、形状も平版の他、足付きや、溝付き等 オーダーメイドで対応、様々な電子部品の焼成に使われています。 ●詳しくはお問い合わせください。

『G6乾燥機』は、LCD基板上に印刷された塗膜を基板裏面(反塗布面側) により加熱することで、ガラス基板を加熱乾燥させる製品です。 乾燥時に起きる、ピンムラ対策として、Φ1mmのワイヤーで 基板受け渡しを行います。 また、ワイヤー位置は、ステッピングモータを使用(8ユニット)パターン外 の位置に設定を行うことで、パターン内の乾燥ムラを防止します。 【仕様】 ■温度性能：室温〜200度(プレート上) ■​温度精度：表面温度±3度以内 ■方式：マイカヒーター・9割制御 ■ヒーター出力：2200W×9回路　19.8Kw ■電力：三相200V　50/60HZ ​■圧縮空気：0.5Mpa　100L/min ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。