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ウェーハ厚みのばらつき低減とは?課題と対策・製品を解説

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ウェーハの研磨におけるウェーハ厚みのばらつき低減とは?
半導体製造プロセスにおいて、シリコンウェーハの表面を平坦化し、所定の厚みに仕上げる研磨工程は、デバイス性能に直結する極めて重要な工程です。ウェーハ厚みのばらつきは、後工程での歩留まり低下やデバイス性能のばらつきを引き起 こすため、その低減は半導体業界における永遠の課題となっています。
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【研磨パッド(PAD)】精密研磨パッドの未来はどうなる?
両面加工研磨マシン専用治具 ラッピング・ポリッシング キ ャリヤ
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『ガラスウエハー』
ミツル光学研究所ではTTVが1μmまで対応した『ガラスウエハー』を
取扱っています。
インターポーザー等の構造体や、バック・グラインド加工サポーター、
センサー形成基板の用途に最適。
石英やソーダ ライムガラス、無アルカリガラス等の硝材各種に対応しています。
【仕様】
■対応サイズ:2inch, 4inch, 6inch, 8inch, 12inch, 最大φ500
■ウエハー厚:0.3mm~15mm
■TTV(Total Thickness Variation )
・ウエハー全体の板厚差:0.5μm以内
■外周仕上:C面取り・R面取り・鏡面仕上げも可能
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
モバイル静電キャリア
株式会社戸田製作所 水晶発振子研磨機部品
株式会社ニットーの事業紹介
株式会社ニットーでは、情報機器の要となる平面ガラスの製造メーカーとして、LCD(液晶表示パネル)ガラスやハードディスクに使われるガラス系基板を開発・製造する事業を展開しています。
研磨加工において、平滑精度を極限まで追求しており、自社開発の設備と高い技術力で、2オングストロームという平滑精度を誇り、OA器機はもちろん通信、家電、AV、医療機器ほか、多様するハイテク産業界のニーズに応えています。
品質管理では、クリーン度・クラス100という高度な環境を維持したクリーンルーム内で、入念で厳しい品質検査のもと信頼性の高い製品を提供しています。
【特徴】
○極限の平滑研磨加工
○信頼性の高い品質管理
○徹底した環境管理システム
○月産数百万枚以上の加工実績
○何でも出来る切断・面取・芯取加工
○ISO9001認証取得
○ISO14001認証取得
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真空貼り合せ装置(ボンディング装置)VAP250







