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切断時のチップの欠け・割れ防止とは?課題と対策・製品を解説
切断時のチップの欠け・割れ防止とは?課題と対策・製品を解説
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回路・パターン設計
フォトマスク作成
シリコンインゴット切断
ウェーハの研磨
ウェーハ表面の酸化
薄膜形成
フォトレジスト塗布
露光・現像
エッチング
レジスト剥離・洗浄
イオン注入
平坦化
電極形成
ウェーハ検査
ダイシング
ワイヤーボンディング
モールディング
チップ切断精度の向上
切断時のチップの欠け・割れ防止
切断時間の短縮
切削液の効率利用