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洗浄効率の最適化とは?課題と対策・製品を解説

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レジスト剥離・洗浄における洗浄効率の最適化とは?
半導体製造プロセスにおいて、露光後の不要なレジスト層を効率的かつ完全に除去し、ウェハー表面を清浄に保つ技術です。これにより、後工程での歩留まり向上や製造コスト削減を目指します。
各社の製品
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【半導体洗浄向け】イオン交換カートリッジ純水器
水ヌル除去装置『アクティブリアクター』
『アクティブリアクター』は、特殊なセラミックを利用した「水」による
物理的アプローチであり、セラミックスを水に接触させることにより
「水」の活性化を計り、合目的な水を造る装置です。
水の分子配向を整え、水のクラスターを小さくする作用を持ち、表面張力を
低減し洗浄力の向上に寄与し、また乾燥速度の向上にも貢献。さらに、
サビの分解を促進する効果もあります。
電子回路部品製造工程においては活性水の活用により、製造タンク内の
雑菌の繁殖が防止され基材の汚れを防止する効果も現れています。
【特長】
■特殊なセラミックを利用し「水」を活性化
■表面張力を低減し洗浄力の向上に寄与
■乾燥速度が向上
■サビの分解を促進する効果
※詳しくはPDF資料をご 覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
中型事例4 基盤洗浄籠
超音波単成分濃度計(半導体) FUD-1 Model-13
ストレーナ『BSW-PBA-100E Max-STRAINER』
【圧巻の処理技術】マルチジェットプラズマ洗浄機
純水スピン洗浄乾燥機 TCL300SPW
電子瞬間湯沸器『超純水用 エマックス』
IPAなどの代替に!環境対応の洗浄剤『エアロリンス』
エアロピュア社の『エアロリンス』は、IPAやエタノール、メタノールやフッ素系溶剤からの代替に最適な環境対応の洗浄剤です。
しかも、IPAより粘度が低いため優れた洗浄力があります。
サトウキビなどから抽出した植物由来のバイオエタノールを主体の洗浄剤で、作業者・環境にやさしく、化学物質リスクアセスメントや脱炭素への貢献、SDGs(持続可能な開発目標)に大きく貢献します。
『エアロリンス』はIPA含有ゼロ 、フッ素溶剤含有ゼロの洗浄剤のため、これからのIPA全廃やフッ素溶剤対策にも貢献できます。
【特長】
■有機則・PRTR法に抵触しないのでトータルコストで安価!
関連する法の為の人件費、管理費、設備負担が、ほとんどありません。
■液損があまりないので経済的!
エアロリンスは揮発性がアルコールにもかかわらず低い。
■特別産廃費がかからない!
一般廃棄のため安全の為のリスクがかかりません。
■化学物質リスクアセスメントに貢献度の高い商品です!
■適用法令は可燃物だけ!(第4石油アルコール:総量400L)のみ!
※2023年4月改定PRTR非該当
受託洗浄ならお任せ!炭化水素系洗浄
本間産業では環境に優しい『炭化水素系洗浄』に対応しております。
ISO14000シリーズ、RoHS規格取得の企業様も安心して洗浄をご依頼ください。
炭化水素系洗浄溶剤にはJXTGエネルギー株式会社の
高機能炭化水素系洗浄剤『NSクリーン』を使用。
炭化水素系溶剤真空洗浄システムにはジャパン・フィールド社製の
大型双発5槽式全自動洗浄機を導入しております。
【炭化水素系洗浄の工程】
1.洗浄するものを装置に投入
2.予洗い(常圧水置換洗浄)
3.真空引き
4.減圧超音波浸漬洗浄
5.シャワーリンス(再生液)
6.減圧蒸気洗浄
7.真空乾燥[ジャパンフィールド社の特許技術(PAT.2535466、PAT.3182136)]
8.真空解除(N2封入)
9.洗浄終了
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
株式会社SCREEN SPE クォーツ 郡山工場 事業紹介
株式会社SCREEN SPE クォーツの保有する郡山工場は、半導体製造装置関連の
分野における創業以来の生産拠点であり、半導体ウエハー洗浄用処理槽
(石英槽)の開発・製造を鋭意的に展開しています。
クリーン度がハイレベルに保たれた工場内では、材料調達から製品出荷
までの各工程が一貫して機能し、安全かつ効率的な生産体制を構築して
います。
また、約1,700℃の高い軟化点を持つクォーツの特性を 生かし、ボートや
チューブをはじめとするウエハー熱処理装置用部品の開発・製造も積極的
に行っています。
【事業内容】
■半導体洗浄装置向け石英槽および関連部品の製作加工
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【洗浄能力向上 事例】小田原CMS_日立製作所ストレージ事業部
日立製作所のストレージ事業部の一部門、小田原CMSで行った
ザ・バイオウォーターの効果分析結果をご紹介します。
ザ・バイオウォーターを設置後、溶剤洗浄液の劣化速度が1/2以下に減り、
洗浄能力が大きく向上。
フィルタータンク内のスケール(シリカ、カルシウムの針状結晶)は、
全く生じていません。
ザ・バイオウォーター設置2週間後にこれらの効果が現れました。
下記「PDFダウンロード」より"パッケージボード純水洗浄装置への
ザ・バイオウォーター設置評価"についてご確認いただけます。
先方から送られてきた報告書に一切手を加えず、掲載していますので、
ぜひご覧ください。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は
株式会社イプロスのAIによって表示されております。
水系洗浄剤 『eアクア21シリーズ』
炭化水素系洗浄装置『AHシリーズ』
超音波洗浄装置『MU-600SW』
『MU-600SW』は、従来の超音波による洗浄システムに加え、循環方式による
脱気・マイクロバブル発生機能を搭載し、槽全体に均一で強力な超音波を
発生させることができる超音波洗浄装置です。
大容量の超音波洗浄槽と濯ぎ槽を一体化。超音波洗浄槽では、予浸と
超音波洗浄を同水槽で行え非常に効率的に作業を行う事が出来ます。
また、投げ込み式超音波振動子採用で水槽内清掃も手軽に行えます。
【特長】
■循環方式による脱気・マイクロバブル発生機能
■キャビテーション制御、均一的な超音波の最適化が高い洗浄力を生み出す
■予浸と超音波洗浄を同水槽で行え非常に効率的に作業を行う事ができる
■温調機能付きの超音 波洗浄槽・濯ぎ槽
■より精度の高い濯ぎ効果を発揮
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
高性能洗浄溶媒『ABZOL(R)クリーナー』
大和工業株式会社 会社案内
超純水・純水供給サービス


















