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異物混入の防止とは?課題と対策・製品を解説

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フォトマスク作成における異物混入の防止とは?
半導体製造の根幹をなすフォトマスクは、微細な回路パターンをシリコンウェハーに転写するための原版です。その作成プロセスにおいて、微細な異物混入は製品の歩留まり低下や性能劣化に直結するため、極めて厳格な管理が求められます。異物混入防止は、高品質な半導体チップを安定供給するための最重要課題の一つです。
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【半導体工場向け】空調機用ドレントラップ
データセンターの空調設備では、機器の安定稼働と長寿命化のために、クリーンな環境維持が求められます。特に、空調機から排出されるドレン水の逆流は、機器の故障や性能低下、さらにはデータ消失のリスクにつながる可能性があります。当社の『A・トラップ / C・トラップ』は、封水切れ時でも特殊フロートボールが汚染空気の逆流を効果的に防止し、データセンター内の機器を保護します。
【活用シーン】
・サーバー室、通信機器室の空調機
・精密機器を扱うクリーンルーム
・温度・湿度管理が重要な設備
【導入の効果】
・空調機ドレン水の逆流による機器への影響を低減
・データセンター内の清浄な環境維持に貢献
・機器の安定稼働と長寿命化をサポート
【半導体工場向け】工法『FRPライニング工事』


