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切削液の再利用とは？課題と対策・製品を解説
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シリコンインゴット切断における切削液の再利用とは？
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『AR-927水リサイクル装置』は、ダイシング水の水問題を解決する、
ダイシング水リサイクル装置です。
適した水質、温度、水量を保証。水消費の削減を実現します。
さらに、産業廃棄物や運用コストを削減するほか、
純水モジュールやUV洗浄などのオプションもご用意しております。
【特長】
■水消費の削減
■適した水質、温度、水量を保証
■産業廃棄物の削減
■運用コストを削減
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイシング水リサイクル装置『AR-927水リサイクル装置』
『減圧脱水乾燥装置』を導入した、インドネシアにある半導体部品製造業の
S社様の事例をご紹介します。
同社では、新規製品製造工程を導入するにあたり、廃液処理を検討。
様々な方式を試しましたが、COD数値がネックとなり最終的に減での処理を
選択。回収水は後段で生物処理を採用しました。
廃液には低沸点溶剤が含まれており、初留分を15%カットする事で回収水の
COD値を抑制しています。
【事例概要】
■お客様名：S社様
■所在地：インドネシア
■業種：半導体部品製造
■導入機種：G 750型
■導入時期：2014年11月
■処理廃液：生産工程廃液
■処理量：15000L/日（24H/日稼動）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【減圧脱水乾燥装置導入事例】半導体部品製造業 S社様
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シリコンインゴット切断における切削液の再利用
シリコンインゴット切断における切削液の再利用とは？
半導体製造の基盤となるシリコンインゴットの切断工程では、ワイヤーソーなどの切削工具の潤滑、冷却、および切粉の除去のために大量の切削液が使用されます。この切削液を適切に処理し、再利用することは、コスト削減、環境負荷低減、そして資源の有効活用に繋がる重要な取り組みです。
課題
切削液の汚染と性能低下
切断時に発生するシリコン微粒子や金属粉、その他の不純物が切削液に混入し、その潤滑性や冷却性能を著しく低下させます。これにより、切断精度が悪化したり、工具寿命が短くなる可能性があります。
切粉の分離・除去の困難さ
微細なシリコン切粉は切削液中に微細に分散しやすく、効率的な分離・除去が難しい場合があります。これにより、再利用前に十分な清浄度を確保することが困難になります。
切削液の劣化と成分変化
長期間の使用や不純物の混入により、切削液のpHや界面活性剤などの成分が変化し、本来の性能を発揮できなくなることがあります。これにより、再利用の可否判断や処理方法の選定が複雑化します。
再利用プロセスのコストと効率
切削液の回収、ろ過、精製、そして再投入といった一連の再利用プロセスには、設備投資や運用コストがかかります。また、処理に時間がかかりすぎると、生産ライン全体の効率を低下させる懸念があります。
対策
高度なろ過・分離技術の導入
微細な切粉や不純物を効率的に除去するため、精密ろ過、遠心分離、膜分離などの高度な技術を組み合わせたシステムを導入します。
切削液の成分分析と調整
定期的に切削液の成分を分析し、劣化や不純物の影響を把握します。必要に応じて、失われた成分を補充したり、pHを調整したりすることで、性能を回復させます。
自動化された回収・処理システム
切削液の回収からろ過、貯蔵、再投入までを自動化することで、人的ミスを削減し、処理の効率化と安定化を図ります。
環境負荷の低い切削液の開発・採用
生分解性や低毒性の切削液を選択し、使用後の処理や環境への影響を最小限に抑えることで、再利用プロセスの持続可能性を高めます。
対策に役立つ製品例
高精度精密ろ過システム
ナノレベルの微粒子まで捕捉可能な特殊フィルターを備え、切削液中のシリコン微粉を徹底的に除去し、再利用可能な清浄度を実現します。
インライン成分モニタリング装置
切削液のpH、導電率、濁度などをリアルタイムで測定し、成分変化を即座に検知。最適な処理タイミングや成分調整の必要性を知らせます。
自動切粉分離・回収ユニット
切削液から切粉を効率的に分離し、自動で回収・貯蔵する装置。切削液の清浄度維持と切粉処理の省力化に貢献します。
高性能界面活性剤配合切削液
微細な切粉の分散性を高め、ろ過性を向上させる特殊な界面活性剤を配合。切削液自体の劣化を抑制し、再利用性を高めます。
