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検査データの統合管理とは?課題と対策・製品を解説

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ウェーハ検査における検査データの統合管理とは?

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ上に形成された多数のチップの品質を保証するために行われる検査。その検査で得られる膨大なデータを、一元的に収集、保存、分析、活用できる状態にすること。これにより、品質向上、歩留まり改善、開発期間短縮、コスト削減を目指す。

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『SDR』は、主に半導体・液晶製造工場で使用されているSECS・HSMS
スタンダードに準拠した通信インターフェースを構築するための組み込み型
パッケージソフトウェアです。

半導体・液晶製造装置やステーションコントローラ、材料搬送システムなどに
当製品を組み込むことで、SECS・HSMS規格といった業界標準規格に対応した
通信インターフェースを追加のハードウェア無しで構築することができます。

また、半導体・液晶業界における20年以上の経験に基づき、みずほ情報総研の
技術サポートスタッフが使用方法習得トレーニングと技術サポートサービスを
通して通信インターフェースの実装を支援いたします。

【特長】
■カナダ PEER Group社製
■既製のパッケージソフトウェア
■ワールドワイドの導入実績
■SECS-I・II・HSMS-SSに準拠
■他OSへの容易な移植

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

SECS、HSMS対応通信ソフトウェア『SDR』

電子顕微鏡の老舗メーカーである日本電子は、ECサイトやフィールドサービス
システムなど、様々なシステムと連携した容易かつスピーディな情報提供
などが課題となっていました。

手軽に活用できるPIM/DAMのツールとしてContentservを導入。
4万点に及ぶ部品に関する情報の一括更新や、ECサイトに対するより鮮度の
高い充実した情報提供を実現するなど多くの成果をもたらした事例を
ご紹介します。

【掲載内容】
■顧客サービスのフロントとなるアフターサービスシステムを刷新
■等身大でより手軽に使いこなせるPIM/DAMツールを求めた
■構築フェーズからプロジェクトに加わったエクサと共に技術課題を解決
■画期的な業務効率化と顧客満足度の向上に貢献

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

日本電子 約4万点に及ぶ商品情報をPIM/DAMで一元管理

『GWGEM』は、GEMスタンダードに対応するための組み込み型
パッケージソフトウェアです。

半導体・液晶製造装置に当製品を組み込むことで、SECS・HSMS・
GEM規格といった業界標準規格に対応した装置インターフェースを
追加のハードウェア無しで構築することができます。

半導体業界における20年以上の経験に基づき、みずほ情報総研の
技術サポートスタッフが使用方法習得トレーニングと技術サポート
サービスを通して装置インターフェースの実装を支援いたします。

【特長】
■カナダ PEER Group社製
■すぐに使えるパッケージソフトウェア
■ワールドワイドの導入実績
■テキストファイルで動作設定ができ、専用画面が不要
■non-GEM機能にも柔軟に対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

装置組み込み型GEM規格対応パッケージソフトウェア『GWGEM』

2.5インチ、32スロットのHDDトレー取り出し可能な仕様です。

2Uサーバーケース 『ET258-32』

研究用・産業用PCの製作販売サービス TEGSYS-テグシス- のPC延長保証サービスです。
弊社製PCを導入いただく際には、合わせてご検討ください。

テガラ製PC 延長保証サービス「あんしん+」

半導体業界にディスプレイタグNFCタイプ『NANA270』を導入した事例を
ご紹介します。

いつ、誰が、何を、いくつ使用したか管理していないため、高額消耗品の
減りが早く困っていました。

そこで当製品を導入し入出庫を管理。社員証カードをかざすため、
持ち出しに対する意識が変わり消耗品の使用量が減少しました。

また、一定数以下になると自動発注を行う機能も搭載したため、
在庫切れリスク、発注の手間を削減できました。

【事例概要】
■業種・業界:製造業(電子部品関係)・半導体業界
■困り事:高額消耗品の減りが早い
■表示内容:品名、数量、入出庫者、前回入出庫日時 など
■メリット・導入効果
 ・消耗品の持ち出しに対する意識が変わり消耗品の使用量が減少
 ・自動発注機能により、在庫切れリスク、発注の手間を削減

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【NANA270導入事例】高額消耗品の入出庫管理

株式会社立山科学モジュールテクノロジーは、各種モジュールユニットの
OEM供給や、計測・計量器の製造販売を行っております。

設計からの一貫生産体制(OEM)のモノ造りで、
民生機器商品や産業機器関連商品、医療・車載関連商品などを
取り扱っておりますので、ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【各種モジュールユニット】
■民生機器商品
■産業機器関連商品
■医療・車載関連商品

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

モジュールユニット

当社で取り扱う「32GB、64GB、128GB の産業グレード eMMC」を
ご紹介いたします。

民生用、産業用、ネットワーキングアプリケーションのソリッドステート
ストレージ向けに、このデバイスは、信頼性の高いTLC NANDフラッシュメモリと
eMMCコントローラおよびフラッシュトランジションレイヤー(FTL)管理
ソフトウェアを単一の11.5mmx13mm153ボールFBGAパッケージに統合しています。

ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■高信頼性TLC NANDフラッシュテクノロジーを搭載
■eMMC v4.5およびv5.0との下位互換性
■-40°C~+85°Cの工業用温度範囲で動作
■x1、x4、x8のプログラム可能なバス幅を提供
■内部LDOを備えたNANDメモリは3Vの単一電源電圧で駆動可能

※英語版カタログをダウンロードいただけます。
 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

32GB、64GB、128GBの産業グレード eMMC

グローバルネットの、『GNC 出版、情報サービス』をご紹介します。

さまざまな半導体製造装置および試験、検査装置の企業シェアが
地域別に分かる「世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑 2019」を
はじめ、世界の半導体メーカーの生産体制や、工場・ラインの状況を
網羅した「世界半導体工場年鑑 2018」などがございます。

【ラインアップ】
■世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑 2019
■世界有機ELディスプレイ産業年鑑 2019
■世界半導体工場年鑑 2018
■世界半導体産業戦略提携 MAP 2019
■電子デバイス用基板とCMP関連市場分析レポート 2019

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

GNC 出版、情報サービス

『ConX300』は、装置にGEM300規格対応の通信インターフェースを
構築するための装置組み込み型パッケージソフトウェアです。

300mmウェハ対応装置に当製品を組み込むことで、SECS・HSMS・GEM・
GEM300規格といった業界標準規格に対応した装置インターフェースを
追加のハードウェア無しで構築することができます。

半導体業界における20年以上の経験に基づき、みずほ情報総研の技術サポート
スタッフがお客様トレーニングと技術サポートを通して装置インターフェースの
実装を支援いたします。

【特長】
■カナダ PEER Group社製
■すぐに使えるパッケージソフトウェア
■テキストでのGEM300設定管理により専用画面が不要
■装置の挙動に合わせ関数をコールすることにより各規格に準拠した
 状態モデル、オブジェクト管理、シナリオを実装

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

装置組み込み型パッケージソフトウェア『ConX300』

◆中国版ROHS(CGPマーク)
電器電子製品に含まれる有害物質の使用を制限する規制で、一部合格評定制度により強制要求となる。環境に優しい製品(グリーン製品)を示すためのCGP マーク(China Green Product Mark) を貼る。

◆CQCマーク
中国質量認証中心(CQC)が実施する任意性製品認証制度。CQCの厳正な審査を通過した製品に対して与えられる。CCC認証の対象外の製品が主に対象。

中国ROHS 及び CQCマーク認証サービス(任意性製品認証)

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ウェーハ検査における検査データの統合管理

ウェーハ検査における検査データの統合管理とは?

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ上に形成された多数のチップの品質を保証するために行われる検査。その検査で得られる膨大なデータを、一元的に収集、保存、分析、活用できる状態にすること。これにより、品質向上、歩留まり改善、開発期間短縮、コスト削減を目指す。

課題

データサイロ化による分析の非効率性

検査装置ごとにデータ形式や保存場所が異なり、統合的な分析が困難。部門間の連携も阻害される。

過去データの活用不足と属人化

過去の検査データが整理されておらず、必要な時に迅速にアクセスできない。経験や勘に頼った判断が多くなりがち。

品質異常の早期発見の遅れ

リアルタイムでのデータ監視や異常検知の仕組みが不十分で、品質問題の発生に気づくのが遅れる。

トレーサビリティの確保の困難さ

どのウェーハが、いつ、どのような条件で検査され、どのような結果だったのかを追跡するのが難しい。

​対策

統一されたデータプラットフォームの構築

異なる検査装置からのデータを一元的に取り込み、標準化された形式で保存・管理する基盤を整備する。

AI/機械学習による異常検知と予測

蓄積されたデータを活用し、AIや機械学習を用いて品質異常の兆候を早期に検知し、将来の歩留まりを予測する。

ダッシュボードによる可視化と共有

検査結果や分析結果をリアルタイムで確認できるダッシュボードを提供し、関係者間で情報を共有する。

自動化されたデータ管理とレポーティング

データの収集、整理、分析、レポート作成プロセスを自動化し、人的ミスを削減し効率を高める。

​対策に役立つ製品例

統合データ管理システム

様々なソースからのデータを収集し、一元的に管理・分析するための基盤を提供するシステム。

AI駆動型品質分析ツール

過去の検査データから学習し、異常検知、原因特定、歩留まり予測などを自動で行う分析ツール。

リアルタイム可視化ダッシュボード

製造ラインや検査状況をリアルタイムで把握できる、カスタマイズ可能なダッシュボード。

自動レポーティング生成サービス

指定された条件に基づき、検査結果や分析レポートを自動で生成・配信するサービス。

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