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検査装置の安定稼働とは？課題と対策・製品を解説
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ウェーハ検査における検査装置の安定稼働とは？
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当社では、半導体装置の保守・保全・改造改善などを取り扱っております。
定期点検、O/H、トラブルシュートにも対応。各先進装置、OLD装置に
対応できるエンジニアを育成しております。
その他、アプリケーションソフトの開発、ユニットの設計・制作、
各種装置メーカー純正、互換性部品の販売などの事業を行っております。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【取り扱いサービス】
■ソフトウェア
■機械設計
■電子機器
■代理店商品
■輸入
■在庫パーツ販売
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
保守・保全サービス
当社はプローブシステムに用いる様々なRFポジショナーを揃えております。
一例：SP-67A
柔軟なチップを備え、低損失の同軸技術を用いて1.1db未満の挿入損失と、67GHzで14dbを超えるリターンロスを実現。
プロービング表面への確実な接触を保証する独立したバネ式チップを有しており、チップには柔軟性があるため、回路損傷を最小限に抑え、プローブ寿命を延ばします。
また、標準のマイクロ波プローブステーションで用いるべく様々な
アダプタに取り付けることが可能。搭載はカスタマイズできます。
【特長】
■耐久性のあるRFプローブ
■独立したバネ式コンタクト
■豊富なフットプリント
■同軸設計
■13種のアダプタ様式で利用可能 など
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
RFプロービング用高性能 マイクロウェーブ プローブ
『ガラス搬送装置』は、液晶パネルを搬送する装置です。
液晶工程にアレイから、カラーフィルタ、セル、モジュール工程まで
いくつかの製造、洗浄工程があります。
設計から製作、出荷まで一貫作業が可能で、メンテしやすい構造設計、
軽量かつ丈夫な構造となっております。
【特長】
■台湾製で品質保証可能
■短納期
■オーダーメイド、モジュラーデザイン
■静かな運転音
■クリーンルームに適用
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ガラス搬送装置
研究用・産業用PCの製作販売サービス TEGSYS-テグシス- のPC延長保証サービスです。
弊社製PCを導入いただく際には、合わせてご検討ください。
テガラ製PC 延長保証サービス「あんしん＋」
当社で取り扱っている「浮上式 基板搬送装置」についてご紹介いたします。
材質は、超高分子量ポリエチレン(UHMW-PE)を使用しており、平均孔径は
Min2μm～Max80μm、気孔率は35％～40％。
また、空気孔に形成された導電経路を経て、静電気を外部へリークする帯電
防止方式で、耐熱温度は、連続90℃となっております。
【仕様(一部)】
■材質：超高分子量ポリエチレン(UHMW-PE)
■平均孔径：Min2μm～Max80μm
■気孔率：35％～40％
■平坦度：10μm
■帯電防止方式：空気孔に形成された導電経路を経て、静電気を外部へリーク
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
浮上式 基板搬送装置
「半導体カーブトレーサ CS-5000シリーズ」は、IGBTやMOSFET、トランジスタ、ダイオードなど
各種半導体の特性測定に最適です。
V-Iカーブ観測及び、電圧、電流の印加波形も観測することができます。
測定項目は、最大ピーク電圧:5000V（高電圧モード）、
最大ピーク電流:1500A（CS-5400大電流モード）です。
その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
半導体カーブトレーサ CS-5000シリーズ
カーバチュアでは、Cisco、HPE、Dell EMC、Juniper、をはじめとするネットワーク機器・サーバー・ストレージを再生品から新品まで幅広くご提供しています。
特に再生品・互換品のご利用で、ハードウェア調達に関する以下の課題に対応できます。
●円安とインフレ（値上げ）
・費用対効果の高い安価な再生品や互換品を提供
・ハードウェア調達費を50-90%削減
●不安定な世界情勢（米中/感染症/紛争）による納期遅延
・豊富な在庫と世界の流通市場への アクセス
・迅速な対応（見積から納品までのスピード）
・リードタイムの短縮と安定供給
●メーカ保守切れ（End of Life）対策
・レガシーから現行機種まで継続販売
・機器の世代交代の回数を減らし、ライフサイクルをお客様側で管理
ハードウェア販売
『M-CONTactシリーズ』は、生産工程で完成に近づいていく過程の
モジ ュールの動作確認、検査を全自動で行う為に必須な機能として、
シグナルインターフェースに自動コンタクト可能なFPDモジュール
自動点灯検査装置です。
自由度、発展性をコンセプトに、多品種少量生産の自動化、省人化、
設置スペース効率化を実現。
装置サイズ小型化によりニーズに合わせた装置レイアウトへ
フレキシブルに対応します。
【特長】
■確実に点灯させる技術：検査対象物の汎用性
■フレキシブル対応技術：構成自由度、発展性
■適切な検査環境技術：機能確保、安定性
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
FPDモジュール自動点灯検査装置『M-CONTact シリーズ』
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ウェーハ検査における検査装置の安定稼働
ウェーハ検査における検査装置の安定稼働とは？
半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ上に形成された微細な回路パターンに欠陥がないかを高精度に検査する装置の、中断なく継続的に正常な状態を維持すること。これにより、製造歩留まりの向上と生産効率の最大化を目指します。
課題
予期せぬ装置停止
経年劣化や部品の摩耗、ソフトウェアの不具合などにより、検査装置が突発的に停止し、生産ライン全体に遅延が生じる。
検査精度のばらつき
温度変化や振動、光源の劣化など、環境要因や装置内部の変化により、検査結果にばらつきが生じ、不良品の検出漏れや誤検出が増加する。
メンテナンス作業の非効率
定期メンテナンスや故障時の修理に時間がかかり、装置のダウンタイムが長くなる。また、専門知識を持つ技術者の確保が困難な場合がある。
データ管理と分析の遅延
検査で得られた大量のデータをリアルタイムで収集・分析できず、問題の早期発見や改善策の実施が遅れる。
対策
予兆保全の導入
センサーデータを活用し、装置の異常を事前に検知して、故障が発生する前にメンテナンスや部品交換を行う。
環境制御の最適化
検査室内の温度、湿度、清浄度を厳密に管理し、外部環境が検査精度に与える影響を最小限に抑える。
リモート監視とサポート体制
遠隔から装置の状態を監視し、異常発生時には迅速な診断と指示を行うことで、ダウンタイムを短縮する。
データ駆動型分析プラットフォーム
検査データを一元管理し、AIを活用して異常パターンを自動検出・分析することで、迅速な意思決定を支援する。
対策に役立つ製品例
IoTセンサーとデータ収集システム
装置の稼働状況や環境データをリアルタイムで収集し、異常の予兆を捉えるための基盤を提供する。
高精度環境制御ユニット
検査室内の微細な環境変化を検知・補正し、検査精度の安定化に貢献する。
遠隔診断・保守支援ソフトウェア
専門家が遠隔から装置の状態を把握し、迅速なトラブルシューティングを可能にする。
AI駆動型データ分析システム
膨大な検査データを解析し、隠れた異常パターンや改善点を発見することで、生産性向上に寄与する。
