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電極形成プロセスの効率化とは？課題と対策・製品を解説
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電極形成における電極形成プロセスの効率化とは？
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伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、電極の焼成の事例紹介です。
ハロゲンヒータを使用することで、ハロゲンヒータが持つ
高速昇温性、配熱分布や放射波長により
基板や電極材料の特性にマッチした熱処理を行うことができる
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
【事例紹介】電極の焼成
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電極形成における電極形成プロセスの効率化
電極形成における電極形成プロセスの効率化とは？
半導体デバイスの性能を左右する電極形成プロセスにおいて、生産性向上、コスト削減、品質安定化を目指す取り組み全般を指します。微細化・高集積化が進む現代において、その重要性は増しています。
課題
歩留まりの低下
微細な電極パターン形成時の欠陥発生や、成膜ムラによる歩留まり低下が生産コストを押し上げています。
成膜時間の長期化
高精度な電極形成には時間を要し、生産ライン全体のスループットを低下させる要因となっています。
材料コストの増大
特殊な材料の使用や、プロセス中の材料ロスが製造コストを増加させています。
プロセス制御の複雑化
微細化に伴い、温度、圧力、ガス流量などのプロセスパラメータの厳密な制御が困難になっています。
対策
成膜技術の革新
より高速かつ均一な成膜を可能にする新しい成膜手法や装置の開発・導入を進めます。
プロセス最適化と自動化
AIやシミュレーションを活用し、最適なプロセス条件を導き出し、自動化によって人的ミスを削減します。
材料使用量の削減
高効率な材料利用技術や、リサイクル技術の導入により、材料コストを抑制します。
インライン計測・検査の強化
プロセス中にリアルタイムで品質を監視し、早期に異常を検知・修正することで歩留まりを向上させます。
対策に役立つ製品例
次世代成膜装置
短時間で高精度な成膜を実現し、生産性を大幅に向上させる装置です。
プロセス最適化ソフトウェア
過去の製造データを分析し、最適なプロセス条件を提案するAIベースのソフトウェアです。
高効率材料供給システム
材料の無駄を最小限に抑え、均一な供給を可能にするシステムです。
リアルタイム品質管理システム
成膜プロセス中に電極の品質をリアルタイムで計測・評価するシステムです。
