ドライエッチングの精密制御とは？課題と対策・製品を解説

ナップ工業株式会社から、連続自動エッチングシステムのご案内です。 印刷→乾燥→エッチング→剥離→水洗→拭上→保護膜貼り。

【カテゴリー】 凝集不良、脱水不良、水質改善、臭気対策、重金属対策、土壌改良対策、濁水処理、エッチング剤等 【特長】 ■凝集剤、重金属除去、リン除去 ■脱硫、脱臭、脱色 ■エッチング剤（42°Bé～47°Bé） 【濃度】 40°Bé　42°Bé　47°Bé　50°Bé ※濃度調整が必要な際はご相談ください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

メンテナンス性や高精度インライン計測などのFUD-1 Model-13のメリットはそのままに、半導体製造プロセス 用として小型セル型発信器を特長としたモデルとなります。 薬液中の超音波伝播速度（音速）は薬液濃度及び温度によって変化する特性があり、本 濃度計は薬液中の音速・温度を高精度に測定します。 この音速・温度情報を基に内臓データロムに記録した検量線により濃度を演算し、出力します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

『ミニミニエッチャー』は、小型基板の製作および薬液の実験・開発に適した 装置です。 左右の薬液噴射ノズルが首振り動作する「縦型・左右スプレー」をはじめ、 「横型・上下スプレー」や「水平揺動型・上下スプレー」などをラインアップ。 少量の薬液でのエッチングが可能で、数枚単位の基板製作に対応出来、 また、薬液の交換も容易で、省スペースにて設計されています。 【特長】 ■小型基板の製作および薬液の実験・開発に好適 ■少量の薬液でのエッチングが可能 ■数枚単位の基板製作に対応 ■薬液の交換も容易 ■省スペース設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

本製品は、パワー・周波数の異なるプラズマを生成する製品です。 2タイプのパルスユニットを搭載しており、制御ユニット、 パルスユニットB、DC電源ユニット、パルスユニットA、 ブレーカーユニット、抵抗ユニットの6つで構成されています。 【特長】 ■2タイプのパルスユニット搭載 ■パワー・周波数の異なるプラズマを生成 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社SCREEN SPE クォーツの保有するいわき工場加工品事業では、半導体製造 ラインにおける熱処理工程やエッチング工程で使用される石英製品の加工 を行っています。 その他にも、太陽電池、光関連、医療バイオなど、大型化、微細化する あらゆる製品加工に対応するための研究開発を行っています。 最先端設備でさまざまなニーズに対応します。 【事業内容】 ■半導体製造装置向け石英製品の製作加工 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『AS-Fコーティング』は、離型・耐食・凝着防止に特化した独自のコーティングです。 特にハロゲン系ガスに対する優れた耐食性がメリットで、半導体製造工程で 使われる製品に好適。すでに多くの治具や金型に採用されています。 また、Hv1200の膜硬度をもつほか、ハスの葉のような表面構造で 離型性や摺動摩耗性にも優れています。 【特長】 ■フッ素に反応しない特殊ターゲットを使用 ■結晶のないアモルファス組織で、腐食成分の浸透を防止 ■耐食性の高い成分をPVD製法で成膜することで高い密着性を確保 ※詳しくはダウンロードボタンより資料をご覧ください。 ★「試作無料キャンペーン」を実施中。（申し込み期限：2021年12月6日） 　お問い合わせフォームよりお気軽にお申し込みください。