半導体テクノロジーに関連する気になるカタログにチェックを入れると、まとめてダウンロードいただけます。

膜の物理的特性の向上とは？課題と対策・製品を解説

目的・課題で絞り込む

カテゴリで絞り込む

検査・測定装置

材料

自動化・ITソリューション

製造装置

薄膜形成における膜の物理的特性の向上とは？

半導体デバイスの高性能化・小型化に不可欠な薄膜形成技術において、形成される膜の電気的特性、機械的特性、光学特性などの物理的特性を、より理想的な状態に近づけるための技術開発やプロセス改善全般を指します。これにより、デバイスの信頼性向上、性能向上、そして新たな機能の実現を目指します。

各社の製品

▼チェックした製品のカタログをダウンロード

絞り込み条件：

一度にダウンロードできるカタログは20件までです。

▼チェックした製品のカタログをダウンロード

炭化ケイ素（SiC）　セラミックス

アスザック株式会社

硬度が高いため、摺動摩耗に強い特性も兼ね備えています。　熱伝導率も高いです。　炭化珪素(SiC)は、半導体製造装置やLED製造装置などのチャンバー内部品、エッチング装置用基板トレーや、焼成用治具(コンデンサー他）　などに使われています。　　炭化珪素(SiC)は、耐熱（1,000度以上でも）性や耐薬品性（耐プラズマ性）、耐磨耗熱伝導率の良さ、緻密さ、強度が生かされています。　　こんな使い方はいかがでしょうか→SiCでの薄型製品化が可能ですから、熱効率が良く、トレーやセッターとしてご利用を検討下さい。　　電子基板用の焼成炉セッターなどに、薄いSiC板での対応が可能です。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

低温成膜低熱膨張ポリイミド

ウィンゴーテクノロジー株式会社

『低温成膜低熱膨張ポリイミド』は、従来のポリイミドよりも低温で成膜できるので熱応力を小さくすることができ、エボキシ等と同様の使用が可能となります。高生産効率・省力化を実現し、層間絶縁膜（半導体素子用、多層プリント配線基板用、パッケージ基板用）などの用途に適しています。【特長】 ■熱膨張係数2～20ppm/kをグレード化（各基材の熱膨張係数にマッチングが可能） ■ワニスの室温保存が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

半導体業界向け！シロキサンフリーの補填剤で被害を抑制！

太平化成株式会社

シロキサンフリーペースト状シール材『HVF-1』はシロキサン含有量が5μｍ以下なので、シロキサンによる被害を抑制します。シロキサンによる「ウェハー汚染」や「接点障害」、「金属部の腐食」、「化学反応による異物の発生」、「露光装置レンズの汚れ」を抑制することで、クリーンルーム内部の隙間埋めや、半導体製造装置内部の目地止めに利用可能です。【特長】 ■酸とアルカリ両方の薬品に耐性有り ■常温で自然乾燥 ■シリコーンを含んでいないフッ素ゴムが主原料　など ※無料サンプル進呈いたします。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【樹脂加工】金属からプラスチックへ置き換えるメリット＜4＞　

株式会社ビー・ティ・アイ

株式会社ビー・ティ・アイは、樹脂切削加工30年の実績+αでプラスチック部品を提供してきました。電気絶縁性に優れるので、電気製品や電子部品に適しています。プラスチック（樹脂）に置き換えをご検討ください。【特長】・炭素粉を混合することにより電気導電性の良い製品を作れる・高精度な三次元加工を駆使　食品機械用部品、半導体装置部品にも実績あり！ ※今ならプラスチック各種の物性表を進呈しております。　詳しくはお問い合わせ、またはPDFをダウンロードしてください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

Roll to Roll方式にも適用！透過性に優れたCNT分散液

富士化学株式会社

富士化学が独自に開発したCNT分散液『FUJICASOL』についてご紹介します。『FUJICASOL』は、無機化合物のみでCNTを分散しているため、従来の界面活性剤系の分散剤よりもはるかに除去が容易。 CNT本来の性能を最大限発揮でき、高い透過性かつ高い導電性を実現します。 Roll to Roll方式（ロールコート法）にも適用でき、透過率(@550 nm)90%、表面抵抗値300Ω/sqも実現可能です。【FUJICASOLのその他の特長】 ■様々な種類のCNTを分散可能(単層・多層両方に対応) ■ロールコートをはじめとした様々な塗布方法に適用可能 ■泡立ちが少なく、取り扱いが容易 ■容易に分散剤の除去が可能 ※サンプルも提供しております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

耐プラズマ性OリングフロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)

桜シール株式会社

優秀な耐プラズマ性を有しながらコスト優位性の高い特殊材質です。配合剤を使用していないことから低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器などのドライプロセスに於いて、優秀な耐プラズマ性を発揮します。ノンフィラータイプの耐熱パーフロ材質「フロロパワーFFN（FFKM-耐プラズマ）」の下位互換として有効です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポートさせて頂きます。＊パーフロなどを含むフッ素ゴム各種は、桜シール株式会社が最も得意としている材質です。＊ Oリング以外の形状にも対応いたします。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

圧力トランスミッタ『ZT11』

長野計器株式会社

『ZT11』は、蒸着形半導体歪ゲージを用いた検出部と内蔵の電子回路で、圧力を電気信号に変換し、伝送する半導体産業用の圧力トランスミッタです。 SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、気密性、長期安定性、信頼性に優れています。これまでの圧力トランスミッタに対し、小形、軽量化(当社比)を実現、 EP・GPグレ－ドを標準とし、オプションとしてUCグレ－ドにも対応します。【特長】 ■小形、軽量化を実現 ■SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接 ■Co-Ni系合金はオプション対応可能(UCグレード) ■IP67の防塵/防水性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【特長】有機／無機ハイブリッド材料『ポリシルセスキオキサン』

小西化学工業株式会社

『ポリシルセスキオキサン（PSQ）』とは、3官能性オルガノシラン化合物より合成されたシロキサン結合（Si-O-Si）で構成される高機能樹脂です。可視光領域で高い光透過率を示し、長時間の光照射条件でも劣化しにくい特長があります。【特長】 ■高耐熱性 ■高耐光性 ■透明度 ■高硬度 ■低屈折率 ■低誘電率 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

ウシオ電機株式会社

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の光加熱用光源の実用例（加熱/成膜）のご紹介です【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける　金属膜、絶縁膜の形成に用いられる　CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを　用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

フッ素成膜『CS1』

株式会社NAZCA

『CS1』は、特殊な溶液を染み込ませやシートで基板を拭くことにより、基盤が自分自身で表面にフッ素の結晶を生み出すフッ素成膜です。自己組織化法による成膜は化学反応による結合のため耐久性に優れます。また、原子・分子レベルの単層でバリアが出来るため、誰でも簡単に均一なフッ素膜を成膜できます。【特長】 ■汚れがつきにくい ■汚れが落ちやすい ■素早く簡単にできるフッ素成膜 ■タッチパネルの操作性にほとんど影響しない ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

気密窓『TW-WRI22-ALQ』

株式会社ニッシン

気密窓『TW-WRI22-ALQ』は、導波管と負荷の間に挿入することで減圧負荷へのマイクロ波機器接続を可能にします。【特長】 ■減圧負荷への接続を可能に ■真空度1Paまで対応 ■負荷側から導波管内へのガス等の侵入を防止 ■温度センサ付着可(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

ベローズシールバルブ

マツヤ産業株式会社

CVLシリーズベローズシールバルブは、半導体製造プロセスにおいて不可欠な高純度ガス用で、高信頼・高耐久性にお応えできるベローズシールバルブです。【特徴】 ○信頼性の高い精密なメタル成型ベローズ、コンパクトアクチェターのＡｉｒ作動弁など、高い技術力と経験でお客様へ流体・用途別の製品をご提供いたします。 ●その他の機能や詳細については、カタログをダウンロードしてください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【強誘電体材料】チタン酸バリウム

戸田工業株式会社

当製品は、湿式合成技術によって製造する強誘導体です。微細でシャープな粒度分布をもつ粒子であることが特長。高誘電率であるため積層セラミックコンデンサなどの原料に用いられています。一次粒子径として30～150nmまでの幅広いバリエーションの製品を提供いたします。是非お問い合わせください。【特長】 ■ニーズに応じた粒子径に対応 ■粒度分布と粒子形状の均一性 ■高分散性 ■湿式合成技術によって製造 ■微細でシャープな粒度分布をもつ粒子 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

NuPure ガス精製器『Eliminator CA』

株式会社エムアイティ

『Eliminator CA』は、室温での操作でガス不純物をSub-ppbレベルまで低減させる NuPure社製ガス精製器です。不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム、クリプトン、ネオン、キセノン）から、 H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHCなどを1ppb未満レベルまで除去します。標準サイズで0～2500slpmの流量範囲の製品をラインアップしております。【特長】 ■1ppb以下への不純物の除去 ■ヒーター・電源不要 ■室温動作（RT） ■ハウジング 316L SS（

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

高耐熱樹脂フィルム|ガラス・シリコンウェハ・セラミックスの代替に

ゼノマックスジャパン株式会社

ゼノマックスジャパンの高耐熱ポリイミドフィルムはポリマーフィルムで最高レベルの寸法安定性・高い耐熱性を有し、ガラス・シリコンウェハ・セラミックス・金属の代替や複合化などに適した材料です。「薄い、曲る、軽い、割れない、加工しやすい」といった特長を活かし、軽・薄・大型化が進む薄膜トランジスタ基板や高密度化が進む半導体パッケージ基板などへの展開が可能です。【特長】 ■優れた寸法安定性：ガラス・シリコンウェハ、セラミックと同等の寸法安定性（線膨張係数0～3ppm/K） ■高耐熱性：450℃でも平面性維持（反り・変形なし） ■優れた表面平滑性：ディスプレイ用ガラス基板と同等の表面平滑性（Ra≓0.5nm） ※仕様詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください。詳しくはお気軽にご相談ください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

フッ素樹脂コーティングクリモトＳＵＳシーム管

ヤマトガワ株式会社

【特長】 ■良好な耐薬品性と耐熱性 ■最適な耐透過性 ■卓越した難燃性 ■良好な表面特性 ■表面平坦性 ■純度 ※耐薬品性等、詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

『RAMフォース』で従来のスパッタリング技術の課題を解決！

京浜ラムテック株式会社

『RAMフォース』は、プラスティックフィルム上へ光学膜やメタル等の多層成膜をすることができるロールtoロールスパッタリング装置です。 RAMカソード（低ダメージカソード）の性能評価ばかりでなく、ラボの条件下で自分のアプリケーションをテストし、パイロットラインから量産ラインへと展開することができます。【特長】 ■特許取得 ■基板へのダメージを60%以上低減 ※従来の平板式スパッタリングとRAMカソードとの比較 ■成膜速度を3倍以上向上 ※従来の対向式スパッタリングとRAMカソードとの比較 ■京浜ラムテックの独自技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

多源同時マグネトロンスパッタ装置『FRS-HGシリーズ』

株式会社FKDファクトリ

『FRS-HGシリーズ』は、2源/3源の同時スパッタ機能を搭載した研究開発用の多源同時マグネトロンスパッタ装置です。据付タイプながらコンパクト且つスタイリッシュな設計。成膜ソース導入ポートは3ヶ所用意されており、スパッタリングカソードに加え、アークプラズマ蒸着源などスパッタリングとの相乗効果が期待できる成膜ソースを搭載することが可能です。【特長】 ■据付タイプながらコンパクト且つスタイリッシュな設計 ■RF電源にオートマッチングを採用しており、放電操作が容易 ■2源または3源の同時成膜により、薄膜の機能・性能の微調整が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

用途別化合物　電子材料・半導体

永大化学株式会社

当社では、電子材料・半導体用の化合物を取り扱っております。電子部品、ファインセラミックス、導電材料、絶縁材料、半導体材料、電極材料、着色粉体塗料などの原料および添加剤として使用されています。炭酸銅、酸化銅、蓚酸マグネシウム、蟻酸ニッケル、蓚酸銅、チタン酸アルミニウムがございます。【化合物一覧】 ■炭酸銅 ■酸化銅 ■蓚酸マグネシウム ■蟻酸ニッケル ■蓚酸銅 ■チタン酸アルミニウム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

高密度ラジカル源装置

NU-Rei株式会社

当社では、MBEの成膜速度を向上させるため、従来のラジカル源より、高密度のNラジカルを供給する「高密度ラジカル源装置」を取り扱っております。不純物が発生しないように設計され、GaNの高品質結晶成長を維持したまま、従来よりも高速成長を実現。Oラジカルも生成可能ですので、酸化物への展開も可能です。また、ラジカルモニターや、小型VUV分光器、CCP型プラズマエッチング装置など様々な製品を取り揃えております。【特長】 ■イオン除去、電子除去機構付 ■H、N、O高密度ラジカル発生 ■ICF114フランジ取付 ■ガス供給外部制御機能付 ■プロセスチャンバー圧力調整用オリフィス付 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

包装用フィルム『シリコンウェーハケース包装用ラミネート袋』

信越フィルム株式会社

『シリコンウェーハケース包装用ラミネート袋』は、製品自体のクリーン度管理にも細心の注意をはらって製造されているラミネート袋です。透明ラミネート品、アルミラミネート品及び透明バリアラミネート品の 3種類をご用意。各種ラミネート袋の素材は、材質の異なるフィルムを複数ラミネートした構造となっており、ガスバリヤ性に優れています。被包装物の汚染を防止するため、各種ラミネート袋の最内面となるポリエチレン（PE）は、厳選されたPEを使用しています。【特長】 ■クリーン包装袋の製袋、検品および1次梱包は、クラス10000の　クリーン度環境下で実施 ■形状はガゼットタイプ ■三方シールの平袋タイプもご要望に応じて対応 ■ラミネート方法は押し出しまたは、ドライ（接着剤塗布）の選択が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【資料】InGaZnO系酸化物ナノ粒子

株式会社希少金属材料研究所

当資料では、InGaZnO系酸化物ナノ粒子について紹介しています。当社の製法の特長をはじめ、平均粒径10nmサイズのInGaZnO系酸化物導電性粒子や、In，Ga，Znからなる酸化物にSnを加えたものからなる複合酸化物の一例などを掲載。是非ご一読ください。【掲載内容】 ■当社の製法の特長として ■平均粒径10nmサイズのInGaZnO系酸化物導電性粒子 ■In，Ga，Znからなる酸化物にSnを加えたものからなる複合酸化物の一例 ■InGaZnO系酸化物ナノ粒子の無色透明の分散液体（溶媒：水） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

株式会社信光社　総合カタログ

株式会社信光社

本総合カタログでは・信光社の事業概要・結晶育成法・代表的なサファイア・SrTiO3・ルチル(TiO2)　結晶などが紹介されています。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

ケミカルフィルタ

立石フィルター株式会社

当社で取り扱う、各種ガスに対応する「ケミカルフィルタ」をご紹介します。活性炭(粒子状活性炭)を基材としたろ材とイオン交換樹脂を使用したろ材を保有しており、外気処理、循環処理、排気系等様々な用途で適切なフィルタを提案。半導体・液晶工場で問題となっている硫黄酸化物等の酸性ガス、アンモニア等のアルカリガス、フタル酸エステル(例えばDOP)等の有機ガス等各種ガスの除去が可能です【特長】 ■品揃え豊富 ■各種ガスに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

工業製品用　縦型脱気シーラー・真空包装機　ガス置換包装機

株式会社増井技研

シール長が450mmまで可能な脱気シーラーです。立体的・水物・粉物などの包装に適した構造で、袋を立てたまま上部でシールするガス充填・ガス置換機能付きのガス置換包装機です。クリーンルーム仕様、両面加熱仕様もございます。【特長】 ●袋を立てたままシールできるので、専用ボックスに入れたままでも脱気包装できます。 ●ガス置換・ガス機能付き ●タッチパネル仕様でワーク登録も可能 ●ステンレス製でいつまでもきれいで長持ち ●クリーンルーム仕様・ケミカル仕様もあり ●卓上型の真空・脱気シーラーもあり ●オプションにてコロコン対応品もあり ●他シリーズで下記タイプもご用意しております。・シール長が600mm,800mm,1000mm。・クリーンルーム仕様、両面加熱仕様。・テーブルが電動で上下するKtタイプ。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

表面処理技術『シュウ酸硬質アルマイト』

植田アルマイト工業株式会社

『シュウ酸硬質アルマイト』は、皮膜内に硫黄分を含まない皮膜になり、半導体製造装置等において妨害物質の放出等が発生しにくい硬質アルマイト処理です。真空下で使用しても、放出ガスの発生量は硫酸皮膜と比較して減少します。硫酸硬質アルマイトと比較して、表面粗さは抑制することが可能。高い耐候性を有し、屋外での使用においても色調変化は殆ど見受けられません。自然発色でゴールド色の仕上がりとなり、美しい外観を与え、食器関係（家庭用の鍋ややかん）にも使用していることから、安全にご使用いただくことができます。【特長】 ■クリーンな皮膜 ■放出ガスが少ない ■高い耐候性 ■皮膜の安全性 ■美しい外観詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

半導体用圧力調整器『ER-1HL・ER-1LL』

ヤマト産業株式会社

『ER-1HL・ER-1LL』は、半導体用用途にお使いいただける圧力調整器です。製造にあたっては、高次元のクリーン度・高気密性・高信頼性を満足するために「クリーンルーム内組立」「高性能洗浄」「全数 He リークテスト」を実施しています。 Heリークテストは、SEMI F01の方法で行い、基準を満たしております。【ER-1HL 仕様（抜粋）】 ■一次測圧力（MPa）：2～15 ■二次側使用圧力（MPa）：0.1～0.99 ■使用温度（℃）：-5～40（設計温度-10～75℃） ■口径：1/4 ■重量（kg）：1.3 ■内臓フィルター濾過度：5μm 　 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

倉庫ご利用実績ケース３＜精密機器の結露が心配なお客様＞

株式会社サン・エキスプレス

サン・エキスプレスは、精密機器の物流だけを専門に60余年。当社の倉庫は、東京都大田区、神奈川県藤沢市、大阪府東大阪市に立地しており、いずれの倉庫も国内に数少ない空調設備を完備。精密機器保管専用倉庫として、シャッターの開閉はマメに行い、2重シャッターを施した施設も用意。常に庫内温度を一定に保ち、マメに清掃を行い清潔にすることを心掛けております。医療機器、理化学機器やレンズを備えた検査機器をお取り扱いの場合など、空調設備を必要とされているお客様からご好評を頂いております。「信頼のおける運送会社を探したい」「時間指定で運送してほしい」「電子機器なので保管中の結露が心配」「埃や塵の入らない倉庫が必要」など… 精密機器の物流にお困りの方、お気軽にお問合せください！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

『透明導電膜』

ジオマテック株式会社

透明なのに電気を通す『透明導電膜・ITO膜』は、タッチパネルディスプレイ向けの「帯電防止」や「透明電極」、次世代太陽電池向けの「透明電極」、結露や着雪を防ぐ『透明ヒーター』など、その応用可能性が尽きることはありません。わたしたちが長年培った『透明導電膜・ITO膜』の技術と知見を、お客さま製品づくりにぜひご活用ください。【特長】 ■「透明度」「電気抵抗」「平坦度」「耐久性」「曲げ性」など、お客さまの目的に応じた最適なバランスをご提案 ITOとは Indium Tin Oxideの略で、日本語では「酸化インジウムスズ」と言います。「酸化インジウム(III)(In2O3)」と「酸化スズ(IV)(SnO2)」の無機混合物であるITOは、粉末状態では黄色～灰色ですが、薄膜にするとほぼ無色透明となる特性から、透明なのに電気を通す「透明導電膜」として広く利用されています。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【使用事例】タングステン、モリブデン製品

東邦金属株式会社

タングステンやモリブデンは、耐熱性に優れた金属です。ともに融点が高く、粉末冶金法で製造されます。日本で最初に電球用タングステンフィラメントを製造した東邦金属は、この製法に精通し、長年培ったノウハウでさまざまな分野に両金属の特性を生かした部品を供給しています。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

多段乾燥機

株式会社IPC

『多段乾燥機』は、LCD基板上に印刷された塗膜を基板裏面(反塗布面側) により加熱することで、ガラス基板を加熱乾燥させる製品です。冷却バッファー基盤供給と搬出を行うローダー・アンローダー移載用ロボットにより構成されています。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【仕様】 ■温度性能：室温～150度(ガラス表面温度) ■温度精度：表面温度±5度以内 ■方式：マイカヒーター・分割制御 ■ヒーター出力：AC200V　1φ　1.5kw ■熱量：5.39mj ■圧縮空気：0.5Mpa　100L/min ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

中島硝子オリジナル製品　ラミサーモウィン

中島硝子工業株式会社

ラミサーモウィンとは、透明な面状ヒーターを合わせガラスにした商品です。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

クリーンヒーター「IRP型」

日本ヒーター株式会社

クリーンヒーター「IRP型」は、遠赤外線放射セラミックヒーターを組み合わせてユニット化した、サイズ・容量を選べるステンレスケース製パネル型ヒーターです。発塵の要素が無く、熱衝撃に強く耐冷熱サイクルに優れています。【仕様】 ○パネル１枚にセラミックヒーターエレメント電源電圧200V電力400W 　（100mm×200mm）を組み合わせて使用できる ○磁器（セラミック）に釉薬（遠赤外線放射セラミックス）をコーティング ○連続使用温度は５００度℃ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

ステンレス製配管継手　「RH継手」

株式会社リガルジョイント

ステンレス製配管継手「RH継手」は、半導体向けの水用、ガス用の装置組立、チラー配管に使用可能です。継手内面は切削仕上げしています。材質：ステンレスで耐食性に優れています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【導入事例】クリーンルーム用特殊スプリングキャスター

日海KMO有限会社

光電子工学及び電力工学産業における先進的企業へ『クリーンルーム用特殊キャスター』をBlicle（ブリックレ）技術で解決した導入事例をご紹介します。クリーンルーム環境で使用されるキャスターは、空気1立方メートルあたりの粒子数と大きさにおいて指定された制御汚染レベルを遵守しなければならず、安定性や安全性と同様に、床の種類とともに摩耗率が低いことが重要となります。 Blickeは、同企業と協力して、LHFのばね付きシリーズである「LHF-PTH 200XK-ELS-FS」の特注版キャスターを開発。フットガードとトラックロック付きの非常に頑丈なニッケルメッキを施した取付金具及びBlickleのPTHホイールの組み合わせは、同企業を納得させるものであり、現在では順調に使用されています。【課題】 ■指定された制御汚染レベルを遵守しなければならない ■床の種類とともに摩耗率が低いことが重要 ■運搬する製品を静電気から守ることも重要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

高純度ライン用チェックバルブ（逆止弁）『CMWシリーズ』

株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

CMWはシリーズは、高純度アプリケーション用に開発された溶接型コンパクトチェックバルブ（逆止弁）です。完全溶接設計の為、流体を外部リーク無く確実に保持します。電解研磨品もご用意しております。＜特長＞・半導体製造装置の要求するクリーン度で対応・流体をリークなく確実に保持する完全溶接設計・最大許容使用圧力： 20MPa ・最大許容背圧： 20MPa ・使用温度範囲： -10～80℃ ・クラッキング圧力： 0.014MPa (2psi) ・リシール圧力： 0.028（4psi）・表面仕上げ： 5uインチ（電解研磨仕上げ）　　　　　　　10uインチ（機械研磨仕上げ）・サイズ： 1/4"、1/2" ・接続：おす面シール、めす面シール、突合せ溶接・オプションでOリング材質を選べます（フルオロカーボンFKM、ポリクロロプレンCR、パーフルオロエラストマ、EPDM） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

断熱技術のイソライトが製造電子部品焼成用セッター　イソプラトン

イソライト工業株式会社

イソプラトン軽量セッターはセラミックファイバーとアルミナ粒子を主材料として高温焼成された軽量かつ高強度という高機能セラミックスです。耐スポーリング性、脱バインダー性に優れた電子部品焼成用セッターであり寸法精度が極めて高く、形状も平版の他、足付きや、溝付き等オーダーメイドで対応、様々な電子部品の焼成に使われています。 ●詳しくはお問い合わせください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

無溶剤型エキポシ樹脂『アートフロアーEP51』

中外商工株式会社

『アートフロアーEP51』は、エキポシ樹脂特有の優れた耐薬品性と美観を併せ持つ塗り床です。 VOC対作品の環境配慮型で、優れた低アストガス性により半導体製造工場のクリーンルームにも対応します。また、当製品にガラスクロスを積層した工法でより耐久性を向上させる「アートフロアーEPー1C工法」がございます。【特長】 ■耐薬品性 ■美観 ■低アストガス性 ■無溶剤型エキポシ系 ■ベーストタイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくかお気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

高耐熱ヒーター　セラミック用ポリイミドヒーター施工

ミンコ・プロダクツ合同会社

一般にヒーターは加熱対象へ貼付ける際の接着剤がネックとなり耐熱温度が決定します。弊社では独自の貼付け技術により通常の接着剤を用いずにヒーターを対象物へ密着することができます。また熱圧着時には機械式プレスではなく特殊処理炉にて高温ガス圧環境下にて行います。そのため余剰な負荷が掛からずセラミック等脆い材料への施工にも適しています。ガス圧のため平坦な形状だけではなく曲面への貼付けも可能です。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

新フッ素塗液『M-100/M-300 シリーズ』

株式会社都ローラー工業

『M-100/M-300 シリーズ』は、常温乾燥可能な新フッ素塗液です。電線・電柱などに使われる絶縁固定器具、碍子は、表面に雨水中の汚れが水膜を作り、電気リークの原因になります。当製品は碍子の電気リーク防止に適しており、碍子に塗布することで、撥水させて水膜を作らないようにすることが可能です。実際に、新幹線のパンタグラフの碍子に使用されています。新幹線に限らず、様々な場面で使用する碍子に共通の問題点です。【特長】 ■常温乾燥可能 ■碍子の電気リーク防止に適している ■様々な場面で使用する碍子に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

樹脂の改良に効能のある素材を提供

エボニックジャパン株式会社

エボニックは、スペシャルティケミカルの企業の一社として、5G材料の開発を加速する充実したソリューションを提供します。工程改善のための「Coating additives」をはじめ、高分子改質を促進する「VISIOMER」や樹脂性能を向上させる「POLYVEST」など、樹脂の改良に効能のある素材を多数ラインアップ。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【ラインアップ（一部）】 ■POLYVEST ■Dynasylanシラン ■Siridion ■コーティング材用添加剤「TEGO/NANOCRYL」 ■特殊メタクリレート「VISIOMER」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

ガラス及びフィルム

西谷商事株式会社

西谷商事株式会社の『ガラス及びフィルム』をご紹介します。強化ガラスは、100インチまでのタッチパネルディスプレイ、照明器具、各種曲げガラスなど様々な用途に使用。3D、AR、AG、AF、AM、Anti-UV、貼り合わせなど複雑な成形コーティング加工への対応もお受けしております。他、電子黒板、デジタルサイネージ等の大型パネルをターゲットとしたタッチパネルセンサー用フィルムもご用意しております。【特長】＜強化ガラス＞ ■100インチまでのタッチパネルディスプレイ、照明器具、　各種曲げガラスなど様々な用途に使用 ■複雑な成形コーティング加工への対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

白熱電球のフィラメント加工技術で生まれた金属繊維※サンプル相談可

パナソニックライティングデバイス株式会社

融点が非常に高く高温耐久性に優れ、電球のフィラメントなどで活用されている“タングステン線”。一方、加工難易度の高い素材として知られ、強度を維持しつつ細径化するには高度な技術が必要になります。パナソニックはタングステンを細線化する線引き加工技術により現在11μmという細さを達成し、さらにより細い線を実現へと導くため、日々挑戦を続けています。【アプリケーション例:蛍光灯】パナソニックのタングステン極細線／タングステン線の加工方法は様々ですが、その加工技術は自社の白熱電球や蛍光灯のフィラメントにも応用されています。 1950年の電球用フィラメントの生産開始以降、2500℃の高温に耐える必要のあるフィラメントの素材として加工技術を進化させ、パナソニックの蛍光灯 “パルックプレミア”のフィラメントでは三重に巻かれた”トリプルコイル”を採用しています。パルックプレミアの電極に使用されているフィラメントコイル(全⾧16mm)中に φ20μmのタングステン極細線が約800mmも使用されています。 ※詳しくはPDFダウンロード、または関連リンクをご覧ください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

多層ボトル『ハイパーピュアボトル』

コダマ樹脂工業株式会社

『ハイパーピュアボトル』は、半導体用高純度薬品容器として新たな成形技術により生まれた高品質・高精度な多機能容器です。「6種7層」という圧倒的なバリア機能により、高耐久でハイクリーンな多層ボトルを実現。最内層は素材の選択が可能であり、従来ポリエチレン容器では収納不可能であった薬品もご使用いただけます。【特長】 ■従来のクリーン原料に比べてパーティクルが1/10以下 ■電子工業薬品で懸念される金属溶出も限りなく抑えられる ■HDPE単層に比べ、バリア性能が格段に向上 ■ポリエチレン容器では収納不可能であった薬品も使用可能 ■改ざん防止機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

高純度ライン用面シール継手／溶接継手『HTCシリーズ』

株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

ハムレットHTCシリーズは、SEMIスタンダードに準拠した素材、品質管理の高純度ライン用の面シール／溶接継手です。下記ラインナップでお客様の要求にお応えします。 ■グランド（スリーブ） ■ミニタイプ溶接継手 ■エルボ/ティ/クロス形状コネクタ ■ロングタイプ溶接継手 ■ストレート形状コネクタ ■キャップ/ナット/プラグ ■スイベル式溶接アセンブリ ■ガスケット ■ハイフロー仕様コンポーネント＜特長＞・電解研磨処理対応（Av. 5uインチ）・SS316L Var、または、Vim/Var材対応（SEMI F20-0305準拠）　（注）3/4”以上は316L/316L VOD（AOD）材です・クリーニング仕様はH9800に準拠（参照仕様：SEMI E49.3）・組立はSEMI E49.6準拠・サイズ：1/8"～1" ・全てのHTCコンポーネントにはヒートコードがつけられ追跡調査が可能です・電解研磨品は清浄度を維持する為、二重包装されています。 ※標準的なアイテムにつきましては国内在庫対応中。在庫状況につきましてはお気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

スクリュー式ドライ真空ポンプ　BEHシリーズ

大晃機械工業株式会社

大型機もシリーズに追加しました。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

エポキシ系帯電防止塗り床材　「アクアコート♯8851」

アイレジン株式会社

エポキシ系帯電防止塗り床材「アクアコート♯8851」は、より完全な無塵化を要する作業環境、特にハイテク機器に取り囲まれた場所での、作業床への高度化する要求性能に応えます。チリ・ホコリが嫌う場所の床材として、美装性・クリーン性・耐摩耗性などの特長が評価され、愛用されています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

DCスパッタリング電源

有限会社エイチ・エス・エレクトリック

有限会社エイチ・エス・エレクトリックでは『DCスパッタリング電源』を取り扱っております。当社の従来品と比較して、約2/3の小型化を実現。さらに、低アーク処理もオプションにて対応可能です。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【特長】 ■出力500W～20kWの製品をラインアップ ■並列運転により最大60kW ■小型化を実現 ■低アーク処理に対応（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

カラーフィルター基板のご紹介

株式会社木曽駒ミクロ

株式会社木曽駒ミクロは、1993年、ミクロ技術研究所・木曽駒工場竣工より液晶ディスプレイ（LCD）用のカラーフィルター（CF）の量産を開始。 2000年、携帯電話のカラー化に伴い、反射型CFの量産に対応しました。また、aimic-CFとして高精度で完全バリア性の有る曲がるガラスのCFも量産可能。 aimic-CFは、ガラスを極限まで薄くし、支持体としてFilmと貼り合わせを行い曲面にも対応できるガラス基板です。 ITO等の薄膜金属のパターニングの一部量産、試作に対応可能です。【カラーフィルター基板】 ■液晶ディスプレイ用のカラーフィルター ■曲がるガラス（aimic）カラーフィルター ■PET・PEN等のFilm上カラーフィルター（開発中） ■薄膜パターニング技術 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【フッ素樹脂粘着テープ】ニトフロン　No.903シリーズ

日東エルマテリアル株式会社

"NITOFLON(ニトフロン)"とは？日東電工のフッ素樹脂製品の商標です。※テフロンは米国デュポン社の商標です PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)は、耐熱性や、滑り性、非粘着性などに優れ、フライパンのコーティングなど様々な物に活用されています。 NITOFLON No.903シリーズはPTFEと耐熱性の高いシリコン系粘着剤を組み合わせた片面粘着テープです。【特徴】 ○難燃性規格UL-510を取得しています。（903UL、9030UL） ○離型性、滑り性にすぐれています。 ○H種絶縁材料を使用しています。 ○耐炎性にすぐれています。 ○非粘着面は電気特性・耐熱性・耐候性・耐薬品性・耐水性（撥水性）・低摩擦係数・非粘着性など、4ふっ化エチレン樹脂が持つすぐれた特性を備えています。 ○通常の粘着テープと同様に貼り合わせ、巻き付け、結束、シールがスムーズにできます。 ○シリコーン系粘着剤を使用していますので、－6 0 ℃～200℃の温度範囲で使用が可能です。（ No.903SCは除く）

製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

お探しの製品は見つかりませんでした。

1 / 2

薄膜形成における膜の物理的特性の向上

薄膜形成における膜の物理的特性の向上とは？

課題

膜の均一性と欠陥低減

成膜プロセスにおける原子・分子レベルでの制御が難しく、膜厚のばらつきやピンホール、異物混入などの欠陥が発生しやすい。

界面特性の制御

異なる材料間の界面において、意図しない化学反応や構造変化が生じ、電気的特性や信頼性を低下させる可能性がある。

応力緩和と密着性向上

成膜時の熱膨張係数の違いや結晶構造の不整合により、膜に応力が発生し、剥離やクラックの原因となることがある。

精密な組成・構造制御

目的とする電気的・光学的な特性を発現させるために、膜の組成比や結晶構造、配向などをナノメートルオーダーで精密に制御することが困難。

対策

成膜条件の最適化

成膜温度、圧力、ガス流量、プラズマ条件などを精密に制御し、膜の成長メカニズムを理解・最適化することで、均一性と欠陥低減を図る。

界面制御技術の導入

バッファー層の挿入や、プラズマ処理による表面改質などを行い、界面における不要な反応を抑制し、良好な界面特性を実現する。

応力低減プロセス開発

成膜時のエネルギー制御や、アニール処理による応力緩和、密着性向上に寄与する材料の選定・開発を行う。

高度な成膜手法の活用

原子層堆積（ALD）や分子線エピタキシー（MBE）などの、原子レベルでの精密な制御が可能な成膜技術を導入・改良する。

対策に役立つ製品例

高精度ガス供給制御装置

成膜ガスを極めて精密に制御することで、膜の組成比や成長速度を安定させ、均一性の向上と欠陥低減に貢献する。

プラズマ制御システム

プラズマのエネルギーや密度を最適化し、膜の結晶性や界面特性を改善することで、電気的特性や機械的強度を高める。

基板温度・雰囲気制御システム

成膜中の基板温度や反応雰囲気を精密に管理し、応力の発生を抑制しながら、良好な密着性と膜質を実現する。

インライン膜厚・組成分析装置

成膜プロセス中にリアルタイムで膜の厚みや組成を測定し、フィードバック制御を行うことで、目的とする特性を持つ膜を安定的に形成する。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

膜の物理的特性の向上とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

薄膜形成における膜の物理的特性の向上とは？

各社の製品

薄膜形成における膜の物理的特性の向上

薄膜形成における膜の物理的特性の向上とは？

​課題

膜の均一性と欠陥低減

界面特性の制御

応力緩和と密着性向上

精密な組成・構造制御

​対策

成膜条件の最適化

界面制御技術の導入

応力低減プロセス開発

高度な成膜手法の活用

​対策に役立つ製品例

高精度ガス供給制御装置

プラズマ制御システム

基板温度・雰囲気制御システム

インライン膜厚・組成分析装置

課題

対策

対策に役立つ製品例