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膜の物理的特性の向上とは?課題と対策・製品を解説

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薄膜形成における膜の物理的特性の向上とは?
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『NSG TEC』とは、Transparent Electrically Conductive glass(電気を通す透明なガラス)です。
ガラス製造工程での熱分解を活用したオンラインCVD製法で、ガラス表面に金属の導電性薄膜(TCO)をコーティングした製品です。
金属薄膜は、フッ素を添加した酸化スズ膜であり、FTO、SnO2:Fとも呼ばれています。
【News】ガラス厚み0.7mmの開発に成功しました(※従来は1mm~8mm)
【特長】
■熱反応成膜(高温600℃以上)による高い耐久性
■通常のガラスと同様の取り扱いが可能
■強化、曲げ、合わせガラスなどの後処理が可能
■強固な密着性(ガラス表面に膜組成が結合)
■表面抵抗は、7~1100Ω/□(各種抵抗を選択可能)
■ニュートラル(無色)な色調と高い透過率
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
エポキシ系帯電防止塗り床材「アクアコート♯8851」は、より完全な無塵化を要する作業環境、特にハイテク機器に取り囲まれた場所での、作業床への高度化する要求性能に応えます。チリ・ホコリが嫌う場所の床材として、美装性・クリーン性・耐摩耗性などの特長が評価され、愛用されています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
『ER-1HL・ER-1LL』は、半導体用用途にお使いいただける圧力調整器です。
製造にあたっては、高次元のクリーン度・高気密性・高信頼性を
満足するために「クリーンルーム内組立」「高性能洗浄」
「全数 He リークテスト」を実施しています。
Heリークテストは、SEMI F01の方法で行い、基準を満たしております。
【ER-1HL 仕様(抜粋)】
■一次測圧力(MPa):2~15
■二次側使用圧力(MPa):0.1~0.99
■使用温度(℃):-5~40(設計温度-10~75℃)
■口径:1/4
■重量(kg):1.3
■内臓フィルター濾過度:5μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体設備向けの実績豊富で、台湾大手半導体工場へ長年納品しています!
接続方法はSCH5S・SCH10S・TUBEの自動溶接式。
洗浄用パージポート溶接も対応可能です!
組立て、検品、梱包まで一貫したクリーン環境内での生産作業は、当社の特徴の一つです。
作業エリアではバルブを知り尽くした熟練生産スタッフが厳しい品質管理のもと一つ一つ丁寧に仕上げています。
※※弊社では工場見学・視察を歓迎しています!※※
下記「お問い合わせフォームへ」からお問い合わせください。
ウルトラファストシリーズは、原子層蒸着(ALDプロセス)用途に代表される、正確に同じ条件で安定稼働し続けることを要求される高速開閉かつ高温の高純度プロセス向けに設計されています。独自の流量調節メカニズム(特許出願中US61/910,079号)を採用し正確な流量を保つよう微調整しながら使用することが可能です。
<特長>
・高速バルブ開閉(バルブ反応時間: 5ms未満)
・超高寿命(1億回の開閉試験に合格)
・耐圧: 真空~1MPa(150psi)
・ボディ材質: SS316L VARまたはVIM/VAR(SEMI F20-0305準拠)
・使用温度範囲: -10~120℃(標準ボンネット)
-10~200℃(延長ボンネット)
・サイズ: 1/4"、1/2"
・表面仕上げ(平均): 5uインチ
・バルブタイプ: 2ポート、3ポート、4ポート
・オプションで熱電対、ヒーターカートリッジ穴加工対応
・オプションでソレノイドバルブ、リミットスイッチに対応
※詳しくはPDFをダウ ンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『Piat-XX-CE/Piat-XX-2PM-CE』は、独自の整合アルゴリズム
(ダイレクト・マッチング)により、高速整合を実現したEH式自動整合器です。("XX"には出力が入ります。例:6kW→60)
スタンドアローン動作はもちろん可能ですが、
オプションのリモートユニットを使えば、
外部コントロールやパソコンを使った状態監視などの拡張機能が使えます。
『Piat-XX-2PM-CE』は、自動整合器に検波器付き方向性結合器の機能を
一体化した製品です。
【特長】
■EH式を採用しているため、耐電力性が高いです。(最大6kW仕様)
■H導波管は曲がり式なので、コンパクトです。
■独自の整合アルゴリズムにより、整合時間の短縮を実現しました。
■Made in Japan
※詳しくはPDF資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『M-100/M-300 シリーズ』は、常温乾燥可能な新フッ素塗液です。
電線・電柱などに使われる絶縁固定器具、碍子は、
表面に雨水中の汚れが水膜を作り、電気リークの原因になります。
当製品は碍子の電気リーク防止に適しており、
碍子に塗布することで、撥水させて水膜を作らないようにすることが可能です。
実際に、新幹線のパンタグラフの碍子に使用されています。
新幹線に限らず、様々な場面で使用する碍子に共通の問題点です。
【特長】
■常温乾燥可能
■碍子の電気リーク防止に適している
■様々な場面で使用する碍子に使用可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。







