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現像液の効率利用とは？課題と対策・製品を解説
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露光・現像における現像液の効率利用とは？
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当製品は、2U12ベイから4U60ベイまでのマルチフォームファクタ対応
ディスク拡張ユニットです。
Infortrend DSシリーズ、GS/GSe/GSe Proシリーズ製品へ適応します。
ディスク拡張性能の高さは、さまざまなストレージ要求条件に対して
データサイズと予算に応じ、適したストレージシステム構成を実現します。
また、2.5/3.5インチ・ハイブリッドベイ、12Gb/sSASインタフェース、
SSDディスクをサポートし、ストレージシステムのディスク拡張を、
高いパフォーマンス性能により実現します。
【特長】
■2U12ベイから4U60ベイまでのマルチフォームファクタ対応
■Infortrend DSシリーズ、GS/GSe/GSe Proシリーズ製品へ適応
■データサイズと予算に応じ適したストレージシステム構成を実現
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ディスク拡張ユニット(JBOD)『JB3000シリーズ』
『GGS（Green Gaia System） Tool-1』は、含有化学物質の調査・
回答業務を効率化するシステムです。
JAPIAシートに対応し、本システム1つにつき、1つの保管庫を管理します。
また、保管庫内で、部品・材料の編集やコピー&ペーストが可能です。
【機能】
■Cabinet保管庫管理
■読込・編集 部品表JAMAシート
■OPTION各種フォーマット変換
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
含有化学物質調査回答システム『GGS Tool-1』
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露光・現像における現像液の効率利用
露光・現像における現像液の効率利用とは？
半導体製造プロセスにおける露光・現像工程では、フォトレジストを溶解・除去するために現像液が使用されます。この現像液を無駄なく、最大限の効果を発揮できるように使用することを「現像液の効率利用」と呼びます。目的は、コスト削減、環境負荷低減、および生産性向上です。
課題
現像液の過剰使用
現像液の供給量が多すぎたり、現像時間が長すぎたりすることで、必要以上に現像液が消費されてしまう。
現像液の劣化・汚染
現像液が空気中の不純物やウェハ上の残留物によって劣化・汚染し、本来の効果を発揮できなくなる。
現像液の回収・再利用の困難さ
使用済み現像液の回収プロセスが複雑であったり、再利用可能な品質まで精製することが技術的に難しい。
現像液の管理・監視の不備
現像液の使用量、濃度、温度などのパラメータが適切に管理・監視されておらず、非効率な使用につながる。
対策
最適化された現像条件の設定
フォトレジストの種類やパターン密度に応じた最適な現像液濃度、温度、時間を設定し、最小限の現像液で最大限の効果を得る。
現像液の精密供給システム
必要な箇所に必要な量だけ現像液を供給する精密なポンプやノズルシステムを導入し、無駄な飛散や過剰供給を防ぐ。
高度な現像液リサイクル技術
使用済み現像液から不純物を除去し、元の品質に近い状態に再生する高度なろ過・精製技術を開発・導入する。
リアルタイム監視・制御システム
現像液の使用量、濃度、温度などをリアルタイムで監視し、異常があれば即座にフィードバックして最適な状態を維持するシステムを構築する。
対策に役立つ製品例
精密流量制御ポンプ
現像液の供給量をミリリットル単位で正確に制御し、無駄な消費を徹底的に削減する。
高機能フィルターシステム
現像液中の微細な異物や溶解成分を効率的に除去し、再利用可能な品質を維持する。
インライン濃度・温度センサー
現像液の重要なパラメータをリアルタイムで測定し、常に最適な状態を保つためのフィードバック制御を可能にする。
自動最適化ソフトウェア
過去のデータや現在の条件に基づいて、現像液の使用量や時間を自動的に最適化し、効率を最大化する。
