エッチング後の洗浄効率向上とは？課題と対策・製品を解説

当資料では、「真空紫外エキシマランプ」の現状とその産業的応用について ご紹介しております。 エキシマとは励起状態の原子または分子1個と基底状態の原子または分子1個が 会合した二量体の総称。 「真空紫外エキシマランプ」は、準単色光、一般的なランプにない短波長の 光を発光できる、瞬時点灯点滅が可能、などの特長を有しています。 また、真空紫外光は短波長で光子エネルギーが高いため、非熱過程で分子の 結合を切断することができます。 【掲載内容】 ■真空紫外エキシマランプとは ■真空紫外エキシマランプの応用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。 高い精度のタンク内における化学物質の混合、エンドポイント検出（EPD）、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムが含まれています。さらに、SicOzoneレジストストリップを同じチャンバーに適用でき、これにより柔軟性が向上するだけでなく、処理ステップを減らすこともできます。 【特長】 ■最大300wphのスループット ■2つのプロセスチャンバー ■ばらつきが1％未満の均一性 ■設置面積12m2未満 ■タンクシステムによる化学物質の再循環 ■sic/GaNでプロセス実行可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、半導体製造工程で使用される薬剤や消耗品、精密部品の 洗浄剤を提供しております。 その他、金属加工及び表面処理に使用される各種薬剤および メッキ廃水処理剤や、原材料及び食品添加物から衛生管理面で 必須なサニテーション商品などを提供。 また、医薬品原料関連、化粧品原料関連、試薬関連、プール・スパ・ 温泉関連、防疫薬剤関連、リネン・クリーニング関連、塗料・印刷関連も 取り扱っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【取扱品目】 ■高純度薬品 ■フッ素系溶剤 ■リチウムイオン電池材料 ■イオン液体　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

水処理装置『スケールウォッチャー』の半導体工場における、 導入効果事例をご紹介します。 シャワーノズル・吐出配管・ストレーナーの詰まりが無くなり、 スクラバーの不具合を改善。 また、基板完全不良率の改善と銅残りによる手直し発生率の改善も 実現しました。 【効果】 ■スクラバーの不具合を改善 ■ラジエータ冷却効率低下を改善 ■基盤完全不良率を改善 ■銅残りによる手直し発生率を改善 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。