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切削液の効率利用とは?課題と対策・製品を解説

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ダイシングにおける切削液の効率利用とは?

半導体製造プロセスにおけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断する際に切削液が使用されます。この切削液は、切削熱の除去、切粉の排出、工具の潤滑といった重要な役割を担いますが、その使用量や管理方法によってはコスト増や環境負荷につながる可能性があります。ダイシングの切削液の効率利用とは、これらの課題を克服し、切削液の消費量を削減しつつ、最適な切削性能を維持・向上させるための取り組み全般を指します。

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『AR-927水リサイクル装置』は、ダイシング水の水問題を解決する、
ダイシング水リサイクル装置です。

適した水質、温度、水量を保証。水消費の削減を実現します。
さらに、産業廃棄物や運用コストを削減するほか、
純水モジュールやUV洗浄などのオプションもご用意しております。

【特長】
■水消費の削減
■適した水質、温度、水量を保証
■産業廃棄物の削減
■運用コストを削減

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ダイシング水リサイクル装置『AR-927水リサイクル装置』

【 これまで 】
半導体関連のD社様は、海外製品を輸入・販売していますが、保守交換用のポンプが現地電圧仕様(120VAC)で、日本で対応しているポンプメーカーが無く、現地から調達するとコストが大幅に掛かる、保守部品として使えないとお悩みでした。

【問題点】
●保守交換用のポンプが現地電圧仕様(120VAC)で、日本で対応しているポンプメーカーが無い。
●現地から調達すると、コストが大幅に掛かるため、保守部品として使えない。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【問題解決事例】半導体関連 D社様

当社では、優れたリサイクル技術により、「回収した素材をより価値の
高い素材とする」アップサイクルを追求しています。

素材の成分を0.001%レベルまで測定する分析機などを用いて、納品先である
素材メーカー様の規格を満たすことを確認したのち出荷。

また、機器をそろえるだけでなく、経験で培った知恵を惜しみなく
注ぎ込んでいるのも、当社のリサイクルの特長です。

【特長】
■「回収した素材をより価値の高い素材とする」アップサイクルを追求
■素材の成分を0.001%レベルまで測定する分析機などを用いて、
 納品先である素材メーカー様の規格を満たすことを確認したのち出荷
■お客様の元に届いた金属原料は、お客様の検査工程を経ずそのまま溶解
■機器をそろえるだけでなく、経験で培った知恵を惜しみなく注ぎ込む

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【半導体業界の皆様へ】金属リサイクルサービス

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ダイシングにおける切削液の効率利用

ダイシングにおける切削液の効率利用とは?

半導体製造プロセスにおけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断する際に切削液が使用されます。この切削液は、切削熱の除去、切粉の排出、工具の潤滑といった重要な役割を担いますが、その使用量や管理方法によってはコスト増や環境負荷につながる可能性があります。ダイシングの切削液の効率利用とは、これらの課題を克服し、切削液の消費量を削減しつつ、最適な切削性能を維持・向上させるための取り組み全般を指します。

課題

切削液の過剰消費

必要以上に多くの切削液が使用され、無駄な消費とコスト増を招いている。

切削液の劣化と交換頻度

切削液の劣化が早く、頻繁な交換が必要となり、廃棄物処理コストが増加している。

切削性能の低下

切削液の管理不足により、冷却・潤滑性能が低下し、ダイシング品質のばらつきや工具寿命の短縮を引き起こしている。

環境負荷の増大

大量の切削液の使用と廃棄が、環境への負荷を増大させている。

​対策

切削液供給量の最適化

ダイシング条件に合わせて切削液の供給量を精密に制御し、無駄を削減する。

切削液のろ過・再生システムの導入

使用済み切削液をろ過・再生し、再利用することで交換頻度を減らし、廃棄物を削減する。

切削液の成分管理と添加剤活用

切削液の成分を定期的に分析し、劣化防止剤や性能向上添加剤を適切に投入することで、寿命を延ばし性能を維持する。

切削液の自動管理システムの導入

センサーやAIを活用し、切削液の状態をリアルタイムで監視・管理し、最適な状態を維持する。

​対策に役立つ製品例

精密流量制御バルブ

切削液の供給量を高精度に制御し、必要な量だけを供給することで過剰消費を防ぐ。

高性能ろ過・分離装置

切削液中の切粉や異物を効率的に除去し、清浄度を維持することで再利用を促進する。

切削液状態モニタリングシステム

切削液のpH、濃度、温度などをリアルタイムで測定し、劣化状況を把握して適切な処置を可能にする。

自動添加剤供給ユニット

切削液の状態に応じて、必要な添加剤を自動で投入し、性能を最適に保つ。

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