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切削液の効率利用とは?課題と対策・製品を解説

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ダイシングにおける切削液の効率利用とは?
半導体製造プロセスにおけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断する際に切削液が使用されます。この切削液は、切削熱の除去、切粉の排出、工具の潤滑といった重要な役割を担いますが、その使用量や管理方法によってはコスト増や環境負荷につながる可能性があります。ダイシ ングの切削液の効率利用とは、これらの課題を克服し、切削液の消費量を削減しつつ、最適な切削性能を維持・向上させるための取り組み全般を指します。
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