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微細穴加工の真円度向上とは？課題と対策・製品を解説
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微細加工技術 |
超音波加工における微細穴加工の真円度向上とは？
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精密電鋳技術は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の構成要素となる微小機構部品を製作する手法のひとつです。
写真製版(フォトリソグラフィ)技術によって作られた微細なパターンに、高性能なめっき皮膜を精度良く形成します。
当社の精密電鋳技術は、エッチング手法などとは違い、高アスペクト比の微細パターンを忠実にネガティブ形状で転写し、所定の膜厚を高速で欠陥無く作製することが可能です。
今回は精密電鋳技術や用語についてご紹介させていただきます。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
E-mail: ogic@ogic.ne.jp
電話番号：096-352-4450
MEMSに欠かせない技術『精密電鋳』解説資料 ※用語集付き
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超音波加工における微細穴加工の真円度向上
超音波加工における微細穴加工の真円度向上とは？
超音波加工技術を用いて、微細な穴を加工する際に、その穴の形状を理想的な円形に近づける技術や取り組みのこと。特に、電子部品や光学部品などの高精度が求められる分野で重要視される。
課題
加工時の振動による偏心
超音波振動が加工ツールに伝達される際に、微細な不均一が生じ、穴の壁面に偏心や歪みが発生しやすい。
摩耗によるツール形状の変化
微細な加工ツールは摩耗しやすく、その形状変化が加工穴の真円度に直接影響を与え、精度低下を招く。
加工条件の最適化困難
超音波周波数、振幅、加工圧力などのパラメータが複雑に絡み合い、最適な条件を見つけるのが難しい。
材料特性による加工影響
加工対象材料の硬度や脆性などが、加工時の応力分布に影響を与え、真円度を損なう原因となる。
対策
高精度ツール設計と材質選定
均一な振動伝達と低摩耗性を実現するツール形状の最適化と、高硬度・高靭性材料の採用。
精密な加工条件制御
加工中の振動パターンや圧力をリアルタイムでモニタリングし、最適な条件に自動調整するシステム導入。
加工液の最適化と供給
冷却・潤滑効果の高い加工液を選定し、適切な流量と圧力で供給することで、加工面の安定化を図る。
振動減衰機構の導入
加工機本体やツールホルダーに振動吸収材やアクティブダンパーを組み込み、不要な振動を抑制する。
対策に役立つ製品例
超音波振動発生装置
安定した高周波振動を生成し、加工ツールの正確な動作をサポートすることで、加工の均一性を高める。
精密加工ツール
特殊な形状設計と高耐久性素材により、摩耗を最小限に抑え、微細穴加工における形状精度を維持する。
自動加工条件制御システム
センサーとAIを活用し、加工中の様々な要因を分析して最適な加工条件を自動で設定・調整する。
高性能加工液
優れた潤滑性と冷却性を持ち、加工時の摩擦熱や工具摩耗を低減し、滑らかな穴加工を促進する。
