微細な欠陥検出とは？課題と対策・製品を解説

『RS-80 HEV』は、顔あたりのよいラバークッションを使用し、
レーザ光の侵入を防ぐ保護めがねです。

矯正眼鏡の上から装着できるオーバーグラスタイプで、
眼鏡あり・なしのどちらでも違和感なく着用可能。

顔に合わせてレンズの角度を調節でき、すべての方が快適な
フィット感を得られます。

【特長】
■顔あたりのよいラバークッションを使用
■顔に合わせてレンズの角度を調節できる
■矯正眼鏡の上から装着できるオーバーグラスタイプ
■同フレームの他レンズもご用意可能
■適応レーザ：He-Ne、Krypton、He-Ne（ルビー）
■適応波長範囲：600-700nm
■OD値：2
■可視光線透過率：14%

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ハイスペック＆ローコスト！スリムでコンパクトなボディに高性能を凝縮したCCDスキャナです。

■スリム＆コンパクトなボディ
■タッチ読みから離し読みまで対応
■離し読みにより、読取幅は約100mmまで対応
■32bit CPUにより、軽快な読み味を実現

『DTAI150』は、AIを使った検査ソフトを開発する為の対象物の画像ファイルを
自動撮影をして画像ファイルを蓄えるシステムです。

対象物をステージに置いて、自動的に回転させながら画像を複数枚撮影可能。
煩雑な画像撮影が省力化でき、照明やカメラの調整が簡単に行えます。

カメラ、撮影ステージ、照明、パソコン、モニター、ソフトウエアをセットにして
簡単に画像撮影と保存ができます。

【特長】
■自動的に回転させながら画像を複数枚撮影可能
■煩雑な画像撮影が省力化できる
■照明やカメラの調整が簡単に行える
■撮影対象寸法の変更などの要望にお応え

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です！
・ウェハ（基板）の欠陥目視検査を自動化したい。
・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。
・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。
・自動で欠陥弁別したい。

■装置の特長
・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。
・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。
・手動機/自動搬送(カセットtoカセット）とも提案可能です。
・AI機能も実装しており、学習を進めることで
欠陥弁別精度向上が可能です。

『M-CONTactシリーズ』は、自動コンタクト機能搭載により点灯率100%を
実現するFPDモジュール自動点灯検査装置です。

高精細カメラ撮像をより効果的に活用できるように、細部まで様々な配慮を
施しており、特に外部からの振動を遮断し撮像画像のブレ防止、密閉型の
装置構造と徹底した暗室環境を整えることで、撮像環境での発生する
外乱要因による誤検出を防ぐための最大の配慮を行っています。

【特長】
■自動コンタクト機能搭載により点灯率100%を実現
■キューブ形状、コンパクトな装置構造により自由に配置可能
■除振構造、高暗室構造により鮮明画像を撮像
■より生産現場に近い対応バリエーション
■検査対象FPC実装後モジュール

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

有限会社オプトデバイスでは、
リング照明「OPT-R5000-W/R」をはじめ、
バー照明「OPT-B3016-R/W」や、
LED面照明「OPT-FP3030-R/W」など、
用途に合わせた幅広い製品をラインナップしております。

【特徴】
○発光色は、R：赤 、W：白 、B：青 、G：緑
○W、B、Gの消費電力は同じ

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

当社は、パシフィコ横浜にて「レーザーEXPO」を開催いたします。

情報通信、材料加工、計測など広範にわたる応用においてレーザー技術が
採用され、市場も拡大傾向にあります。本展は研究・開発、生産に至る、
国内外のレーザー製品が一堂に会するレーザー技術総合展です。

製造加工業など光分野に関係のあるお客様は、この機会に是非ご参加下さい。
皆様のご来場を、心よりお待ちしております。

【概要】
■会期：2023年4月19日(水)～21日(金) 10:00～17:00
■会場：パシフィコ横浜(〒220-0012 神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1)
■入場料：無料(但し、完全事前登録制)
■7つの展示会によって構成される「OPIE'23」内で開催

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『FG-RTシリーズ』は、従来の光学的検査方法に独自の画像処理技術を
開発し世界最高クラスの可視化検査を実現するガラス脈理検査装置です。

可視化レベルが極めて高く、不良が見つかった際に部署間や企業間で
確実な情報のやりとりと共有が可能です。

また、目視検証だけでは不良のグレード分けが困難でしたが、
指定箇所の輝度値を管理することによりクラス分けの指標にもなります。

【特長】
■世界最高クラスの可視化検査の実現
■観測空間にサンプルを投影させるだけで容易に検証可能
■優れた操作性により膨大なサンプルの検査にも対応
■長寿命LEDと手軽に交換が可能なカートリッジを搭載
■光学系は用途に応じてカスタム対応も可能

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『Pixel illuminator-C』は、イメージング機能とレーザ照射機能が
一体化されたCマウント対応ユニットです。

画像解析・画像認識との組合せにより、照射したい部分のみへの
レーザ光照射が可能となり、照射時間を短縮できます。

レンズ倍率を変更しても、観察画像で指定した位置にレーザ照射が可能です。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■カメラポートにダイレクト接続
■カメラ撮影画像を用いたレーザ照射位置指定
■顕微鏡制御ソフトとのデータ連携/タイミング連携可能

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『レンズ外観検査装置』は、高速高解像度カメラと照明系を工夫して
小型レンズの（スマホ含む）の外観検査を高速高精度で行います。

異物や傷、クラック等の検査も可能。手動でサンプルを搭載し、検査は
自動で行います。従来の顕微鏡目視測定に比べ、高精度CMOSカメラにより
圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。

また、インラインにも容易に対応致します。

【特長】
■レンズ単体とモジュールの双方の検査に対応
■異物や傷、クラック等の検査も可能
■高精度CMOSカメラにより圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現
■インラインにも容易に対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『xiMU』は、当社のポートフォリオおよび産業用カメラです。

省スペースのUSB-Cコネクタを備えたUSB 3.1インターフェースにより、
最大18 Mpix解像度で毎秒最大21フレームの高速画像データ転送が可能。

また、グローバルリセットセンサーにより、モーションを伴う
アプリケーションは除外されず、4つの汎用I/Oポートにより、
トリガーされた照明や周辺機器を簡単に使用できます。

【特長】
■超小型、高速、高感度
■超低消費電力
■極小l単一 PCB、設計構造（ボードレベル バージョン有/5MP）
■4x 双方向GPIO装備
■校正 及び 線形性能確保で出荷
■堅牢、軽量、アルミ合金 CNC精密ハウジング

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社の製造事業では、「工業用・セキュリティレンズ組立」を
承っております。

製品の組立、調整、検査を行っており、月産4,000台対応。
各種部品調達から製品組立・検査まで少量でも対応いたします。

より早く、より正確に、高品質な製品を生産します。
厳しいコスト、他機種、小ロット、試作品もお任せください。

【概要】
■月産/4,000台

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社では、2D分光輝度計測による複数のサブピクセルを一括測定・
評価・判定するOLEDパネルモジュール寿命評価ソリューションを
提供しております。

発光素子毎、発光素子内の輝度・色度・分光ムラを測定し、
信号発生パターン・測定ステップ・判定項目を簡単設定。

また、各種表示パターン毎の焼付き評価をサブピクセルレベルで
実現しています。

【特長】
■2D分光輝度計＋工業用顕微鏡による「顕微分光計測」
■サブピクセルレベルでの、光学特性評価・焼付き評価
■複数台のパネルモジュールを長時間・一括・自動測定

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

「VTシリーズ」は、高速高感度を実現したTDIラインスキャンカメラです。
3K~23Kの幅広い画素数のラインナップに加え、CoaXPressインターフェースによる最高250kHzの高速ラインレート、最高256TDIステージによる高感度撮像が可能です。汎用性の高いインターフェースにより取込環境を選ばず、様々なアプリケーションにてその性能を発揮します。

紫外線加工の万能波長３６５ｎｍを照射する、装置組込専用の放熱フィン・コントローラー一体型のＵＶＬＥＤ照射器です。

『LED電子色票　ColorPyxisCP1000』は、波長の異なるLEDからの18原色スペクトルを混色することにより、
物体色をカバーする色域の色を呈示できる装置です。
18基のLEDによって実現した色度の安定性と再現性により、sRGB以上の広色域を実現。
BT.2020対応カメラの色校正用色票として適しています。

【特徴】
■物体表面色のスペクトル及び色度を再現
■CIE標準光源D50、D55、D65、Aなどを再現
■色度指定によるメタリックカラーの表示
■公開コマンドいよるユーザー環境への取り組み
■国際標準規格　ISO/TS17321-4準拠

※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

高解像度カメラと高精度X-Yステージを用いた二次元の検査装置です。
光学フィルム、シートやタッチパネルなどの表面キズ、異物の検査や欠陥検査に適しています。
光学分解能「1.8μｍ」で、非常に高精細な検査が可能です。
寸法測定にも対応でき、二次元の打ち抜き加工品などの検査もできます。

【特長】
■検査データと画像を自動で保存
■カメラ画素数：900万画素
■高い光学分解能(1.8μm)で微細な検査箇所も綺麗に見える
■タッチパネルの周辺電極、プリント基板の微細配線の断線、短絡の検査に最適

※詳しくは資料をダウンロード、もしくはお問合せください。

弊社のLEDライトパネルは精度の高いLEDチップと効率の良い導光板により、平均板面照度3500Lux以上、光源面の輝度均一度８0％以上で全体に輝度ムラの少ない高輝度面発光の照明パネルです。
LEDの光と導光板を使用したLEDパネルは明るく消費電力が少ないので非常に環境にも優しい製品です。
サインパネルのバックライト光源に最適で平均寿命50,000時間で5年８ヶ月以上メンテナンスフリーで使用いただけます。10年以上ご使用いただいている店舗や商業施設もございます。
高輝度で輝度ムラの少ない導光板は、拡散板を用いて導光板＋拡散板仕様とすることでより輝度ムラを少なくします。検査用の光源として国内外の大手メーカー様の工場で永年ご使用いただいております。

『HAJIME CL1/CL1 PLUS』は、すべての設計を見直し、日本工業規格
JIS C 6802：2014のレーザー製品の安全基準である「クラス1」の規定に
準拠したレーザーシステムです。

本体ボディーはレーザービームの拡散反射による露光が起こらないように
設計。加工原点の位置確認用に赤色レーザーポインターを装備しています。

また、高い集じん脱臭能力で室内排気でもレーザー加工機を運用することが
できる小型集じん機「MIRUKU」もご用意しております。

【特長】
■クラス1に準拠した安全な保護筐体
■ハイパワーレーザーと光学部品を搭載
■スムーズ操作を実現する使いやすさ
■500mm×300mmの加工エリア
■加工可能厚は130mmまで

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

３Ｄセンシング技術によって、分析装置グレードの精度を提供するシステムです。

基本は弊社が販売しておりますメタルフォト用の露光ランプです。

今まではキセノンランプ、メタルハライドランプ、水銀灯など
高出力のランプを使っておりましたが、最近はやりのLED光を採用し、
自社設計開発しました紫外線LED露光ランプです。

【特長】
■高さ調整のアーム付き、デジタルタイマー付き
■アームからLED部分が取り外し可能で220gと軽量
■カタログにありますバキュームテーブルも自社設計製品
■メタルフォトに限らず波長と出力があえば他のものにも利用可能
■自社設計のため、光源を変えたり、サイズ変更などカスタマイズ可能

コートテックではハンディＵＶ照射器を製造しております関係からあらゆるＵＶランプの製造が可能です。各種ＵＶランプの販売いたしますので。ご使用になっているＵＶランプの型番をお知らせください。お見積りいたします。

パーテーションの板の素材はアクリル・塩ビ・ポリカなどからお選び頂けます。

当社で取り扱う、「ネジ用光学式選別機」をご紹介いたします。

カメラを2～5台設置可能な「PS-1500標準ディスク式選別機」をはじめ、
「PSG-1500ガラス盤式選別機」や「PSD-1500長寸法部品向けディスク式
選別機」など5種類をラインアップ。

ご要望の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。

【PSR-1500連続式選別機 特長】
■M5～M16ネジ、ボルト
■首下長さ80mm以内
■カメラ2～4台設置可能

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『マンティス3Dビューイングシステム』は、優れた立体イメージで
幅広い検査・リワーク作業に適しています。

アイピースレス光学技術の優れた画質を見易いビューイングヘッドで観察。
最大20倍までの幅広いレンズオプションがございます。

小型・低価格を実現した汎用型の「マンティスコンパクト」をはじめ、
最高レベルの光学性能とハイパフォーマンスの「マンティスエリート」
高性能観察・検査ソリューション「マンティスエリートCAM HD」を
ラインアップしています。

【特長】
■アイピースレス光学技術の優れた画質を見易いビューイングヘッドで観察
■最大20倍までの幅広いレンズオプション
■広い視野径と深い被写界深度を両立
■無影高色再現性LED照明

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

河合光学株式会社では、主にガラス基板上に蒸着した、金属膜や誘電体
多層膜のエッチング加工を行っております。

基板寸法は最大200mm×200mm、最小線幅は10μとなっております。

また、ご希望のエッチング箇所によっては、上記以外のサイズにおいても
エッチング可能となる場合がありますので、お気軽にお問合せ下さい。

【特長】
■金属膜・誘電体多層膜に対応
■ご希望の材質・寸法についても対応可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高性能のセンサー、カメラ、フレームグラバ、画像処理装置、
画像処理ソフトウェアを用いた、半導体検査事例をご紹介いたします。

テレダインダルサ社の「Falcon2 CMOSカメラ」は、数百メガピクセルの
解像度と高いフレームレートを持っており、エリアスキャン型の
検査システムに好適。

「TDIラインスキャンカメラ」は高い感度を持っており、優れた
ウェハー検査システムにおいて重要な役割をはたしています。

【事例概要】
■半導体ウェハー検査
■半導体マスク検査

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

LEDの傾き角がありません。基板がフラットの状態でリング状のLEDを配列しています。素子から直接対象物を照射します。
詳細仕様はカタログダウンロードからご覧下さい。

16k(16000画素)の高速・高画素ラインセンサです。
16kラインセンサは、データレート640MHz、スキャンレート35kHz、8bitフルコンフィギュレーションカメラリンク出力です。
画素サイズは3.5μm、レンズマウント　72mmネジです。
72mmマウントタイプは、データレート320MHz、スキャンレート35kHz、8bitメディアムコンフィギュレーションカメラリンク出力、画素サイズは7.0μm、レンズマウント　72mmネジです。
詳しくはお問い合わせ下さい。

当社の「超高精細フォトグラメトリ技術」についてご紹介いたします。

細かな箇所の成形、金属の反射や黒い部分の成形が可能に
なりました。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。

【特長】
■細かな箇所の成形が可能
■金属の反射や黒い部分の成形が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

LEDライトパネルの特注仕様
ご自由に選んでいただけるサイズ・板面の色温度（LEDチップ）・フレーム幅・厚み・などを選択いただいて製作する、LEDライトパネルの特注仕様です。
その他の特殊加工として、導光板印刷が見えなくなる「導光板＋拡散板仕様(-LDP)」「壁面取り付け仕様(-R)」などのオプションを細かく設定することでお客様の使用用途に最適な面発光の光源をご選択していただくことができます。
板面輝度均一度85%以上のLEDライトパネルの使用用途はサインパネルやPOP広告のバックライトパネル、工場や研究分野での検査用光源など商用から検査・研究用とまで幅広くカバーしております。10年以上の販売実績と多くの出荷台数で最適の光源をご提案させていただきます。

弊社のLEDライトパネルは壁面に埋込方法で使用いただけます。
埋込の場合はフレーム厚の2/3程度（24mmタイプで15mm程度）埋込しましても、前面羽根扉が開閉できますので、高級感のある埋込コルトンのようにご使用頂けます。

『HL-DFL-STD』は、ハンディタイプのLEDフラットライト(HL-DFL-F120)、
LEDフラットライトワイド(HL-DFL-F120-45D)専用のスタンドです。

50mm～600mmまで上下方向調整可能。
検査台・作業台での設置や角度調整に好適です。

また、当社では液晶製品や自動車、透明フィルムなど、さまざまな分野で
使われている「不良低減照明」を取り扱っております。
ご要望の際は当社までお問い合わせください。

【仕様】
■品名：専用スタンド(ハンディタイプ専用)
■型式：HL-DFL-STD
■寸法
・ポール長：600mm
・ムッフ長：200mm

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『DSシリーズ』は、視認性の高い515nmの半導体レーザー光源です。
従来のグリーンレーザー光源では難しかった高温、低温でもご使用頂けます。

外部コントロール(変調)機能、遠隔(有線)光量調節機能(特別仕様)を搭載。
駆動回路一体型なので、コンパクトで軽量です。

また、ケーブル・保持機構等の各種オプションを準備、可能な限りお使いの
環境に対応します。

【特長】
■波長515nmのグリーンレーザー光源
■視認性が高いので位置決め・ガイド光等の目視用途に有効
■半導体緑色レーザーのため、-10～50℃の広温度範囲で使用可能
■最大出力5mW～20mWに対応、出力調整可能(0～100%, 外部変調可)
■パターン形状は、スポット・ライン4種・クロスがあり、焦点調整可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料では、様々なソリューション事例をご紹介しております。

寿命評価ソリューションをはじめ、ムラ検査・画素欠陥検査やレスポンス検査・
光学(輝度・色度)検査、SR-LEDW(スポット輝度計)を搭載した測定システム
などについて詳しく掲載。

その他、主要製品特長なども画像と共にご紹介しており、導入検討の際に
参考にしやすい内容となっております。ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■トプコンテクノハウスとテクノスからの提案
・OLEDパネルモジュール ソリューション
・ディスプレイ 検査ソリューション
・車載操作スイッチ部品 検査ソリューション
・システム化(例) SR-LEDWを搭載した測定システム
・主要製品特長
■会社概要

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『黒色ジルコニア(TCZB)』は、画像処理検査部材やインデックステーブルなどに
使用されるエンジニアリングセラミックスです。

黒色セラミックスの色調を活かしハレーション(乱反射)対策などに優れ、
画像処理検査装置部材として年々その需要は高まりを見せています。

また、耐摩耗性に優れており、黒染めなどの表面処理と違い、
剥がれる心配が無く、安定した環境で長寿命化が期待されます。

【特長】
■ハレーション対策
■長寿命

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

今までの画像検査機は、工業用のカメラを用いた非常に高価なものばかりでした。にも関らず、視野角は狭く、部品高さによりフォーカスが合わないのが現状です。私たちはその点に着目し、一般市場に流通しているデジタルカメラを極限までコントロールするソフトウェアの開発に取り組みました。エスジーテックではローコストでハイパフォーマンスなソリューションシステムを御提案致します。

当社は、ケイエコライト、ナトリウム灯用直流点灯装置、ハロゲンランプなど
さまざまな用途の特殊ランプをグローバルに取り扱っております。

「ケイエコライト」はデジタルカメラや液晶テレビなどの画像処理用照明に
使用した蛍光灯直流点灯回路技術を一般の蛍光灯スタンドに応用しています。

ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【ラインアップ】
■UVランプ
■ケイエコライト
■ナトリウムランプ

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

『レンズ高さ測定装置』は、高速高解像度カメラと顕微鏡を用いてレンズ
焦点法によりキャリア上に搭載されている部品の3次元測定を自動で行います。

レンズ先端部と基板部の段差を同時測定。

インジェクションで基板に成形したレンズの高さ測定が可能です。
従来の顕微鏡目視高さ測定に比べ、高精度CMOSカメラにより圧倒的な
高精度、高再現性を短時間で実現いたします。

また全自動型インラインにも容易に対応致します。

【特長】
■短時間検査
■高速解析
■カスタマイズ可
■インジェクションで基板に成形したレンズの高さ測定が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ProMetric(R) Yシリーズ』は、各種ディスプレイやバックライト付キーボード
の輝度評価、外観表面検査用途に特化した2次元輝度計です。

高解像度、高速測定を特長とするハードウェアとアプリケーションソフト
ウェアと組み合わせにより、研究開発での高度な画像解析、生産現場での
検査の自動化が可能です。

【特長】
■高速・高解像度・冷却インターラインCCD
■Smart Calibrationによって、複数レンズの選択、広範囲のフォーカスと
アパーチャー設定が可能
■内部に三刺激値Yフィルタを備えたPM-IPイメージング輝度計による
正確な輝度測定を実現
■PM-IRイメージング放射計により、近赤外測定が可能
■ハイスピードUSBとイーサネット通信をサポート

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『MD-W1000』は、電源部を弁当箱サイズにダウンサイジングした
UV照射装置です。

安定器を使用せず、電子部品化により電源部本体は当社「CT-W1200」から
さらに軽量化が進み1.5kgを実現。

フロアーコーティングの完全硬化に必要な1kWのメタルハライドランプか
水銀灯を選択いただけます。

【特長】
■電子安定器タイプ
■照射部も軽量かつハイパワー仕様
■電源部重量1.6Kg
■60Hzでも50Hz地域でも使用可能
■100Vでも200Vでも使用できる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

色高忠実静止画カメラ　ColorPyxis　CP4000は、色に対する感度が人の眼と同じです。私達が見て感じている色合いをそのまま撮像できる静止画カメラです。すぐれた色再現性、1100万画素の解像度と65dB以上のダイナミックレンジを持つCP4000は、被写体の色合いを正確に撮像します。CP4000と正確に色校正されたディスプレイを組み合わせることにより、本物と見紛う画像を再現できます。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

●VITA-LITE（バイタライト）は、自然光による光環境を屋内の
　どんな場所にも容易に再現することを狙いとして商品化された
　“フルスペクトル”蛍光ランプです。

●お問合せは、日本総輸入発売元(株)マルトキまで。

【特長】
◆24000時間の長寿命（40W、32Wの場合）
◆三波長域発光形蛍光ランプ特有の「まぶしさ」が無い
◆自然の色調がくっきり見え、微妙な色の違いを識別可
◆屋内の色問題を解決します
◆表面目視検査に最適（反射グレアを低減）

液晶基板検査装置のアクティブ除振対策事例をご紹介します。

大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の振動環境を
事前調査したところ許容値を超えていました。

本測長機は光学的にパターンの線幅を観測するもので振動環境に対して
敏感なため、エアサーボアクティブ除振装置で対策を実施。

アクティブ除振対策後は、装置の振動許容値をクリアし、
また全周波数域に亘って良好な振動環境を構築することができました。

【事例概要】
■課題：大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の
　振動環境を事前調査したところ許容値を超えていた
■対策：エアサーボアクティブ除振装置を設置
■効果：装置の振動許容値をクリアし、また全周波数域に亘って
　良好な振動環境を構築することができた

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

＜機能など＞
●解像度1200万画素
●近赤外モデルあり
●ペルチェ冷却モデルあり
●100fps@12MP
●インターフェース転送速度最大20Gbit/s
●転送距離300メートル
●キャノンEFマウントレンズコントロール