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クリーンルームの清浄度管理とは?課題と対策・製品を解説

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製造におけるクリーンルームの清浄度管理とは?
製造のクリーンルームの清浄度管理とは、製品の品質を保証するために、クリーンルーム内の空気中に浮遊する微粒子(塵埃、微生物など)の量を一定の基準値以下に維持・管理することです。特に、半導体、医薬品、精密機器などの製造分野では、微細な異物混入が製品不良に直結するため、極めて重要なプロセスとなります。
各社の製品
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【工場向け】アスベスト調査・分析
データロガー『Logbee(ログビー)』
『Logbee(ログビー)』は、温度・湿度・照度の環境データを無線で子機から
親機に送信し、親機に接続したパソコンでデータをリアルタイムで
一元管理することができる、超小型で低消費電力(LPWA)のデータロガーです。
防水・防塵性能:JIS規格のIP67に準拠しており、水深1m、30分の水没にも
耐えることが可能。
また、センサー内蔵型でありながら、独自構造によりセンサー外付け型に
肉薄する熱時定数を実現しています。
【特長】
■高い防水性と耐久性
■アラームメール機能搭載
■水中の温湿度も測定可能
■高湿度環境対応
■優れた温度追従性
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超微細フィルタ 微細メッシュ『マイクロシーブ』 ※サンプル無料
竹田東京プロセスサービスが提供する『マイクロシーブ』は、エレクトロフォーミング法(電鋳法)によりシート状に成型した微細なメッシュです。
フォトリソ工程のない電鋳ニッケルメッキで作成しているため、
表面がフラットであり、開口幅の精度に優れ、ばらつきがありません。
*開口幅(目開き)は2μmより承りますが、
2μm未満も試作実績もございますので、是非ご相談くださ い。(試作実績:開口幅0.1μm)
【採用業界】
化学品メーカー / 医薬品メーカー / 大学研究所 / 加工装置メーカー / 電子部品メーカー
【特長】
■開口形状は正方形の逆テーパー形状(すり鉢形状)
■長方形・六角形・丸形等一部仕様で対応可能
■組成はニッケル99.9%以上
■特性は金属ニッケルに準じる
■サポートグリッド(補強網)加工を施すことにより、ふるいがけ時の強度を補う事が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※現在[無料サンプル]の対応も行っております、ご希望の際はお問合せください。
超低露点エアードライヤー『QDシリーズ』
『QDシリーズ』は、二筒交互吸着式の超低露点エアードライヤーです。
大気圧露点-60℃、-75℃の乾燥エアーを連続供給することが可能で、
クリーンドライエアー(CDA)が必要な際に好適。
手軽に高乾燥度のドライエアーが得られますので窒素ガスの代用としての
使用も可能です。コンパクトなので研究室や実験室での使用に適しています。
【特長】
■自己再生方式でメンテナンスフリー
■乾燥剤・吸着剤の交換は不要
■油分やゴミ用のミストクリーナーやクリーンフィルター付き
■露点計量証明書付き
■標準タイプの他に大型機種として50L/min以上も製作可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
洗浄システムサービス
粉塵計測器『imamiru粉じん』【粉じん濃度を見える化!】
『imamiru粉じん』は、粉じん濃度を表示器で見える化し、規制値を越えた
際は回転灯を動作させたり、現場の管理者や作業員に環境の悪化を知らせる
ことが出来る計測器です。2系統の警報(無電圧接点)出力を搭載しており、回転灯などの動作に対応。メール発信機と組み合わせることでメール警報システムを構築することが出来ます。
【特長】
■リアルタイムな計測値を大きく表示
■発生している粉じんの把握
■規制値が超えたら回転灯を動作させ作業環境の悪化を知らせる
■管理者にはメールで危険を知らせる
■集塵機を動作させ清掃を実施し作業環境の悪化を防ぐ
※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
マノスターゲージ『WO-81型』
液中レーザ微粒子計
マノシスデジタル微差圧計『EMD8A』
『EMD8A』は、RITSコネクタの採用、ステップイン式パネル取付など
装置への組み込みやすさを配慮した設計を施したパーティクルカウンタです。
移動平均フィルタ、最大値・最小値メモリ、比較出力など多彩な機能を搭載。
変位センサーには、高性能ダイヤフラムと差動インダクタンス方式を
採用しました。
さらに当社では、用途に合わせた警報機能モードを設定可能な「EMD7D3」も
ご用意しております。
【特長】
■DIN48×24パネルマウント用
■UL規格、EU指令適合品
■装置への組み込みやすさを配慮した設計
■変位センサーには、高性能ダイヤフラムと差動インダクタンス方式を採用
■ゼロセンタレンジ5種を含む、全14レンジのバリエーション
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
3Dレーザースキャナー『IMAGER 5016』
『IMAGER 5016』は、複雑かつ大規模な設備を超高速・超高精度で
スキャンし、低コストで3D化を実現します。
ホワイトバランス調整可能な内蔵HDRカメラ、夜間でもカラー撮影が
可能なLEDライトが標準装備。
各種プラント・製造ラインから文化財保存や科学捜査にいたるまで、
これまで実現困難であった3D計測への新しいソリューションをご提供致します。
【特長】
■レーザー安全基準 Class1
■防塵・防水規格 IP54
■透過率99%ガラスカバーでレンズを保護
■Navigation Systemや高速Wi-fiの機能と性能を標準整備
■さらなるコンパクト化と軽量化を実現
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オンライン コロイド電荷量計『Valmet WEM』
『Valmet WEM』は、調成・抄紙工程における全てのウェットエンド測定を
統合した電荷量計です。
最大6箇所のサンプリングポイント。チャージ計はマニュアルサンプリング
可能です。
リテンション制御、完成・配合・インレット原料等のチャージ制御、
様々な工程におけるプロセスモニタリングを行います。
【特長】
■オンラインリテンション計Metso RMiとチャージ計Metso CATiの機能を結合
■最大6箇所のサンプリングポイ ント
■チャージ計はマニュアルサンプリング可(ラボ機能)
■調成・抄紙工程における全てのウェットエンド測定を統合
■様々な工程におけるプロセスモニタリング
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
食品衛生検査サービス
【レンタルサービス】気密検査用エアリークテスタ 他
PTFEラミネート生地・防塵服
ライトハウス社のリアルタイム モニタリングシステム
1)32ポート ユニバーサル マニフォールドで、例えば0.1µm測定のパーティクルカウンターSolair 1100LDたった一台で、最大32箇所の0.1µmサイズ以上のパーティクルを測定できます。マニフォールドの各ポートには流量1.0CFM(28.3L/分)のProbeをそれぞれ一個装着でき、各Probeは3mから38m遠隔まで伸ばすことができます。専用のシステムコントローラから各ポートの自動測定手順の設定ができます。例えば、1分間のパージ後に1分間の測 定をし、自動的に次のポートに切り替えてパージと測定を繰り返す...等々。測定データーはライトハウス社のモニタリングソフトウエアでリアルタイムで表示、警告、記録されクリーンルームの清浄度管理ができます。
2)大規模クリーンルーム用総合リアルタイム モニタリングシステムでは、各所に配置の多くのパーティクルカウンタ、温湿度計、差圧計からのデータはLANを経由してライトハウス社のモニタリングソフトウエアがインストールされたサーバーに集められ、リアルタイムでそのモニタリングデータや警告等が表示され、クリーンルームの清浄度がリアルタイムで管理できます。
アネモマスター風速計 MODEL 611シリーズ
工業用無補充型pH/ORP電極『6155/6855シリーズ』
当社では、熱・圧力・酸アルカリ等に強い新内部液
(非水溶性ポリマーゲル)を採用し、内部液寿命2年を実現する
工業用無補充型pH/ORP電極『6155/6855シリーズ』を取り扱っております。
最小10 μS/cmのサンプルが測定可能。
用途に応じて選べる「ケーブルタイプ」と「コネクタタイプ」を
ラインアップしております。
【特長】
■電極交換が簡易
■内部液補充の手間がない
■低電気伝導率のサンプルに対応
■用途に応じて選べる2タイプをラインナップ
・ケーブルタイプ:保護管標準装備により投げ込み使用も可能
・コネクタタイプ:配管直接挿入も可能
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
【圧縮空気測定】※実績多数!圧縮空気の品質確認お任せく ださい!
ATP検査試薬 ルシパック A3 Surface / Water
無電解ニッケルめっき液調整装置『SOLCON Type.LV』
バクテリア検査キット [マイクロブモニター2]英・Echa社製
シリカ分析装置『SLIA-5000』
『SLIA-5000』は、HORIBAの長年にわたる納入実績と技術ノウハウを
結集し、従来の安定性・信頼性・メンテナンス性はそのままに、
新たに生まれ変わったシリカ分析装置です。
高速で繰り返し性の高い測定結果の取得が可能。
また、自己診断機能にて試料水・試薬の注入、校正異常、
セル内温度モニタ、光源異常などの動作異常を自己診断いたします。
【特長】
■5分測定で±2%F.S.の繰り返し性
■高感度レンジ0~10μg/Lから高濃度レンジ0~5.0mg/Lまで、測定可能
■ゼロ校正は毎回自動実行で、スパン校正も予約可能
■設定濃度 以上では最短5分、設定濃度以下では長く測定周期を自動切替
■タッチパネルでの操作が可能なカラー液晶を採用
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
MS‐50GT型 ヘリウムリークディテクター
MS-50GT 全自動コンソール型ヘリウムリークディテクターは、試験工程の視認を容易とするGUI タッチパネルモニターと、フォア用、テストポート用を担当するロータリー真空ポンプを独立して搭載し、素早い試験処理能力と単独でのグロス~ファインリークまでの広範囲ヘリウムリークテストを可能としたヘリウムリークディテクターとなります。
■製品用途例
1:ご使用真空設備の漏れ箇所調査用設備として
2:半導体製品への漏れ試験(リーク試験)装置として
3:高い気密性を要する航空機部品の気密性確認試験装置として
4:防水機能、気密性を必要とする自動車部品への漏れ試験装置として
5:食品用包装材(アルミパウチ等)の気密性確認試験の検査装置として
6:その他ヘリウムガス検知を必要とする用途に対応可
7:試験スピードの速さが求められる試験工程に対し、大きな効果を発揮致します
■MS-50GT が対応可能なヘリウムガスリーク試験種の一例をご紹介しています。
その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
マノスタースイッチ『MS99 V』




















![バクテリア検査キット [マイクロブモニター2]英・Echa社製](https://image.www.ipros.com/public/product/image/9f6/2000867973/IPROS79280309335140591112.png)


