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膜厚分布の測定とは？課題と対策・製品を解説
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検査・測定・分析における膜厚分布の測定とは？
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FTS-Roll Tester1は反発度法を採用した「紙・フィルム巻き
硬さ試験機」です。
従来の『打音方式』（ロール表面を叩いてその音を耳で聞く方法）
では、検査員の勘のみに頼るところが多く、品質を数値（定量）
管理することもできませんでした。
FTS-Roll Tester1は、
測定経験のない人でも簡単に操作することができ、
正しい検査結果が得られます。
検査結果は、独自の原理により数値化され、
品質管理に役立ちます。
FTS-Roll Tester1はパロテスターの機能を見直して開発された
後継最新機種です。
弊社ではパロテスターの修理も承っております。
【紙・フィルム巻き硬さ試験機】FTS-Roll Tester1
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検査・測定・分析における膜厚分布の測定
検査・測定・分析における膜厚分布の測定とは？
フィルムテクノロジー業界において、製品の品質を保証し、性能を最適化するためには、成膜された薄膜の厚さが均一であるか、あるいは意図した分布になっているかを正確に把握することが不可欠です。膜厚分布の測定は、この薄膜の厚さのばらつきを広範囲かつ高精度に評価する技術であり、製造プロセスの管理、不良品の検出、そして製品の信頼性向上に貢献します。
課題
測定精度の限界
微細な膜厚のばらつきをナノメートルオーダーで捉えるには、従来の測定手法では限界があり、高精度な測定が困難な場合があります。
測定時間の長期化
広範囲の膜厚分布を詳細に測定しようとすると、多くの測定点を取得する必要があり、全体の測定に長時間を要してしまうことがあります。
非破壊測定の必要性
製品の品質評価において、測定対象を破壊せずに膜厚を把握する必要があるため、非破壊かつ高精度な測定手法が求められます。
データ解析の複雑性
取得した大量の膜厚分布データを効率的に解析し、傾向や異常を迅速に把握するための高度な分析能力が求められます。
対策
高解像度イメージング技術の活用
光学顕微鏡や電子顕微鏡などの高解像度イメージング技術を駆使し、微細な膜厚の差異を詳細に可視化・定量化します。
高速スキャン測定システムの導入
短時間で広範囲をカバーできる高速スキャン測定システムを導入し、測定時間の短縮と生産性の向上を図ります。
光学的手法による非破壊測定
干渉計や分光エリプソメトリなどの光学的手法を用い、対象物に触れることなく非破壊で高精度な膜厚測定を実現します。
AIを活用したデータ解析
人工知能（AI）を用いた画像認識や統計解析により、膨大な測定データを自動で解析し、異常検知や傾向分析を効率化します。
対策に役立つ製品例
光学式膜厚分布測定装置
干渉光を利用して、非接触かつ広範囲の膜厚分布を高速に測定し、ナノメートルオーダーの精度で評価します。
電子顕微鏡観察システム
高倍率で断面構造を観察し、膜厚のばらつきや積層構造を詳細に分析することで、精密な膜厚評価を可能にします。
分光エリプソメトリ測定システム
光の偏光状態の変化から膜厚や屈折率を非破壊で測定し、多層膜の膜厚分布も高精度に解析します。
画像解析ソフトウェア
測定装置から得られた画像データを自動で解析し、膜厚分布マップの生成や統計的な評価を迅速に行います。
