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広帯域半導体への対応とは？課題と対策・製品を解説
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ウェーハのダイシングにおける広帯域半導体への対応とは？
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従来ホール効果を利用した磁気センサ（ホール素子、ホールIC等）の材料としては、化合物半導体であるGaAsやInSbなどが知られている。単結晶薄膜における高移動度を利用して高感度なセンサ特性を提供しているが、作製温度、作製手法、動作温度範囲の制約が厳しい点などに課題があった。
本発明は、上記課題のいくつかを解決する、Fe-Sn混晶をベースとする磁性金属薄膜の磁気センサである。室温堆積の汎用的手法で、広い温度範囲で安定したセンサ特性を示す特長をもつホール素子を提供する。
東北大学技術：新型ホール素子：T18-016
MEMSや表示デバイス等における要素技術であるフォトエッチング・精密写真技術を用いた微細加工を少量の試作より承ります。ガラス基板、Siウエハ、フィルム、セラミックス等の基板上に薄膜を形成し、フォトリソグラフィー方式により微細なパターンを一貫加工にて形成致します。一枚からの試作に対応可能です。ダイシング、バンプ形成等の試作も対応いたします。また、リフトオフ加工にて、誘電体膜や多層膜のパターン化も可能です。基板サイズは任意にて対応可能。Siウエハやガラス基板のエッチングも可能です。短納期にて対応（要御相談）、リジッド、FPC基板にも対応いたします。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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ウェーハのダイシングにおける広帯域半導体への対応
ウェーハのダイシングにおける広帯域半導体への対応とは？
広帯域半導体は、高速・大容量のデータ通信を可能にする次世代半導体技術です。その製造プロセスにおけるウェーハのダイシング（ウェーハを個々のチップに切り分ける工程）は、高精度かつ効率的な処理が求められます。本説明では、広帯域半導体の特性に対応するためのダイシング技術の課題と解決策について解説します。
課題
高密度化による切断精度の要求増大
広帯域半導体は、より多くの機能を小さなチップに集積するため、ウェーハ上のチップ密度が高くなります。これにより、隣接チップへのダメージを最小限に抑えつつ、微細な間隔での高精度な切断が不可欠となります。
材料特性への対応と歩留まり低下リスク
広帯域半導体に使用される新しい材料は、従来のシリコンとは異なる硬度や脆性を持つ場合があります。これにより、ダイシング時の亀裂や欠けが発生しやすく、歩留まり低下のリスクが高まります。
高速化による生産性への影響
広帯域半導体の需要増加に伴い、ダイシング工程の高速化が求められます。しかし、精度を維持しながら処理速度を向上させることは、技術的な課題となります。
熱影響による特性変化の懸念
ダイシング時の摩擦熱が、広帯域半導体の微細な構造や特性に悪影響を与える可能性があります。特に、高周波特性などが変化しないよう、熱管理が重要となります。
対策
レーザーダイシング技術の高度化
高出力かつ精密なレーザービームを用いることで、非接触で高精度な切断を実現します。材料特性に応じた波長やパルス幅の最適化により、ダメージを低減し、歩留まりを向上させます。
プラズマダイシングの適用
プラズマエッチングを利用したダイシングは、微細な溝を形成し、チップを分離します。材料への熱影響が少なく、高密度実装に適したクリーンな切断が可能です。
高精度な切断パス計画と制御
AIやシミュレーション技術を活用し、ウェーハ上のチップ配置や材料特性に基づいた最適な切断パスを生成・制御します。これにより、切断時間を短縮しつつ、精度を維持します。
冷却システムとプロセス管理の強化
ダイシング工程における温度上昇を抑制するための高度な冷却システムを導入します。また、リアルタイムでのプロセスモニタリングにより、異常を早期に検知し、品質を確保します。
対策に役立つ製品例
高精度レーザー加工装置
特定の波長とパルス幅を持つレーザーを精密に制御し、微細なウェーハをダメージレスで切断できる装置です。広帯域半導体の高密度化に対応し、歩留まり向上に貢献します。
プラズマエッチングダイシングシステム
プラズマを利用してウェーハに微細な溝を形成し、チップを分離するシステムです。熱影響を最小限に抑え、脆性のある材料でもクリーンな切断を実現します。
インテリジェントダイシング制御ソフトウェア
AIによる切断パス最適化やリアルタイムプロセスモニタリング機能を備えたソフトウェアです。生産性を向上させつつ、高精度なダイシングを実現します。
先進的なウェーハ冷却ユニット
ダイシング時の熱を効果的に除去し、ウェーハ温度を一定に保つ冷却装置です。広帯域半導体の特性変化を防ぎ、安定した品質を確保します。
