データの解析と原因の特定とは？課題と対策・製品を解説

当資料では、MEMS部品の構造解析についてご紹介しています。

X線透視観察にて、パッケージ内部の構造を観察する“加速度センサーの
非破壊観察”をはじめ、“加速度センサーの機械研磨後、光学顕微鏡・
SEM観察”や“マイクロフォンの断面観察（CROSS BEAM FIB/SEM）”
を掲載。

是非、ダウンロードしてご覧ください。

【掲載内容】
■加速度センサーの非破壊観察
■加速度センサーの機械研磨後、光学顕微鏡・SEM観察
■マイクロフォンの断面観察（CROSS BEAM FIB/SEM）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【資料】MEMS部品の構造解析

当社の受託サービス『リバースエンジニアリングPlus』では、
通常の分解・解析に加え、動作原理解明や機能推定/原理解析、
評価などの「Plus」の価値をご提供しております。

例えば、基盤再設計（設計請負）では、WTIが培った
多岐にわたる技術力を結集してご提案。

さまざまな実績例がございます。お気軽にご相談ください。

【「Plus」の価値をご提供】
■動作原理解明
■機能推定/原理解析
■評価（環境構築/自動化）
■改善へのご提案
■実設計請負（改良・新規）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【受託サービス】リバースエンジニアリングPlus 実績例

　本発明は、ジャイロセンサのうち、FMジャイロセンサに関する。
　従来のFMジャイロセンサは、温度変化や部材の製造誤差によって、測定精度が下がるという課題があった。これは、センサに用いる振動子を２つ用いるために、それら振動子間に生じる温度変化の差や、製造誤差によって、振動子の特性を同一に保てないことに起因していた。
　これに対して本発明では、振動子を単一とし、異なるモードの振動を印加しすることで、上記の課題を解決する。
　本発明を用いるジャイロセンサは、上記の通り測定精度が高いのみなら
ず、原理上、磁気センサや圧力センサとしても機能することができ、産業上の優位性をもつと考えれらる。
　上記ジャイロセンサ、磁気センサ、圧力センサ各種で特許取得・出願している。

東北大学技術：多用途MEMSジャイロセンサ：T15-153他