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発熱の増大とは?課題と対策・製品を解説

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バーンインにおける発熱の増大とは?

半導体パッケージングにおけるバーンイン工程は、製品の信頼性を高めるために、初期不良を検出する重要なプロセスです。しかし、近年の高性能化・高密度化に伴い、バーンイン中の発熱量が著しく増大しており、これが新たな課題となっています。

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バーンインにおける発熱の増大

バーンインにおける発熱の増大とは?

半導体パッケージングにおけるバーンイン工程は、製品の信頼性を高めるために、初期不良を検出する重要なプロセスです。しかし、近年の高性能化・高密度化に伴い、バーンイン中の発熱量が著しく増大しており、これが新たな課題となっています。

課題

熱暴走リスクの増大

バーンイン中の発熱が設計許容値を超え、半導体チップやパッケージ材料の劣化、さらには熱暴走による故障を引き起こすリスクが高まっています。

冷却コストの増加

増大した発熱に対応するため、より強力な冷却システムが必要となり、設備投資や運用コストが増加しています。

生産性の低下

発熱による温度上昇を抑えるために、バーンイン時間を短縮せざるを得ない場合があり、初期不良の検出精度が低下し、生産性が損なわれる可能性があります。

環境負荷の増大

冷却に必要な電力消費量の増加は、CO2排出量の増加に繋がり、環境負荷の増大を招いています。

​対策

高効率放熱材料の活用

熱伝導率の高い新規材料をパッケージ基板や放熱板に採用し、チップから発生する熱を効率的に外部へ逃がします。

先進的な冷却技術の導入

液冷システムやヒートパイプなど、従来の空冷よりも高い冷却能力を持つ技術をバーンイン装置に組み込みます。

バーンイン条件の最適化

シミュレーション技術を活用し、発熱量を抑えつつ、効果的な初期不良検出が可能なバーンイン温度や時間などの条件を見直します。

低発熱設計のチップ採用

バーンイン工程での発熱を抑制するため、チップ設計段階から低消費電力・低発熱を考慮した回路設計やプロセス技術を採用します。

​対策に役立つ製品例

高熱伝導性複合材料

従来の材料よりも優れた熱伝導性を持ち、チップからの熱を効率的に拡散・放熱することで、バーンイン中の温度上昇を抑制します。

高性能冷却モジュール

小型かつ高効率な冷却機構により、限られたスペースでも十分な冷却能力を発揮し、バーンイン装置の省スペース化と冷却性能向上に貢献します。

熱解析・最適化ソフトウェア

バーンイン中の熱挙動を詳細にシミュレーションし、最適なバーンイン条件や放熱設計を導き出すことで、発熱の増大を効果的に管理します。

低熱抵抗パッケージ

チップと外部との間の熱抵抗を低減する構造を持つパッケージにより、バーンイン時の発熱がチップ内にこもるのを防ぎます。

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